JPH0519839Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0519839Y2 JPH0519839Y2 JP8663286U JP8663286U JPH0519839Y2 JP H0519839 Y2 JPH0519839 Y2 JP H0519839Y2 JP 8663286 U JP8663286 U JP 8663286U JP 8663286 U JP8663286 U JP 8663286U JP H0519839 Y2 JPH0519839 Y2 JP H0519839Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shielding plate
- ray
- rays
- ray shielding
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 8
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は蛍光Ｘ線分析装置あるいはＸ線回折装
置等において試料面に配置するスリツトの構造に
関する。
置等において試料面に配置するスリツトの構造に
関する。
このようなＸ線分析装置において、試料面の一
部だけを分析する必要のある場合あるいは試料が
小さい場合等は試料面に遮蔽板を配置して、Ｘ線
の入射範囲を制限する。しかしその遮蔽板から発
生する蛍光Ｘ線または散乱Ｘ線等が試料の蛍光Ｘ
線または回折Ｘ線等と共に検出器に入射すること
によるSN比の低下を免れることができなかつた。
本考案はこのように試料面に配置した遮蔽板によ
る雑音成分を除去しようとするものである。
部だけを分析する必要のある場合あるいは試料が
小さい場合等は試料面に遮蔽板を配置して、Ｘ線
の入射範囲を制限する。しかしその遮蔽板から発
生する蛍光Ｘ線または散乱Ｘ線等が試料の蛍光Ｘ
線または回折Ｘ線等と共に検出器に入射すること
によるSN比の低下を免れることができなかつた。
本考案はこのように試料面に配置した遮蔽板によ
る雑音成分を除去しようとするものである。
本考案の視野制限スリツトは試料面上にこれと
平行に配置して分析範囲を制限するためのＸ線通
過孔を有する第１のＸ線遮蔽板と、上記通過孔と
対向する部分に凹欠部を形成した第２のＸ線遮蔽
板とによつて視野制限スリツトを構成し、第２の
遮蔽板の両側にＸ線源とＸ線検出器とを配置した
ものである。すなわち第１遮蔽板の孔におけるＸ
線源側の縁から発生する雑音部分を第２遮蔽板で
遮蔽すると同時にこの第２遮蔽板によつて反対側
の縁に入射するＸ線を遮断することができる。従
つてＸ線分析のSN比が向上して精密な分析を行
い得る効果がある。
平行に配置して分析範囲を制限するためのＸ線通
過孔を有する第１のＸ線遮蔽板と、上記通過孔と
対向する部分に凹欠部を形成した第２のＸ線遮蔽
板とによつて視野制限スリツトを構成し、第２の
遮蔽板の両側にＸ線源とＸ線検出器とを配置した
ものである。すなわち第１遮蔽板の孔におけるＸ
線源側の縁から発生する雑音部分を第２遮蔽板で
遮蔽すると同時にこの第２遮蔽板によつて反対側
の縁に入射するＸ線を遮断することができる。従
つてＸ線分析のSN比が向上して精密な分析を行
い得る効果がある。
第１図は本考案実施例の縦断正面図、第２図は
第１図の装置の一部を縦断して側面図、第３図は
第１図のＡ−Ａ断面図である。試料１は表面にめ
つき層２を設けたもので、円形のＸ線通過孔３を
有する第１のＸ線遮蔽板４をその表面に密着させ
て、孔３を所望の位置に配置してある。すなわち
Ｘ線管のようなＸ線源５から孔３の部分にＸ線を
照射して、めつき層２から発生する蛍光Ｘ線をＸ
線検出器６で検出することにより、その強度から
めつき層２の厚みを観測しようとするものであ
る。このような装置において、Ｘ線源５と検出器
６との間に上記第１の遮蔽板４と直角な第２のＸ
線遮蔽板７を設けて、その一方の縁を第１の遮蔽
板４におけるＸ線通過孔３の部分に密着させると
共にこの第２の遮蔽板７における上記縁にほぼ半
円形の凹欠部８を孔３と対向するように形成して
ある。
第１図の装置の一部を縦断して側面図、第３図は
第１図のＡ−Ａ断面図である。試料１は表面にめ
つき層２を設けたもので、円形のＸ線通過孔３を
有する第１のＸ線遮蔽板４をその表面に密着させ
て、孔３を所望の位置に配置してある。すなわち
Ｘ線管のようなＸ線源５から孔３の部分にＸ線を
照射して、めつき層２から発生する蛍光Ｘ線をＸ
線検出器６で検出することにより、その強度から
めつき層２の厚みを観測しようとするものであ
る。このような装置において、Ｘ線源５と検出器
６との間に上記第１の遮蔽板４と直角な第２のＸ
線遮蔽板７を設けて、その一方の縁を第１の遮蔽
板４におけるＸ線通過孔３の部分に密着させると
共にこの第２の遮蔽板７における上記縁にほぼ半
円形の凹欠部８を孔３と対向するように形成して
ある。
従つてＸ線源５から放射される一次Ｘ線が第１
図に破線ａで示したように孔３を通つて試料１の
めつき層２に入射し、その蛍光Ｘ線ｂが検出器６
で検出される。従つてこの検出器６の出力によつ
て孔３の部分におけるめつき層２の厚みを測定す
ることができる。かつＸ線源５から放射されるＸ
線の一部ｃは、遮蔽板４における孔３の周縁のう
ち遮蔽板７に対してＸ線源５と同一側にある部分
にも入射して散乱Ｘ線あるいは蛍光Ｘ線を発生さ
せる。しかしこのような雑音成分ｄは図のように
遮蔽板７で遮蔽されてＸ線検出器６には入射しな
い。また上記孔３の周縁のうち、遮蔽板７に対し
て検出器６と同一側の部分、例えば点ｐの方向へ
向うＸ線ｄ等は上記遮蔽板で遮蔽されるから、こ
の部分にはＸ線が入射しない。更に上記Ｘ線ｄに
よつて発生する遮蔽板の蛍光Ｘ線等がその裏側の
検出器６に入射するおそれはない。このように試
料のめつき層２で発生した蛍光Ｘ線は検出器６に
入射するが、遮蔽板４の縁等から発生したＸ線が
この検出器に入射することは、これを第２の遮蔽
板によつて有効に防止することができる。第４図
はめつき層２の厚さＴと検出される蛍光Ｘ線の強
度Ｓの関係を示した曲線で、従来はバツクグラウ
ンド成分ｘの極めて大きい曲線Ｖが観測されたが
本考案によつてこの成分がｙのように極めて小さ
い曲線Ｗを得ることができる。従つて膜厚その他
のＸ線分析を正確に行い得る効果がある。なお上
記実施例は遮蔽板４の孔３を円形としたが、この
孔を例えば矩形状とし、これに伴つて凹欠部８を
も矩形状に形成すること等もできる。
図に破線ａで示したように孔３を通つて試料１の
めつき層２に入射し、その蛍光Ｘ線ｂが検出器６
で検出される。従つてこの検出器６の出力によつ
て孔３の部分におけるめつき層２の厚みを測定す
ることができる。かつＸ線源５から放射されるＸ
線の一部ｃは、遮蔽板４における孔３の周縁のう
ち遮蔽板７に対してＸ線源５と同一側にある部分
にも入射して散乱Ｘ線あるいは蛍光Ｘ線を発生さ
せる。しかしこのような雑音成分ｄは図のように
遮蔽板７で遮蔽されてＸ線検出器６には入射しな
い。また上記孔３の周縁のうち、遮蔽板７に対し
て検出器６と同一側の部分、例えば点ｐの方向へ
向うＸ線ｄ等は上記遮蔽板で遮蔽されるから、こ
の部分にはＸ線が入射しない。更に上記Ｘ線ｄに
よつて発生する遮蔽板の蛍光Ｘ線等がその裏側の
検出器６に入射するおそれはない。このように試
料のめつき層２で発生した蛍光Ｘ線は検出器６に
入射するが、遮蔽板４の縁等から発生したＸ線が
この検出器に入射することは、これを第２の遮蔽
板によつて有効に防止することができる。第４図
はめつき層２の厚さＴと検出される蛍光Ｘ線の強
度Ｓの関係を示した曲線で、従来はバツクグラウ
ンド成分ｘの極めて大きい曲線Ｖが観測されたが
本考案によつてこの成分がｙのように極めて小さ
い曲線Ｗを得ることができる。従つて膜厚その他
のＸ線分析を正確に行い得る効果がある。なお上
記実施例は遮蔽板４の孔３を円形としたが、この
孔を例えば矩形状とし、これに伴つて凹欠部８を
も矩形状に形成すること等もできる。
第１図は本考案実施例の縦断正面図、第２図は
その側面図、第３図は第１図のＡ−Ａ断面図、第
４図は第１，２，３図の装置並びに従来の装置に
よる測定曲線の一例である。なお図において、１
は試料、２はめつき層、３はＸ線通過孔、４は遮
蔽板、５はＸ線源、６は検出器、７は遮蔽板、８
は凹欠部である。
その側面図、第３図は第１図のＡ−Ａ断面図、第
４図は第１，２，３図の装置並びに従来の装置に
よる測定曲線の一例である。なお図において、１
は試料、２はめつき層、３はＸ線通過孔、４は遮
蔽板、５はＸ線源、６は検出器、７は遮蔽板、８
は凹欠部である。
Claims (1)
- 試料の表面にＸ線を投射するＸ線源と、上記試
料の表面から発生する蛍光Ｘ線または回折Ｘ線等
を検出するＸ線検出器とよりなるＸ線分析装置に
おいて、上記試料の表面にほぼ密着するようにこ
の表面と平行に配置された第１のＸ線遮蔽板と、
一方の縁が上記第１のＸ線遮蔽板に密着するよう
に前記Ｘ線源とＸ線検出器との中間に配置された
第２のＸ線遮蔽板とよりなり、第１のＸ線遮蔽板
は第２の遮蔽板の縁と対向する部分にＸ線の通過
孔を有し、第２のＸ線遮蔽板は第１のＸ線遮蔽板
と接触する縁における上記通過孔と対向する部分
にＸ線の通過する凹欠部を有する視野制限スリツ
ト
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8663286U JPH0519839Y2 (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8663286U JPH0519839Y2 (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62199666U JPS62199666U (ja) | 1987-12-19 |
| JPH0519839Y2 true JPH0519839Y2 (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=30943118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8663286U Expired - Lifetime JPH0519839Y2 (ja) | 1986-06-09 | 1986-06-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0519839Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4406559B2 (ja) * | 2001-06-29 | 2010-01-27 | パナリティカル ビー ヴィ | 特に分析装置における電磁放射のための制限装置 |
| DE10259696B4 (de) * | 2002-12-18 | 2018-07-05 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Messen der Dicke dünner Schichten |
| JP6096419B2 (ja) * | 2012-04-12 | 2017-03-15 | 株式会社堀場製作所 | Ｘ線検出装置 |
-
1986
- 1986-06-09 JP JP8663286U patent/JPH0519839Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62199666U (ja) | 1987-12-19 |
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