JP6096419B2 - X線検出装置 - Google Patents
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Description
本発明に係るX線検出装置は、前記試料支持部が支持する試料を撮影する撮像素子を更に備え、前記コリメータは、光を通過させる窓部を有しており、前記試料からの光が前記窓部を通過して前記撮像素子へ入射する位置に前記窓部の位置を変更すべく移動することが可能になっていることを特徴とする。
本発明に係るX線検出装置は、前記第1遮蔽部材及び前記第2遮蔽部材は、互いに異なる材料で構成されていることを特徴とする。
図1は、X線検出装置の要部の構成を示す模式的斜視図である。X線検出装置は、X線を試料へ照射して発生する蛍光X線を検出し、蛍光X線スペクトルの測定又は試料に含有される元素を分析する蛍光X線分析を行うための装置である。X線検出装置は、試料を支持するための試料支持部1を備えている。試料支持部1は、水平板状であり、試料が載置されることによって試料を支持する。試料支持部1には、貫通孔11が設けられている。図1に図示していない試料は、貫通孔11を塞いで載置される。
11 貫通孔
14 X線透過膜
2 コリメータ
21、22、23 絞り孔
3 遮蔽体
31 第1遮蔽部材
32 第2遮蔽部材
4 X線照射部
5 X線検出器
61 撮像素子
62 窓部
7 直線駆動モータ
81 蓋部
82 樹脂部材
Claims (7)
- 試料支持部と、該試料支持部が支持する試料へX線を照射するX線照射部と、前記試料から発生するX線を検出するX線検出器と、前記X線照射部が試料へ照射するX線を絞るコリメータとを備えるX線検出装置において、
前記X線照射部のX線の出射口と前記X線検出器のX線の入射口とを前記試料支持部の共通する所定の部分に向けて、前記X線照射部及び前記X線検出器を配置してあり、
前記出射口と前記入射口とを結んだ経路を通るX線、及び前記コリメータの任意の部分と前記入射口とを結んだ経路を通るX線を遮蔽する遮蔽体を備え、
該遮蔽体は、
前記出射口と前記入射口とを結んだ経路を通るX線を遮蔽する第1遮蔽部材、並びに該第1遮蔽部材及び前記コリメータと前記入射口とを結んだ経路を通るX線を遮蔽する第2遮蔽部材を有すること
を特徴とするX線検出装置。 - 前記コリメータは平板状であり、
前記遮蔽体は前記コリメータの両面から突出してあること
を特徴とする請求項1に記載のX線検出装置。 - 前記遮蔽体は、前記試料支持部が支持する試料から前記入射口までのX線の経路を遮断しない形状であること
を特徴とする請求項1又は2に記載のX線検出装置。 - 前記遮蔽体及び前記コリメータが結合してあることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一つに記載のX線検出装置。
- 前記コリメータは、X線を絞るための複数の絞り孔を有し、
前記遮蔽体及び前記コリメータは、X線が通過する絞り孔を変更するように移動することが可能になっていること
を特徴とする請求項4に記載のX線検出装置。 - 前記試料支持部が支持する試料を撮影する撮像素子を更に備え、
前記コリメータは、
光を通過させる窓部を有しており、
前記試料からの光が前記窓部を通過して前記撮像素子へ入射する位置に前記窓部の位置を変更すべく移動することが可能になっていること
を特徴とする請求項5に記載のX線検出装置。 - 前記第1遮蔽部材及び前記第2遮蔽部材は、互いに異なる材料で構成されていることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一つに記載のX線検出装置。
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