JPS61202147A - 透過exafs測定装置 - Google Patents

透過exafs測定装置

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Publication number
JPS61202147A
JPS61202147A JP60043077A JP4307785A JPS61202147A JP S61202147 A JPS61202147 A JP S61202147A JP 60043077 A JP60043077 A JP 60043077A JP 4307785 A JP4307785 A JP 4307785A JP S61202147 A JPS61202147 A JP S61202147A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
rays
incident
exafs
fluorescent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60043077A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomohisa Kitano
北野 友久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP60043077A priority Critical patent/JPS61202147A/ja
Publication of JPS61202147A publication Critical patent/JPS61202147A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/083Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
    • G01N23/085X-ray absorption fine structure [XAFS], e.g. extended XAFS [EXAFS]

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、1つの検出器によって、試料に入射するX線
強度をモニターしながら拡張X線吸収微細構造(Ext
@nted X−ray Absorption Fi
neStructur・。以下EXAFSと略称する)
測定を同時に行なう透過EXAFS測定装置に関する。
〔従来の技術〕
EXAFS測定は、試料を構成している元素の吸収端エ
ネルギー近傍での吸収係数の微細構造を測定するもので
ある。
この吸収係数の微細構造を測定する際、通常のX線吸収
による吸収係数が大きなパックグランドとなシ、そのた
め試料に入射するX線強度の揺ぎが大きなノイズとなる
。そこで従来は第2図に示すように、試料23の前に検
出器22を設置し、試料に入射するX線21の強度をモ
ニターしながら試料23を透過してくるX線24の強度
を検出器25で計測して透過EXAFS測定を行なって
いた。(フィジカル−レビュー・レターズ(Phyg、
Rev、Latt、)27(1971)1204)。通
常、検出器には、ガスとして窒素やアルゴンを用いたイ
オンチャンバーが用いられている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、従来の光学系で測定されたスペクトルは試料の
μt(吸収係数と厚さの積)そのものではなく、検出器
22であるイオンチャンバー内のガスの吸収の影暢を受
けるという欠点があった。
本発明は、このような従来の欠点を除去せしめて、1つ
の検出器によって、試料に入射するX線強度をモニター
しながら同時にEXAFS測定を行なう透過EXAFS
測定装置を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、測定試料より原子番号の小さな元素で構成さ
れた試料台と、試料台に固定された試料を透過してくる
X線強度及び試料台からの螢光X線強度を同時に計測す
る半導体検出器とを備えた透過EXAFS測定装置であ
る。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例について、図面を参照して、詳細
に説明する。第1図(a)は、本発明における光学系を
第1図(b)は、マルチ・チャンネル・アナライザー(
Multi Channel Anilyser (以
下MCAと略す))で得られたスペクトルを示す。第1
図(a)において、入射X線11は、対象となる試料1
2よりも原子番号の小さな元素で構成されている試料台
13に固定された試料12に入射する。試料12と試料
13とを透過してきたX線14は、半導体検出器16に
よって計数される。半導体検出器16は、MCA17に
接続されておシ、透過X線14によるX線スペクトルは
、MCA 17上ではビ〜り19として記録される。こ
の時、試料台13は、試料12より、原子番号の小さな
元素で構成されているため、試料120EXAFSエネ
ルギー領域には、試料台13による微細構造が生ぜず、
試料12のEXAFS測定には、影響を及ぼさない。
一方、入射X線11が測定試料12より原子番号の小さ
な元素で構成されている試料台13に入射すると、螢光
xi15が発生し、半導体検出器16によって計数され
る。この時MCA17上ではピーク18として記録され
る。
螢光X線15の強度は、入射X線11の強度に比例する
ため、螢光X115の強度を計数することは、入射X線
110強度をモニターしていることに他ならない。
半導体検出器16は、エネルギー分解能が、通常の硬X
線波長領域で、約200 eVと良いため、透過X線1
4と螢光X線15とのエネルギーを分解するのに十分で
あり、MCA17上で、螢光X線15によるピーク】8
と、透過X線14によるピーク19とに分離された各々
のビーク強度を計数することが可能となる。
〔発明の効果〕
以上の発明によれば、1つの検出器によって、試料に入
射するX線強度をモニターしながら、透過EXAFS測
定が可能となシ、入射X線の検出器による吸収の影響を
取シ除くことができる効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図(、)は、本発明における透過EXAFS測定装
置を示すブロック図、(b)は、(a)によってMCA
上で得られたスペクトルを示す図、第2図は、従来の透
過EXAFS測定装置を示すブロック図である。 11・・・入射X線、12・・・試料、13・・・試料
台、14・・・透過X線、15・・・螢光X線、16・
・・半導体検出器、17・・・MCA、18・・・螢光
X線によるピーク、19・・・透過X線によるピーク

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)測定試料より原子番号の小さな元素で構成された
    試料台と、試料台に固定された試料を透過してくるX線
    強度及び試料台からの螢光X線強度を同時に計測する半
    導体検出器とを備えたことを特徴とする透過EXAFS
    測定装置。
JP60043077A 1985-03-05 1985-03-05 透過exafs測定装置 Pending JPS61202147A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60043077A JPS61202147A (ja) 1985-03-05 1985-03-05 透過exafs測定装置

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JP60043077A JPS61202147A (ja) 1985-03-05 1985-03-05 透過exafs測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61202147A true JPS61202147A (ja) 1986-09-06

Family

ID=12653781

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JP60043077A Pending JPS61202147A (ja) 1985-03-05 1985-03-05 透過exafs測定装置

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JP (1) JPS61202147A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104122279A (zh) * 2014-07-18 2014-10-29 中国科学院高能物理研究所 具有空间分辨能力的x射线微区吸收谱测量方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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