JPH06123717A - 複数条件螢光ｘ線定性分析方法 - Google Patents
複数条件螢光ｘ線定性分析方法Info
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- JPH06123717A JPH06123717A JP4299289A JP29928992A JPH06123717A JP H06123717 A JPH06123717 A JP H06123717A JP 4299289 A JP4299289 A JP 4299289A JP 29928992 A JP29928992 A JP 29928992A JP H06123717 A JPH06123717 A JP H06123717A
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- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定試料中の軽元素と重元素とを確実に測定
できるとともに、Ｘ線管のターゲット材料と同一材料の
元素が測定試料中に含まれているか否かの判断を精度よ
く行うことができる複数条件蛍光Ｘ線定性分析方法を提
供することにある。 【構成】 Ｘ線管１から発せられた一次Ｘ線２が測定試
料３に照射され、当該測定試料から発せられる蛍光Ｘ線
４を検出器６で検出し、その信号を信号処理手段７を経
てエネルギースペクトルとして読み取ることで当該測定
試料３に含まれている元素の定性分析を行うに際して、
測定試料中の軽元素および重元素をそれぞれ管電圧の大
きさを可変にすることにより測定するようにし、さら
に、一次Ｘ線フィルター８を用いた場合と用いない場合
の複数の条件で測定することにより、Ｘ線管１内のター
ゲット材料Ｔと同一材料の元素の有無を検出するように
したとからなる。
できるとともに、Ｘ線管のターゲット材料と同一材料の
元素が測定試料中に含まれているか否かの判断を精度よ
く行うことができる複数条件蛍光Ｘ線定性分析方法を提
供することにある。 【構成】 Ｘ線管１から発せられた一次Ｘ線２が測定試
料３に照射され、当該測定試料から発せられる蛍光Ｘ線
４を検出器６で検出し、その信号を信号処理手段７を経
てエネルギースペクトルとして読み取ることで当該測定
試料３に含まれている元素の定性分析を行うに際して、
測定試料中の軽元素および重元素をそれぞれ管電圧の大
きさを可変にすることにより測定するようにし、さら
に、一次Ｘ線フィルター８を用いた場合と用いない場合
の複数の条件で測定することにより、Ｘ線管１内のター
ゲット材料Ｔと同一材料の元素の有無を検出するように
したとからなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は複数条件蛍光Ｘ線定性
分析方法に関し、さらに詳しくは、原子番号が、例え
ば、１１，１２，１３，１４，１５，１６および１７を
それぞれ有するＮａ，Ｍｇ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｐ，Ｓおよび
Ｃｌ等の相対的に原子番号の小さい元素、いわゆる、軽
元素と呼ばれている元素と、原子番号が、例えば、３
８，３９，４０，４１，４２，４６，４７，４９，５
０，５１，７４，７８，７９および８２をそれぞれ有す
るＳｒ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｓ
ｎ，Ｓｂ，Ｗ，Ｐｔ，ＡｕおよびＰｂ等の相対的に原子
番号の大きい元素、いわゆる、重元素と呼ばれている元
素とを含む測定試料の蛍光Ｘ線定性分析を行うにあた
り、測定試料中の軽元素と重元素とを、Ｘ線管の管電圧
を低い管電圧および高い管電圧の２条件を用いて測定し
たり、Ｘ線管と測定試料の間に、一次Ｘ線フィルターを
設ける場合と設けない場合の２条件で測定することによ
り、Ｘ線管のターゲット材料と同一材料の元素が測定試
料中に含まれているか否かの判断を精度よく行うことが
できる複数条件蛍光Ｘ線定性分析方法に関するものであ
る。
分析方法に関し、さらに詳しくは、原子番号が、例え
ば、１１，１２，１３，１４，１５，１６および１７を
それぞれ有するＮａ，Ｍｇ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｐ，Ｓおよび
Ｃｌ等の相対的に原子番号の小さい元素、いわゆる、軽
元素と呼ばれている元素と、原子番号が、例えば、３
８，３９，４０，４１，４２，４６，４７，４９，５
０，５１，７４，７８，７９および８２をそれぞれ有す
るＳｒ，Ｙ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｓ
ｎ，Ｓｂ，Ｗ，Ｐｔ，ＡｕおよびＰｂ等の相対的に原子
番号の大きい元素、いわゆる、重元素と呼ばれている元
素とを含む測定試料の蛍光Ｘ線定性分析を行うにあた
り、測定試料中の軽元素と重元素とを、Ｘ線管の管電圧
を低い管電圧および高い管電圧の２条件を用いて測定し
たり、Ｘ線管と測定試料の間に、一次Ｘ線フィルターを
設ける場合と設けない場合の２条件で測定することによ
り、Ｘ線管のターゲット材料と同一材料の元素が測定試
料中に含まれているか否かの判断を精度よく行うことが
できる複数条件蛍光Ｘ線定性分析方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、蛍光Ｘ線分析装置では、図６、
図７に示すように、ターゲット部Ｔのターゲット材料と
してロジウム（Ｒｈ）を用いたＸ線管１で発生した一次
Ｘ線２を測定試料３に照射すると、一次Ｘ線２の一部は
測定試料３中の原子を励起して蛍光Ｘ線４を発生させ、
残りの一次Ｘ線２のほとんどは測定試料３で散乱され
る。この散乱Ｘ線５は、図８、図９に示すように、一次
Ｘ線２とほぼ同じエネルギーをもっている。図８には連
続Ｘ線とロジウムの特性Ｘ線であるＲｈ−Ｌ線とがＸ線
管電圧１５キロボルトの条件下で示されており、図９に
は、連続Ｘ線と、ロジウムの特性Ｘ線であるＲｈ−Ｌ
線，Ｒｈ−ＫαおよびＲｈ−ＫβとがＸ線管電圧５０キ
ロボルトの条件下で示されている。そして、例えば、図
１において、発生するアルミニウム（Ａｌ）の蛍光Ｘ線
（エネルギー１．４８６ｋｅＶ）の量は測定試料３に含
まれているアルミニウムの量と共存元素量との関数にな
っている。
図７に示すように、ターゲット部Ｔのターゲット材料と
してロジウム（Ｒｈ）を用いたＸ線管１で発生した一次
Ｘ線２を測定試料３に照射すると、一次Ｘ線２の一部は
測定試料３中の原子を励起して蛍光Ｘ線４を発生させ、
残りの一次Ｘ線２のほとんどは測定試料３で散乱され
る。この散乱Ｘ線５は、図８、図９に示すように、一次
Ｘ線２とほぼ同じエネルギーをもっている。図８には連
続Ｘ線とロジウムの特性Ｘ線であるＲｈ−Ｌ線とがＸ線
管電圧１５キロボルトの条件下で示されており、図９に
は、連続Ｘ線と、ロジウムの特性Ｘ線であるＲｈ−Ｌ
線，Ｒｈ−ＫαおよびＲｈ−ＫβとがＸ線管電圧５０キ
ロボルトの条件下で示されている。そして、例えば、図
１において、発生するアルミニウム（Ａｌ）の蛍光Ｘ線
（エネルギー１．４８６ｋｅＶ）の量は測定試料３に含
まれているアルミニウムの量と共存元素量との関数にな
っている。
【０００３】この際、図１に示すように、測定試料３に
含まれている各元素ごとに、発生する蛍光Ｘ線４のエネ
ルギー値は決まっているため、このスペクトルデータは
測定試料３に含まれる元素に応じたエネルギー位置にピ
ークを有する。このピークの位置より測定試料３に含ま
れる元素を特定することが可能である。
含まれている各元素ごとに、発生する蛍光Ｘ線４のエネ
ルギー値は決まっているため、このスペクトルデータは
測定試料３に含まれる元素に応じたエネルギー位置にピ
ークを有する。このピークの位置より測定試料３に含ま
れる元素を特定することが可能である。
【０００４】さて、図６において、測定試料３からでた
蛍光Ｘ線４および散乱Ｘ線５は、検出器（半導体検出
器）６に入り電気信号に変えられる。その後、増幅器６
ａを通ってマルチチャンネルアナライザ７に入り、エネ
ルギースペクトルが得られる。なお、図７のＸ線管１に
おいて、一次Ｘ線２は、Ｒｈのターゲット部Ｔに印加さ
れる管電圧ＥによりフィラメントＦから加速された電子
ｅ- がターゲット部Ｔに入射することで発生する。
蛍光Ｘ線４および散乱Ｘ線５は、検出器（半導体検出
器）６に入り電気信号に変えられる。その後、増幅器６
ａを通ってマルチチャンネルアナライザ７に入り、エネ
ルギースペクトルが得られる。なお、図７のＸ線管１に
おいて、一次Ｘ線２は、Ｒｈのターゲット部Ｔに印加さ
れる管電圧ＥによりフィラメントＦから加速された電子
ｅ- がターゲット部Ｔに入射することで発生する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、測定試料に含
まれる各元素のエネルギースペクトルが得られたとして
も、測定試料中の軽元素、例えば、Ａｌのエネルギース
ペクトルが、図１に示すように、１５ｋＶと低い管電圧
Ｅを用いてスペクトルデータとして得られるにもかかわ
らず、管電圧を５０ｋＶと高い管電圧Ｅを用いると、一
次Ｘ線２を同一測定試料に照射しているにもかかわら
ず、図２に示すように、Ａｌのエネルギースペクトルが
スペクトルデータとして出現し難いという問題がある。
また、Ｍｏ，Ｓｎといった重元素では、逆に１５キロボ
ルトと低いＸ線管電圧の時に、これらのエネルギースペ
クトルが出現し難いという問題がある。
まれる各元素のエネルギースペクトルが得られたとして
も、測定試料中の軽元素、例えば、Ａｌのエネルギース
ペクトルが、図１に示すように、１５ｋＶと低い管電圧
Ｅを用いてスペクトルデータとして得られるにもかかわ
らず、管電圧を５０ｋＶと高い管電圧Ｅを用いると、一
次Ｘ線２を同一測定試料に照射しているにもかかわら
ず、図２に示すように、Ａｌのエネルギースペクトルが
スペクトルデータとして出現し難いという問題がある。
また、Ｍｏ，Ｓｎといった重元素では、逆に１５キロボ
ルトと低いＸ線管電圧の時に、これらのエネルギースペ
クトルが出現し難いという問題がある。
【０００６】また、Ｒｈのエネルギースペクトルが、図
４に示すように、スペクトルデータとして出現しても、
はたしてＲｈ元素が実際に測定試料３中に含まれている
かどうか、そのスペクトルデータに出現したＲｈ元素は
Ｘ線管１のターゲット材料からのものであるのかどうか
の判断が難しい。そのため、精度よく定性分析を行うの
が難しいという結果に陥ることになる。
４に示すように、スペクトルデータとして出現しても、
はたしてＲｈ元素が実際に測定試料３中に含まれている
かどうか、そのスペクトルデータに出現したＲｈ元素は
Ｘ線管１のターゲット材料からのものであるのかどうか
の判断が難しい。そのため、精度よく定性分析を行うの
が難しいという結果に陥ることになる。
【０００７】この発明は、上記問題に鑑みてなしたもの
で、その目的は、測定試料中の軽元素と重元素とを確実
に検出できるとともに、Ｘ線管のターゲット材料と同一
材料の元素が測定試料中に含まれているか否かの判断を
精度よく行うことができる複数条件蛍光Ｘ線定性分析方
法を提供することにある。
で、その目的は、測定試料中の軽元素と重元素とを確実
に検出できるとともに、Ｘ線管のターゲット材料と同一
材料の元素が測定試料中に含まれているか否かの判断を
精度よく行うことができる複数条件蛍光Ｘ線定性分析方
法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために、この発明は、Ｘ線管から発せられた一次
Ｘ線が測定試料に照射され、当該測定試料から発せられ
る蛍光Ｘ線を検出器で検出し、その信号を信号処理手段
を経てエネルギースペクトルとして読み取ることで当該
測定試料に含まれている元素の定性分析を行うに際し
て、測定試料中の軽元素および重元素をそれぞれ管電圧
の大きさを可変にすることにより測定するようにしたこ
とからなる複数条件蛍光Ｘ線定性分析方法である。
成するために、この発明は、Ｘ線管から発せられた一次
Ｘ線が測定試料に照射され、当該測定試料から発せられ
る蛍光Ｘ線を検出器で検出し、その信号を信号処理手段
を経てエネルギースペクトルとして読み取ることで当該
測定試料に含まれている元素の定性分析を行うに際し
て、測定試料中の軽元素および重元素をそれぞれ管電圧
の大きさを可変にすることにより測定するようにしたこ
とからなる複数条件蛍光Ｘ線定性分析方法である。
【０００９】また、この発明は、別の観点から、Ｘ線管
から発せられた一次Ｘ線が測定試料に照射され、当該測
定試料から発せられる蛍光Ｘ線を検出器で検出し、その
信号を信号処理手段を経てエネルギースペクトルとして
読み取ることで当該測定試料に含まれている元素の定性
分析を行うに際して、少なくともターゲット材料の特性
Ｘ線の当該測定試料への入射を選択阻止するＸ線フィル
ター（一次Ｘ線フィルター）を用いることによって、Ｘ
線管のターゲット材料と同一材料の元素が測定試料中に
含まれているか否かの判断を行うことからなる複数条件
蛍光Ｘ線定性分析方法である。
から発せられた一次Ｘ線が測定試料に照射され、当該測
定試料から発せられる蛍光Ｘ線を検出器で検出し、その
信号を信号処理手段を経てエネルギースペクトルとして
読み取ることで当該測定試料に含まれている元素の定性
分析を行うに際して、少なくともターゲット材料の特性
Ｘ線の当該測定試料への入射を選択阻止するＸ線フィル
ター（一次Ｘ線フィルター）を用いることによって、Ｘ
線管のターゲット材料と同一材料の元素が測定試料中に
含まれているか否かの判断を行うことからなる複数条件
蛍光Ｘ線定性分析方法である。
【００１０】この発明は、測定試料中の軽元素および重
元素をそれぞれ管電圧の大きさを可変にすることにより
検出するようにしたものであり、具体的には、測定試料
中の軽元素と重元素とを、Ｘ線管の管電圧を低い管電圧
および高い管電圧の２条件を用いて検出する場合には、
測定試料中の軽元素、例えば、Ａｌのエネルギースペク
トルが、図１に示すように、１５ｋＶと低い管電圧Ｅを
用いてスペクトルデータとして得るようにし、管電圧を
５０ｋＶと高い管電圧Ｅを用いることにより、図２に示
すように、Ｍｏ，Ｓｎといった重元素を検出するように
する。さらに、図１のスペクトルデータと、図２のデー
タにおける各エネルギースペクトルとを加算する（図３
参照）ことにより、測定試料中の軽元素と重元素とを確
実に検出できることになる。
元素をそれぞれ管電圧の大きさを可変にすることにより
検出するようにしたものであり、具体的には、測定試料
中の軽元素と重元素とを、Ｘ線管の管電圧を低い管電圧
および高い管電圧の２条件を用いて検出する場合には、
測定試料中の軽元素、例えば、Ａｌのエネルギースペク
トルが、図１に示すように、１５ｋＶと低い管電圧Ｅを
用いてスペクトルデータとして得るようにし、管電圧を
５０ｋＶと高い管電圧Ｅを用いることにより、図２に示
すように、Ｍｏ，Ｓｎといった重元素を検出するように
する。さらに、図１のスペクトルデータと、図２のデー
タにおける各エネルギースペクトルとを加算する（図３
参照）ことにより、測定試料中の軽元素と重元素とを確
実に検出できることになる。
【００１１】また、この発明は、Ｘ線フィルター（一次
Ｘ線フィルター）を用いることによって、Ｘ線管のター
ゲット材料と同一材料の元素が測定試料中に含まれてい
るか否かの判断を行うようにしたものであり、具体的に
は、Ｘ線管１のターゲット材料としてＲｈを使っている
場合には、Ｘ線管１のターゲット材料から発生した特性
Ｘ線の当該測定試料３への入射を阻止するＸ線フィルタ
ー８をＸ線管１と当該測定試料３との間に設け、それに
よって、Ｒｈのエネルギースペクトルが、図４に示すよ
うに、一次Ｘ線フィルター８を用いない場合には、スペ
クトルデータとして出現しても、図５に示すように、一
次Ｘ線フィルター８を用いるとＲｈ元素のスペクトルデ
ータが出現しないことから、Ｒｈ元素が実際に測定試料
中には含まれておらず、その結果、図４のスペクトルデ
ータでは、ターゲット材料Ｒｈの特性Ｘ線が測定試料３
により発生したものが測定されたと判断できる。このよ
うに２条件を設定することによって、従来の上述した問
題点を克服できる。
Ｘ線フィルター）を用いることによって、Ｘ線管のター
ゲット材料と同一材料の元素が測定試料中に含まれてい
るか否かの判断を行うようにしたものであり、具体的に
は、Ｘ線管１のターゲット材料としてＲｈを使っている
場合には、Ｘ線管１のターゲット材料から発生した特性
Ｘ線の当該測定試料３への入射を阻止するＸ線フィルタ
ー８をＸ線管１と当該測定試料３との間に設け、それに
よって、Ｒｈのエネルギースペクトルが、図４に示すよ
うに、一次Ｘ線フィルター８を用いない場合には、スペ
クトルデータとして出現しても、図５に示すように、一
次Ｘ線フィルター８を用いるとＲｈ元素のスペクトルデ
ータが出現しないことから、Ｒｈ元素が実際に測定試料
中には含まれておらず、その結果、図４のスペクトルデ
ータでは、ターゲット材料Ｒｈの特性Ｘ線が測定試料３
により発生したものが測定されたと判断できる。このよ
うに２条件を設定することによって、従来の上述した問
題点を克服できる。
【００１２】なお、この発明では、管電圧の設定が、低
い管電圧および高い管電圧の２条件に限らず、測定試料
の種類等によって、精度よく定性分析を行うために、適
宜、複数条件に管電圧を設定してもよいことはいうまで
もない。
い管電圧および高い管電圧の２条件に限らず、測定試料
の種類等によって、精度よく定性分析を行うために、適
宜、複数条件に管電圧を設定してもよいことはいうまで
もない。
【００１３】また、この発明では、Ｘ線管のターゲット
材料の種類に応じて、適宜、Ｘ線フィルターを選別でき
る。
材料の種類に応じて、適宜、Ｘ線フィルターを選別でき
る。
【００１４】さらに、これら管電圧の複数条件と、Ｘ線
フィルターの選別とを、目的に応じて組み合わすこと
で、より精度よく定性分析を行うことができる。
フィルターの選別とを、目的に応じて組み合わすこと
で、より精度よく定性分析を行うことができる。
【００１５】
【実施例】以下、この発明に係る２条件蛍光Ｘ線定性分
析方法の第１の実施例を、図面に基づいて説明する。な
お、この発明はそれによって限定を受けるものではな
い。測定試料中の軽元素、例えば、Ａｌのエネルギース
ペクトルが、図１に示すように、１５ｋＶと低い管電圧
Ｅを用いてスペクトルデータとして得るようにし、管電
圧を５０ｋＶと高い管電圧Ｅを用いることにより、図２
に示すように、Ｍｏ，Ｓｎといった重元素を検出するよ
うにする。さらに、図１のスペクトルデータと、図２の
データにおける各エネルギースペクトルとを加算する
（図３参照）ことにより、測定試料中の軽元素と重元素
とを確実に測定できることになる。
析方法の第１の実施例を、図面に基づいて説明する。な
お、この発明はそれによって限定を受けるものではな
い。測定試料中の軽元素、例えば、Ａｌのエネルギース
ペクトルが、図１に示すように、１５ｋＶと低い管電圧
Ｅを用いてスペクトルデータとして得るようにし、管電
圧を５０ｋＶと高い管電圧Ｅを用いることにより、図２
に示すように、Ｍｏ，Ｓｎといった重元素を検出するよ
うにする。さらに、図１のスペクトルデータと、図２の
データにおける各エネルギースペクトルとを加算する
（図３参照）ことにより、測定試料中の軽元素と重元素
とを確実に測定できることになる。
【００１６】図４，５は、Ｘ線フィルター（一次Ｘ線フ
ィルター）を用いることによって、Ｘ線管のターゲット
材料（Ｒｈ）と同一材料の元素が測定試料中に含まれて
いるか否かの判断を行うようにしたこの発明の第２の実
施例を示す。
ィルター）を用いることによって、Ｘ線管のターゲット
材料（Ｒｈ）と同一材料の元素が測定試料中に含まれて
いるか否かの判断を行うようにしたこの発明の第２の実
施例を示す。
【００１７】Ｘ線管１のターゲット材料としてＲｈを使
っている場合には、Ｘ線管１のターゲット材料から発生
した特性Ｘ線の測定試料３への入射を阻止する一次Ｘ線
フィルター８をＸ線管１と測定試料３との間に設け、そ
れによって、Ｒｈのエネルギースペクトルが、図４に示
すように、一次Ｘ線フィルター８を用いない場合には、
スペクトルデータとして出現しても、図５に示すよう
に、一次Ｘ線フィルター８を用いるとＲｈ元素のスペク
トルデータが出現しないことから、Ｒｈ元素が実際に測
定試料中には含まれておらず、その結果、図４のスペク
トルデータでは、ターゲット材料Ｒｈの特性Ｘ線が測定
試料３により発生したものが測定されたと判断できる。
っている場合には、Ｘ線管１のターゲット材料から発生
した特性Ｘ線の測定試料３への入射を阻止する一次Ｘ線
フィルター８をＸ線管１と測定試料３との間に設け、そ
れによって、Ｒｈのエネルギースペクトルが、図４に示
すように、一次Ｘ線フィルター８を用いない場合には、
スペクトルデータとして出現しても、図５に示すよう
に、一次Ｘ線フィルター８を用いるとＲｈ元素のスペク
トルデータが出現しないことから、Ｒｈ元素が実際に測
定試料中には含まれておらず、その結果、図４のスペク
トルデータでは、ターゲット材料Ｒｈの特性Ｘ線が測定
試料３により発生したものが測定されたと判断できる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の複数条
件蛍光Ｘ線定性分析方法は、測定試料中の軽元素および
重元素をそれぞれ管電圧の大きさを可変にすることによ
り測定するようにしたものであり、また、Ｘ線フィルタ
ー（一次Ｘ線フィルター）を用い、それによって、測定
試料中の軽元素と重元素とを確実に測定できるととも
に、Ｘ線管のターゲット材料と同一材料の元素が測定試
料中に含まれているか否かの判断を確実に行い得て、精
度よく蛍光Ｘ線定性分析方法を行える効果がある。
件蛍光Ｘ線定性分析方法は、測定試料中の軽元素および
重元素をそれぞれ管電圧の大きさを可変にすることによ
り測定するようにしたものであり、また、Ｘ線フィルタ
ー（一次Ｘ線フィルター）を用い、それによって、測定
試料中の軽元素と重元素とを確実に測定できるととも
に、Ｘ線管のターゲット材料と同一材料の元素が測定試
料中に含まれているか否かの判断を確実に行い得て、精
度よく蛍光Ｘ線定性分析方法を行える効果がある。
【図１】この発明の第１実施例における定性分析方法で
得られた軽元素のエネルギースペクトルを示す図であ
る。
得られた軽元素のエネルギースペクトルを示す図であ
る。
【図２】上記実施例における定性分析方法で得られた重
元素のエネルギースペクトルを示す図である。
元素のエネルギースペクトルを示す図である。
【図３】上記実施例における定性分析方法で得られた測
定試料中の軽元素および重元素のエネルギースペクトル
を示す図である。
定試料中の軽元素および重元素のエネルギースペクトル
を示す図である。
【図４】この発明の第２実施例における定性分析方法で
Ｘ線フィルターを用いないで得られた測定試料のエネル
ギースペクトルを示す図である。
Ｘ線フィルターを用いないで得られた測定試料のエネル
ギースペクトルを示す図である。
【図５】上記第２実施例における定性分析方法でＸ線フ
ィルター（一次Ｘ線フィルター）を用いることで得られ
た測定試料に含まれる各元素のエネルギースペクトルを
示す図である。
ィルター（一次Ｘ線フィルター）を用いることで得られ
た測定試料に含まれる各元素のエネルギースペクトルを
示す図である。
【図６】上記各実施例における定性分析方法で用いる分
析装置の一実施例を示す構成説明図である。
析装置の一実施例を示す構成説明図である。
【図７】上記各実施例における分析方法で用いる分析装
置の要部構成説明図である。
置の要部構成説明図である。
【図８】上記第２実施例における分析方法で用いる分析
装置における構成材料の特性を示す図である。
装置における構成材料の特性を示す図である。
【図９】上記第２実施例における分析方法で用いる分析
装置における構成材料の他の特性を示す図である。
装置における構成材料の他の特性を示す図である。
１…Ｘ線管、２… 一次Ｘ線、３…測定試料、４…蛍光
Ｘ線、５…散乱Ｘ線、６…比例計数管（検出器）、７…
マルチチャンネルアナライザ（信号処理手段）、８…Ｘ
線フィルター（一次Ｘ線フィルター）、Ｅ…管電圧、Ｔ
…ターゲット部。
Ｘ線、５…散乱Ｘ線、６…比例計数管（検出器）、７…
マルチチャンネルアナライザ（信号処理手段）、８…Ｘ
線フィルター（一次Ｘ線フィルター）、Ｅ…管電圧、Ｔ
…ターゲット部。
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線管から発せられた一次Ｘ線が測定試
料に照射され、当該測定試料から発せられる蛍光Ｘ線を
検出器で検出し、その信号を信号処理手段を経てエネル
ギースペクトルとして読み取ることで当該測定試料に含
まれている元素の定性分析を行うに際して、測定試料中
の軽元素および重元素をそれぞれ管電圧の大きさを可変
にすることにより測定するようにしたことからなる複数
条件蛍光Ｘ線定性分析方法。 - 【請求項２】 Ｘ線管から発せられた一次Ｘ線が測定試
料に照射され、当該測定試料から発せられる蛍光Ｘ線を
検出器で検出し、その信号を信号処理手段を経てエネル
ギースペクトルとして読み取ることで当該測定試料に含
まれている元素の定性分析を行うに際して、少なくとも
ターゲット材料の特性Ｘ線の当該測定試料への入射を選
択阻止するＸ線フィルター（一次Ｘ線フィルター）を用
いることによって、Ｘ線管のターゲット材料と同一材料
の元素が測定試料中に含まれているか否かの判断を行う
ことからなる複数条件蛍光Ｘ線定性分析方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Patent Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
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