JP2926857B2 - Ｘ線による定性分析装置 - Google Patents
Ｘ線による定性分析装置Info
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- JP2926857B2 JP2926857B2 JP8721590A JP8721590A JP2926857B2 JP 2926857 B2 JP2926857 B2 JP 2926857B2 JP 8721590 A JP8721590 A JP 8721590A JP 8721590 A JP8721590 A JP 8721590A JP 2926857 B2 JP2926857 B2 JP 2926857B2
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- Japan
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- ray
- background
- sample
- wavelength
- characteristic
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は定性分析が容易な同時型Ｘ線分析装置に関す
る。
る。
（従来の技術） 同時型Ｘ線分析装置は試料の周囲に検出波長を複数の
元素に合わせて固定された複数のＸ線分光器を配置し
て、同時に複数の元素の検出を行い得るもので、36チャ
ンネル（一つのＸ線分光器と、それに付属するＸ線検出
回路を合せて１チャンネルとする）を備えたものがあ
る。走査型のＸ線分析装置で試料の定性分析を行う場
合、Ｘ線分光器で波長走査を行って試料から放射される
Ｘ線のスペクトルを測定するので、大へん長時間を要す
る。同時型の装置では同時に多数の元素を検出できるの
で、分析所要時間は遥かに短縮できる。
元素に合わせて固定された複数のＸ線分光器を配置し
て、同時に複数の元素の検出を行い得るもので、36チャ
ンネル（一つのＸ線分光器と、それに付属するＸ線検出
回路を合せて１チャンネルとする）を備えたものがあ
る。走査型のＸ線分析装置で試料の定性分析を行う場
合、Ｘ線分光器で波長走査を行って試料から放射される
Ｘ線のスペクトルを測定するので、大へん長時間を要す
る。同時型の装置では同時に多数の元素を検出できるの
で、分析所要時間は遥かに短縮できる。
しかし同時型のＸ線分析装置は本来定量分析に適する
もので定性分析には向いていない。それは、同時型のＸ
線分析装置は個々のＸ線分析器が試料成分の特性Ｘ線波
長に設定されるので、試料から放射されているバックグ
ラウンドＸ線と試料成分元素の特性Ｘ線とを識別するこ
とができないからである。同時型のＸ線分析装置でも、
波長走査可能なＸ線分光器が付属されているものでは、
その分光器で波長走査して試料についてのバックグラウ
ンドを測定することができるから、定性分析も可能であ
るが、試料毎に一々波長走査するので、定性分析には通
常の走査型の装置と同じ時間がかかることになる。定量
分析の場合は、標準試料を用いて検量線を作成し、試料
から放射される個々の成分元素に対する特性Ｘ線強度を
上記検量線上に当嵌めて定量を行うので、バックグラウ
ンドは標準試料の場合も、被測定試料の場合も同じであ
るから、自然にバックグラウンドは消去されているので
あるが、定性分析の場合、予め個々の成分元素について
標準試料を用意しておくと云うようなことはできないか
ら、或るチャンネルでＸ線が検出されたとしても、それ
が単なるバックグラウンドＸ線を検出しているだけなの
か、そのチャンネルに対応している元素が存在している
ことによるのかの判別ができないのである。
もので定性分析には向いていない。それは、同時型のＸ
線分析装置は個々のＸ線分析器が試料成分の特性Ｘ線波
長に設定されるので、試料から放射されているバックグ
ラウンドＸ線と試料成分元素の特性Ｘ線とを識別するこ
とができないからである。同時型のＸ線分析装置でも、
波長走査可能なＸ線分光器が付属されているものでは、
その分光器で波長走査して試料についてのバックグラウ
ンドを測定することができるから、定性分析も可能であ
るが、試料毎に一々波長走査するので、定性分析には通
常の走査型の装置と同じ時間がかかることになる。定量
分析の場合は、標準試料を用いて検量線を作成し、試料
から放射される個々の成分元素に対する特性Ｘ線強度を
上記検量線上に当嵌めて定量を行うので、バックグラウ
ンドは標準試料の場合も、被測定試料の場合も同じであ
るから、自然にバックグラウンドは消去されているので
あるが、定性分析の場合、予め個々の成分元素について
標準試料を用意しておくと云うようなことはできないか
ら、或るチャンネルでＸ線が検出されたとしても、それ
が単なるバックグラウンドＸ線を検出しているだけなの
か、そのチャンネルに対応している元素が存在している
ことによるのかの判別ができないのである。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は同時型Ｘ線分析装置の高能率性を活かし、し
かも定性分析が容易確実にできるようにしようとするも
のである。
かも定性分析が容易確実にできるようにしようとするも
のである。
（課題を解決するための手段） 試料周囲に配置された複数のＸ線分光器の中の複数個
を夫々異るバックグラウンド波長に設定し、残りの複数
のＸ線分光器を各種元素の特性Ｘ線波長に合せて設定
し、被分析試料の測定時、各バツクグラウンド波長に設
定されたＸ線分光器の出力により内挿的に各元素の特性
Ｘ線波長位置のバックグラウンドを算定し、各元素対応
Ｘ線分光器の出力より、上記測定したバックグラウンド
を引算するようにした。
を夫々異るバックグラウンド波長に設定し、残りの複数
のＸ線分光器を各種元素の特性Ｘ線波長に合せて設定
し、被分析試料の測定時、各バツクグラウンド波長に設
定されたＸ線分光器の出力により内挿的に各元素の特性
Ｘ線波長位置のバックグラウンドを算定し、各元素対応
Ｘ線分光器の出力より、上記測定したバックグラウンド
を引算するようにした。
（作用） バックグラウンドは試料によって異っている。しかし
毎回試料分析毎に波長走査によってバックグラウンドの
測定を行っていると大へん時間がかゝる。本発明によれ
ば複数のＸ線検出器によりバックグラウンドを検出して
いるので、個々の試料に対するバックグラウンドは内挿
的に決定することができる。各元素対応のＸ線分光器の
出力はこのバックグラウンドと夫々の元素の特性Ｘ線の
強度の和になっているので、上記のようにして求められ
たバックグラウンドを引算してなお検出出力があればそ
の元素在りと判定できる。
毎回試料分析毎に波長走査によってバックグラウンドの
測定を行っていると大へん時間がかゝる。本発明によれ
ば複数のＸ線検出器によりバックグラウンドを検出して
いるので、個々の試料に対するバックグラウンドは内挿
的に決定することができる。各元素対応のＸ線分光器の
出力はこのバックグラウンドと夫々の元素の特性Ｘ線の
強度の和になっているので、上記のようにして求められ
たバックグラウンドを引算してなお検出出力があればそ
の元素在りと判定できる。
（実施例） 第１図に本発明の一実施例のＸ線分析装置を示す。こ
の装置は蛍光Ｘ線分析装置で、Ｓが試料であり、図の紙
面より手前側図外に試料励起のＸ線源があり、試料Ｓの
周囲に多数のＸ線分光器が配置されたものである。これ
らのＸ線分光器（図ではＸ線検出器およびその回路も含
めて一つのチャンネルを一ブロックで示している）のう
ち、１は波長走査可能であり、他の2,3,4,5,6の５チャ
ンネルのＸ線分光器は種々な元素の特性Ｘ線が存在しな
い波長即ち複数のバックグラウンド波長に設定されてお
り、他の7,8,…ｎ個のチャンネルのｘ線分光器は夫々異
る元素の特性Ｘ線波長に設定されている。CPUは上記走
査可能なＸ線分光器を駆動し、各チャンネルの出力を取
込みメモリＭに格納し、後述するデータ処理を行う演算
手段である。第２図は上述装置の動作のフローチャート
をしめす。適当な試料を用い、一つのチャンネルのＸ線
分光器で波長走査を行ってＸ線スペクトルのデータを採
取し記憶する（イ）。蛍光Ｘ線分光分析の場合、上記適
当な試料としてアクリル樹脂のようなものを使用すると
通常蛍光Ｘ線分析で検出するような元素の特性Ｘ線は発
生しないで、バックグラウンドはつよいので、Ｘ線スペ
クトルはバックグラウンドだけを示すものとなる。同時
に他の全チャンネルのＸ線分光器の検出出力をも記憶す
る。次に各チャンネルのＸ線分光器の感度補正を行う
（ロ）。（イ）のステップで求められたＸ線スペクトル
は第３図に示すような形になっている、第３図ではa,b,
c…の各点は波長走査を行うＸ線分光器以外のＸ線分光
器の設定波長であり、各Ｘ線分光器の感度補正は夫々の
Ｘ線分光器の出力が第３図のa,b,c…等の波長位置のＸ
線強度値と等しくなるように調整するもので、具体的調
整手段は、各Ｘ線分光器の出力に掛算する補正係数を記
憶しておくことで行われる。以上（イ），（ロ）のステ
ップは予め一回行っておけば以後当分の間行う必要はな
く、（ハ）以下のステップが各試料毎に行われる動作と
なる。被測定試料分析の場合、試料を装置にセットし、
各元素の特性Ｘ線波長に設定したＸ線分光器の出力を採
取（ハ）し、また同時に幾つかのバックグラウンド波長
位置（元素の特性Ｘ線が存在しなし波長）に設定された
チャンネルのＸ線分光器の出力を採取（ニ）し、（ニ）
のステップで得られた幾つかの波長位置のＸ線強度のデ
ータから内挿演算で第４図に示すようなバックグラウン
ド曲線を作成（ホ）する。（ホ）のステップでは各チャ
ンネルのＸ線分光器の出力に（ロ）のステップで求めら
れた補正係数を掛算して、幾つかの波長におけるバック
グラウンド強度を求めて、それらを一つの曲線でつなぐ
のである。（ホ）のステップで波長対バックグラウンド
強度の関係が決まったら、各元素の特性Ｘ線波長に設定
してあるチャンネルのＸ線分光器の出力（これも補正係
数を掛けて感度を補正する）から、（ホ）のステップで
求まる夫々の波長位置のバックグラウンド強度を引算
（ヘ）する。引算の結果が或る値以上であれば、対応の
元素が存在すると判定されるが、この実施例では、波長
走査型Ｘ線分析装置により波長走査して得られた種々な
試料のＸ線スペクトルとの比較を行い易くするため、第
５図に示すように（ヘ）のステップで求まった各元素の
特性Ｘ線のピークプロファイルとして、その特性Ｘ線強
度を頂点とし、その特性Ｘ線波長を中心とする0.2〜0.5
゜の幅のガウス分布曲線Ｇを作成（ト）し、このガウス
分布曲線を（ホ）のステップで求められたバックグラウ
ンド曲線に加算して第６図に示すようなＸ線スペクトル
カーブを作成（チ）し、そのカーブを記録装置で描出
（リ）して一つの試料の分析を終る。
の装置は蛍光Ｘ線分析装置で、Ｓが試料であり、図の紙
面より手前側図外に試料励起のＸ線源があり、試料Ｓの
周囲に多数のＸ線分光器が配置されたものである。これ
らのＸ線分光器（図ではＸ線検出器およびその回路も含
めて一つのチャンネルを一ブロックで示している）のう
ち、１は波長走査可能であり、他の2,3,4,5,6の５チャ
ンネルのＸ線分光器は種々な元素の特性Ｘ線が存在しな
い波長即ち複数のバックグラウンド波長に設定されてお
り、他の7,8,…ｎ個のチャンネルのｘ線分光器は夫々異
る元素の特性Ｘ線波長に設定されている。CPUは上記走
査可能なＸ線分光器を駆動し、各チャンネルの出力を取
込みメモリＭに格納し、後述するデータ処理を行う演算
手段である。第２図は上述装置の動作のフローチャート
をしめす。適当な試料を用い、一つのチャンネルのＸ線
分光器で波長走査を行ってＸ線スペクトルのデータを採
取し記憶する（イ）。蛍光Ｘ線分光分析の場合、上記適
当な試料としてアクリル樹脂のようなものを使用すると
通常蛍光Ｘ線分析で検出するような元素の特性Ｘ線は発
生しないで、バックグラウンドはつよいので、Ｘ線スペ
クトルはバックグラウンドだけを示すものとなる。同時
に他の全チャンネルのＸ線分光器の検出出力をも記憶す
る。次に各チャンネルのＸ線分光器の感度補正を行う
（ロ）。（イ）のステップで求められたＸ線スペクトル
は第３図に示すような形になっている、第３図ではa,b,
c…の各点は波長走査を行うＸ線分光器以外のＸ線分光
器の設定波長であり、各Ｘ線分光器の感度補正は夫々の
Ｘ線分光器の出力が第３図のa,b,c…等の波長位置のＸ
線強度値と等しくなるように調整するもので、具体的調
整手段は、各Ｘ線分光器の出力に掛算する補正係数を記
憶しておくことで行われる。以上（イ），（ロ）のステ
ップは予め一回行っておけば以後当分の間行う必要はな
く、（ハ）以下のステップが各試料毎に行われる動作と
なる。被測定試料分析の場合、試料を装置にセットし、
各元素の特性Ｘ線波長に設定したＸ線分光器の出力を採
取（ハ）し、また同時に幾つかのバックグラウンド波長
位置（元素の特性Ｘ線が存在しなし波長）に設定された
チャンネルのＸ線分光器の出力を採取（ニ）し、（ニ）
のステップで得られた幾つかの波長位置のＸ線強度のデ
ータから内挿演算で第４図に示すようなバックグラウン
ド曲線を作成（ホ）する。（ホ）のステップでは各チャ
ンネルのＸ線分光器の出力に（ロ）のステップで求めら
れた補正係数を掛算して、幾つかの波長におけるバック
グラウンド強度を求めて、それらを一つの曲線でつなぐ
のである。（ホ）のステップで波長対バックグラウンド
強度の関係が決まったら、各元素の特性Ｘ線波長に設定
してあるチャンネルのＸ線分光器の出力（これも補正係
数を掛けて感度を補正する）から、（ホ）のステップで
求まる夫々の波長位置のバックグラウンド強度を引算
（ヘ）する。引算の結果が或る値以上であれば、対応の
元素が存在すると判定されるが、この実施例では、波長
走査型Ｘ線分析装置により波長走査して得られた種々な
試料のＸ線スペクトルとの比較を行い易くするため、第
５図に示すように（ヘ）のステップで求まった各元素の
特性Ｘ線のピークプロファイルとして、その特性Ｘ線強
度を頂点とし、その特性Ｘ線波長を中心とする0.2〜0.5
゜の幅のガウス分布曲線Ｇを作成（ト）し、このガウス
分布曲線を（ホ）のステップで求められたバックグラウ
ンド曲線に加算して第６図に示すようなＸ線スペクトル
カーブを作成（チ）し、そのカーブを記録装置で描出
（リ）して一つの試料の分析を終る。
（発明の効果） 本発明によれば、従来バックグラウンド除去ができな
かった多チャンネルのＸ線分光器を備えた同時型Ｘ線分
光装置で、同時に複数元素の検出ができるから、分析所
要時間は、従来の走査型分析装置で１〜２時間かかって
いた定性分析が数分で完了でき、甚だ能率的であり、し
かもバックグラウンドが除去されているので、各元素の
検出限界が低く、能率的かつ高感度で定性分析ができる
ことになる。
かった多チャンネルのＸ線分光器を備えた同時型Ｘ線分
光装置で、同時に複数元素の検出ができるから、分析所
要時間は、従来の走査型分析装置で１〜２時間かかって
いた定性分析が数分で完了でき、甚だ能率的であり、し
かもバックグラウンドが除去されているので、各元素の
検出限界が低く、能率的かつ高感度で定性分析ができる
ことになる。
第１図は本発明装置のブロック図、第２図は本発明装置
の一実施例の動作のフローチャート、第３図は実測され
るバックグラウンド曲線の一例のグラフ、第４図は数点
のＸ線強度から内挿により作成されたバックグラウンド
曲線、第５図は一つの元素の特性Ｘ線強度データから作
成されるＸ線スペクトルピークの曲線、第６図は上記実
施例により作成された試料のＸ線スペクトルのグラブで
ある。
の一実施例の動作のフローチャート、第３図は実測され
るバックグラウンド曲線の一例のグラフ、第４図は数点
のＸ線強度から内挿により作成されたバックグラウンド
曲線、第５図は一つの元素の特性Ｘ線強度データから作
成されるＸ線スペクトルピークの曲線、第６図は上記実
施例により作成された試料のＸ線スペクトルのグラブで
ある。
Claims (1)
- 【請求項１】試料周囲に配置された複数のＸ線分光器の
うち複数個を複数のバックグラウンド波長に設定し、他
の複数個を複数の元素の特性Ｘ線波長に設定し、上記バ
ツクグラウンド波長に設定されたＸ線分光器の出力によ
って被測定試料に対するバックグラウンド曲線を内挿的
に作成し、複数の元素の特性Ｘ線波長に設定されたＸ線
分光器の出力に対して上記内挿的に作成されたバックグ
ラウンドを引算する演算手段をもうけたことを特徴とす
るＸ線による定量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8721590A JP2926857B2 (ja) | 1990-03-31 | 1990-03-31 | Ｘ線による定性分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8721590A JP2926857B2 (ja) | 1990-03-31 | 1990-03-31 | Ｘ線による定性分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03285153A JPH03285153A (ja) | 1991-12-16 |
| JP2926857B2 true JP2926857B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=13908701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8721590A Expired - Lifetime JP2926857B2 (ja) | 1990-03-31 | 1990-03-31 | Ｘ線による定性分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2926857B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1076222A1 (en) * | 1999-08-10 | 2001-02-14 | Corus Aluminium Walzprodukte GmbH | X-ray fluorescence measurement of aluminium sheet thickness |
| JP2018091691A (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-14 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
-
1990
- 1990-03-31 JP JP8721590A patent/JP2926857B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03285153A (ja) | 1991-12-16 |
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