JP2564930B2 - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
蛍光x線分析装置Info
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- JP2564930B2 JP2564930B2 JP1048156A JP4815689A JP2564930B2 JP 2564930 B2 JP2564930 B2 JP 2564930B2 JP 1048156 A JP1048156 A JP 1048156A JP 4815689 A JP4815689 A JP 4815689A JP 2564930 B2 JP2564930 B2 JP 2564930B2
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Description
【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、蛍光X線分析装置に係り、特にはX線検出
器の不感時間に起因するX線強度のカウント値の損失を
補正する手段の改良に関する。
器の不感時間に起因するX線強度のカウント値の損失を
補正する手段の改良に関する。
(ロ)従来の技術 従来の蛍光X線分析装置には、第2図に示す構成のも
のがある。この蛍光X線分析装置では、図外の試料から
励起されて放射される蛍光X線を分光結晶(図示省略)
で分光し、分光された特定波長のX線を比例計数管等の
X線検出器aで検出する。この場合、分析試料中にたと
えばPとCuとが共存しているときには、PKα線と、CuK
αの高次線(4次線)の波長が互いに近似しているため
に、Pを分析したい場合でも、その共存元素のCuの高次
線も同時にX線検出器aに検出されて分析精度の低下を
もたらす。したがって、このような妨害元素(この例で
はCu)の影響を除くために、X線検出器aからの検出パ
ルスを増幅器bで増幅した後、波高分析器(PHA)cを
通してエネルギー選別を行う。すなわち、第3図に示す
ように、PKαとCuKαの高次線とではエネルギーレベル
が異なるので、波高分析器cでチャンネル幅wを適宜設
定することにより妨害元素を除いた検出パルスのみを通
過させる。そして、波高分析器cを通過した検出パルス
をスケーラdでタイマーeで設定された単位時間にわた
ってカウントして計数率(cps)を求める。
のがある。この蛍光X線分析装置では、図外の試料から
励起されて放射される蛍光X線を分光結晶(図示省略)
で分光し、分光された特定波長のX線を比例計数管等の
X線検出器aで検出する。この場合、分析試料中にたと
えばPとCuとが共存しているときには、PKα線と、CuK
αの高次線(4次線)の波長が互いに近似しているため
に、Pを分析したい場合でも、その共存元素のCuの高次
線も同時にX線検出器aに検出されて分析精度の低下を
もたらす。したがって、このような妨害元素(この例で
はCu)の影響を除くために、X線検出器aからの検出パ
ルスを増幅器bで増幅した後、波高分析器(PHA)cを
通してエネルギー選別を行う。すなわち、第3図に示す
ように、PKαとCuKαの高次線とではエネルギーレベル
が異なるので、波高分析器cでチャンネル幅wを適宜設
定することにより妨害元素を除いた検出パルスのみを通
過させる。そして、波高分析器cを通過した検出パルス
をスケーラdでタイマーeで設定された単位時間にわた
ってカウントして計数率(cps)を求める。
一方、X線検出器aには、その特性上、到来するX線
を分離して検出できない、いわゆる不感時間τが存在す
る。この不感時間τのために、X線検出器aに実際に到
来するX線の強度値に比べて、スケーラdで得られる計
数率が小さくなる。そして、第4図に示すように、この
不感時間に起因する計数率の損失δは、X線強度が大き
くなる程に顕著となる。したがって、正確なX線強度を
測定するためには、計数率を補正する必要がある。その
ため、スケーラdで得られたカウント値nと予め設定し
たX線検出器aの不感時間τの値をそれぞれ次段の演算
器fに与えて補正を行う。この場合の補正は、従来、次
式に基づいて行われている。
を分離して検出できない、いわゆる不感時間τが存在す
る。この不感時間τのために、X線検出器aに実際に到
来するX線の強度値に比べて、スケーラdで得られる計
数率が小さくなる。そして、第4図に示すように、この
不感時間に起因する計数率の損失δは、X線強度が大き
くなる程に顕著となる。したがって、正確なX線強度を
測定するためには、計数率を補正する必要がある。その
ため、スケーラdで得られたカウント値nと予め設定し
たX線検出器aの不感時間τの値をそれぞれ次段の演算
器fに与えて補正を行う。この場合の補正は、従来、次
式に基づいて行われている。
n0=n/(1−n・τ) (1) ここに、n0は補正後の計数率(cps)、nはスケーラ
で計測される計数率(cps)、τはX線検出器に一つの
X線光量子が入射した場合に発生する不感時間(sec)
である。
で計測される計数率(cps)、τはX線検出器に一つの
X線光量子が入射した場合に発生する不感時間(sec)
である。
(ハ)発明が解決しようとする課題 ところで、第2図に示す構成の蛍光X線分析装置にお
いて、X線検出器aには、分析元素のX線(たとえば
P)とともに、共存元素の高次線(たとえばCuの4次
線)も同時にX線検出器aに検出される場合があるの
で、X線検出器aは、実際には共存元素の高次線の影響
を含めた不感時間が存在する。一方、波高分析器cで
は、共存元素の高次線に基づく検出パルスを除いている
ので、次段のスケーラdでは波高分析器cを通った検出
パルスのみがカウントされる。したがって、スケーラd
で計測された計数率nを補正する場合、本来、高次線の
影響も含まれるので、不感時間の総量はn・τではな
く、それよりも大きい値となるはずである。ところが、
従来は、(1)式に基づいて計数率nを補正しているた
めに、共存元素の高次線が同時に検出される場合には、
補正された計数率の値が不正確になるという問題があっ
た。
いて、X線検出器aには、分析元素のX線(たとえば
P)とともに、共存元素の高次線(たとえばCuの4次
線)も同時にX線検出器aに検出される場合があるの
で、X線検出器aは、実際には共存元素の高次線の影響
を含めた不感時間が存在する。一方、波高分析器cで
は、共存元素の高次線に基づく検出パルスを除いている
ので、次段のスケーラdでは波高分析器cを通った検出
パルスのみがカウントされる。したがって、スケーラd
で計測された計数率nを補正する場合、本来、高次線の
影響も含まれるので、不感時間の総量はn・τではな
く、それよりも大きい値となるはずである。ところが、
従来は、(1)式に基づいて計数率nを補正しているた
めに、共存元素の高次線が同時に検出される場合には、
補正された計数率の値が不正確になるという問題があっ
た。
(ニ)課題を解決するための手段 本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであ
って、分析元素のX線とともに、共存元素の高次線も同
時に検出されるような場合においても、正確に補正され
た計数率が得られるようにして、定量分析等における分
析精度を高めることを目的とする。
って、分析元素のX線とともに、共存元素の高次線も同
時に検出されるような場合においても、正確に補正され
た計数率が得られるようにして、定量分析等における分
析精度を高めることを目的とする。
本発明は、上記の目的を達成するために、X線検出器
から出力される検出パルスの波高値が分析元素に応じて
予め設定された上限値以上のものを選別する上限値選別
回路と、前記検出パルスの波高値が分析元素に応じて予
め設定された下限値以上のものを選別する下限値選別回
路と、上限値選別回路の選別出力をカウントする上限カ
ウンタと、下限値選別回路の選別出力をカウントする下
限カウンタと、この両カウンタの各カウント値n1、n2の
差n12(=n1−n2)を算出する減算器と、下限カウンタ
のカウント値n1と減算器の減算値n12ならびに予め設定
されたX線検出器の不感時間τの各値から式、n0=n12/
(1−n1・τ)に基づいて真のカウント値n0を算出する
演算器とを備えた構成とした。
から出力される検出パルスの波高値が分析元素に応じて
予め設定された上限値以上のものを選別する上限値選別
回路と、前記検出パルスの波高値が分析元素に応じて予
め設定された下限値以上のものを選別する下限値選別回
路と、上限値選別回路の選別出力をカウントする上限カ
ウンタと、下限値選別回路の選別出力をカウントする下
限カウンタと、この両カウンタの各カウント値n1、n2の
差n12(=n1−n2)を算出する減算器と、下限カウンタ
のカウント値n1と減算器の減算値n12ならびに予め設定
されたX線検出器の不感時間τの各値から式、n0=n12/
(1−n1・τ)に基づいて真のカウント値n0を算出する
演算器とを備えた構成とした。
(ホ)作用 上記構成において、X線検出器から出力される検出パ
ルスは、上限値選別回路と下限値選別回路とにそれぞれ
入力される。上限値選別回路は、検出パルスの波高値が
分析元素に応じて予め設定された上限値以上のものを選
別する。また、下限値選別回路は、検出パルスの波高値
が分析元素に応じて予め設定された下限値以上のものを
選別する。そして、各選別回路で選別された検出パルス
は、上限カウンタと下限カウンタでそれぞれ個別にカウ
ントされる。次いで、両カウンタの各カウント値n1、n2
の差n12(=n1−n2)が減算器で算出される。さらに、
引き続いて、演算器は、下限カウンタのカウント値n1と
減算器の減算値n12ならびに予め設定された不感時間τ
の各値から式、n0=n12/(1−n1・τ)に基づいてカウ
ント値n0を算出する。上式において、分子のn12は波高
分析された後のカウント値であり、分母のn1は分析元素
とともに、共存元素の高次線の影響を含めたカウント値
であるから、不感時間に応じた補正がより正確に行える
ことになる。
ルスは、上限値選別回路と下限値選別回路とにそれぞれ
入力される。上限値選別回路は、検出パルスの波高値が
分析元素に応じて予め設定された上限値以上のものを選
別する。また、下限値選別回路は、検出パルスの波高値
が分析元素に応じて予め設定された下限値以上のものを
選別する。そして、各選別回路で選別された検出パルス
は、上限カウンタと下限カウンタでそれぞれ個別にカウ
ントされる。次いで、両カウンタの各カウント値n1、n2
の差n12(=n1−n2)が減算器で算出される。さらに、
引き続いて、演算器は、下限カウンタのカウント値n1と
減算器の減算値n12ならびに予め設定された不感時間τ
の各値から式、n0=n12/(1−n1・τ)に基づいてカウ
ント値n0を算出する。上式において、分子のn12は波高
分析された後のカウント値であり、分母のn1は分析元素
とともに、共存元素の高次線の影響を含めたカウント値
であるから、不感時間に応じた補正がより正確に行える
ことになる。
(ヘ)実施例 第1図は本発明の実施例に係る蛍光X線分析装置の構
成図である。同図において、1は蛍光X線分析装置の全
体を示し、2は比例計数管等のX線検出器、4はX線検
出器2からの検出パルスを増幅する増幅器である。
成図である。同図において、1は蛍光X線分析装置の全
体を示し、2は比例計数管等のX線検出器、4はX線検
出器2からの検出パルスを増幅する増幅器である。
6aは検出パルスの波高値が分析元素に応じて予め設定
された上限値V2以上のもの(第3図参照)を選別する上
限値選別回路(本例ではコンパレータ)、6bは検出パル
スの波高値が分析元素に応じて予め設定された下限値V1
以上のもの(第3図参照)を選別する下限値選別回路
(本例ではコンパレータ)、8aは上限値選別回路6aの選
別出力をカウントする上限カウンタ、8bは下限値選別回
路6bの選別出力をカウントする下限カウンタである。ま
た、10は両カウンタ8a、8bの各カウント値n1、n2の差n
12(=n1−n2)を算出する減算器、12は下限カウンタ8b
のカウント値n1と減算器10の減算値n12ならびに予め設
定器14で設定されるX線検出器2の不感時間τの各値か
ら、式 n0=n12/(1−n1・τ) (2) に基づいて真のカウント値n0を算出する演算器である。
16は上限、下限カウンタ8a、8bのカウント動作時間tを
設定するとともに、減算器10、演算器12の動作タイミン
グを設定するためのタイマーである。
された上限値V2以上のもの(第3図参照)を選別する上
限値選別回路(本例ではコンパレータ)、6bは検出パル
スの波高値が分析元素に応じて予め設定された下限値V1
以上のもの(第3図参照)を選別する下限値選別回路
(本例ではコンパレータ)、8aは上限値選別回路6aの選
別出力をカウントする上限カウンタ、8bは下限値選別回
路6bの選別出力をカウントする下限カウンタである。ま
た、10は両カウンタ8a、8bの各カウント値n1、n2の差n
12(=n1−n2)を算出する減算器、12は下限カウンタ8b
のカウント値n1と減算器10の減算値n12ならびに予め設
定器14で設定されるX線検出器2の不感時間τの各値か
ら、式 n0=n12/(1−n1・τ) (2) に基づいて真のカウント値n0を算出する演算器である。
16は上限、下限カウンタ8a、8bのカウント動作時間tを
設定するとともに、減算器10、演算器12の動作タイミン
グを設定するためのタイマーである。
次に、上記構成の蛍光X線分析装置1において、蛍光
X線の強度を測定する場合の動作について説明する。な
お、ここでは試料中の分析対象元素をPとし、その妨害
元素となるCuが共存するものとする。
X線の強度を測定する場合の動作について説明する。な
お、ここでは試料中の分析対象元素をPとし、その妨害
元素となるCuが共存するものとする。
図外の試料から励起されて放射される蛍光X線は分光
結晶(図示省略)で分光され、分光された特定波長のX
線がX線検出器2で検出される。この場合、分析試料中
にP以外にCuも共存しているので、PKα線とともに、Cu
Kαの高次線(4次線)も同時にX線検出器2で検出さ
れる。そして、X線検出器2から出力される検出パルス
は、増幅器4を介して上限値選別回路6aと下限値選別回
路6bとにそれぞれ入力される。上限値選別回路6aは、検
出パルスの波高値(電圧レベル)が分析元素に応じて予
め設定された上限値V2以上のものを選別する。また、下
限値選別回路6bは、検出パルスの波高値が分析元素に応
じて予め設定された下限値V1以上のものを選別する。そ
して、各選別回路6a、6bで選別された検出パルスは、タ
イマー16からのカウント許可信号の出力期間中、上限カ
ウンタ8aと下限カウンタ8bでそれぞれ個別にカウントさ
れる。したがって、本例においては、上限カウンタ8aで
KuKαの高次線に基づく検出パルスのみがカウントされ
る一方、下限カウンタ8bでは、PKαのみならずCuKαの
高次線に基づく検出パルスがいずれもカウントされるこ
とになる。
結晶(図示省略)で分光され、分光された特定波長のX
線がX線検出器2で検出される。この場合、分析試料中
にP以外にCuも共存しているので、PKα線とともに、Cu
Kαの高次線(4次線)も同時にX線検出器2で検出さ
れる。そして、X線検出器2から出力される検出パルス
は、増幅器4を介して上限値選別回路6aと下限値選別回
路6bとにそれぞれ入力される。上限値選別回路6aは、検
出パルスの波高値(電圧レベル)が分析元素に応じて予
め設定された上限値V2以上のものを選別する。また、下
限値選別回路6bは、検出パルスの波高値が分析元素に応
じて予め設定された下限値V1以上のものを選別する。そ
して、各選別回路6a、6bで選別された検出パルスは、タ
イマー16からのカウント許可信号の出力期間中、上限カ
ウンタ8aと下限カウンタ8bでそれぞれ個別にカウントさ
れる。したがって、本例においては、上限カウンタ8aで
KuKαの高次線に基づく検出パルスのみがカウントされ
る一方、下限カウンタ8bでは、PKαのみならずCuKαの
高次線に基づく検出パルスがいずれもカウントされるこ
とになる。
タイマー16が単位時間の経過後にタイムアップする
と、このタイミングに応じて上限、下限カウンタ8a、8b
の各カウント値n2、n1が減算器10に転送される。同時に
下限カウンタ8bのカウント値n1が演算器12にも転送され
る。減算器10は、両カウンタ8a、8bの各カウント値n1、
n2の差n12(=n1−n2)を算出する。これにより、分析
対象となる元素のX線(PKα)に基づく検出パルスだけ
が抽出されることになる。
と、このタイミングに応じて上限、下限カウンタ8a、8b
の各カウント値n2、n1が減算器10に転送される。同時に
下限カウンタ8bのカウント値n1が演算器12にも転送され
る。減算器10は、両カウンタ8a、8bの各カウント値n1、
n2の差n12(=n1−n2)を算出する。これにより、分析
対象となる元素のX線(PKα)に基づく検出パルスだけ
が抽出されることになる。
引き続いて、演算器12は、下限カウンタのカウント値
n1と減算器の減算値n12ならびに予め設定器14で設定さ
れた不感時間τの各値から、上記の(2)式に基づいて
真のカウント値n0を算出する。(2)式において、分子
のn12は波高分析された後のPKα線に基づくカウント値
であり、分母のn1は分析元素Pとともに、共存元素Cuの
高次線の影響を含めたカウント値であるから、不感時間
τに応じたカウント値の補正がより正確に行えることに
なる。なお、補正された後のカウント値n0をタイマー16
で設定される単位時間tで除算すれば、計数率(cps)
が求まる。
n1と減算器の減算値n12ならびに予め設定器14で設定さ
れた不感時間τの各値から、上記の(2)式に基づいて
真のカウント値n0を算出する。(2)式において、分子
のn12は波高分析された後のPKα線に基づくカウント値
であり、分母のn1は分析元素Pとともに、共存元素Cuの
高次線の影響を含めたカウント値であるから、不感時間
τに応じたカウント値の補正がより正確に行えることに
なる。なお、補正された後のカウント値n0をタイマー16
で設定される単位時間tで除算すれば、計数率(cps)
が求まる。
(ト)効果 本発明によれば、常に共存元素の高次線の影響を考慮
してカウント値の補正が行われるので、目的とする分析
元素のX線とともに、共存元素の高次線も同時にX線検
出器で検出されるような場合においても、正確に補正さ
れた計数率が得られるようになる。そのため、従来より
も一層、定量分析等における分析精度を高めることがで
きるようになる等の優れた効果が発揮される。
してカウント値の補正が行われるので、目的とする分析
元素のX線とともに、共存元素の高次線も同時にX線検
出器で検出されるような場合においても、正確に補正さ
れた計数率が得られるようになる。そのため、従来より
も一層、定量分析等における分析精度を高めることがで
きるようになる等の優れた効果が発揮される。
第1図は本発明の実施例に係る蛍光X線分析装置の構成
図である。また、第2図は従来の蛍光X線分析装置の構
成図、第3図は波高分布曲線を示す特性図、第4図はX
線検出器で検出される実際のX線強度と計数率との関係
を示す特性図である。 1……蛍光X線分析装置、2……X線検出器、6a……上
限値選別回路、6b……下限値選別回路、8a……上限カウ
ンタ、8b……下限カウンタ、10……減算器、12……演算
器。
図である。また、第2図は従来の蛍光X線分析装置の構
成図、第3図は波高分布曲線を示す特性図、第4図はX
線検出器で検出される実際のX線強度と計数率との関係
を示す特性図である。 1……蛍光X線分析装置、2……X線検出器、6a……上
限値選別回路、6b……下限値選別回路、8a……上限カウ
ンタ、8b……下限カウンタ、10……減算器、12……演算
器。
Claims (1)
- 【請求項1】X線検出器から出力される検出パルスの波
高値が分析元素に応じて予め設定された上限値以上のも
のを選別する上限値選別回路と、 前記検出パルスの波高値が分析元素に応じて予め設定さ
れた下限値以上のものを選別する下限値選別回路と、 前記上限値選別回路の選別出力をカウントする上限カウ
ンタと、 前記下限値選別回路の選別出力をカウントする下限カウ
ンタと、 前記両カウンタの各カウント値n1、n2の差n12(=n1−n
2)を算出する減算器と、 前記下限カウンタのカウント値n1と減算器の減算値n12
ならびに予め設定されたX線検出器の不感時間τの各値
から、式 n0=n12/(1−n1・τ) に基づいて真のカウント値n0を算出する演算器と、 を備えることを特徴とする蛍光X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1048156A JP2564930B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 蛍光x線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1048156A JP2564930B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 蛍光x線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02226058A JPH02226058A (ja) | 1990-09-07 |
JP2564930B2 true JP2564930B2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=12795510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1048156A Expired - Fee Related JP2564930B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 蛍光x線分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2564930B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7742364B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-06-22 | Seiko Epson Corporation | Timepiece display apparatus, movement, and timepiece |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5076012B1 (ja) * | 2011-05-20 | 2012-11-21 | 株式会社リガク | 波長分散型蛍光x線分析装置 |
JP7178725B2 (ja) * | 2020-11-30 | 2022-11-28 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP1048156A patent/JP2564930B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7742364B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-06-22 | Seiko Epson Corporation | Timepiece display apparatus, movement, and timepiece |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02226058A (ja) | 1990-09-07 |
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