JPH1048161A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
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- JPH1048161A JPH1048161A JP20229596A JP20229596A JPH1048161A JP H1048161 A JPH1048161 A JP H1048161A JP 20229596 A JP20229596 A JP 20229596A JP 20229596 A JP20229596 A JP 20229596A JP H1048161 A JPH1048161 A JP H1048161A
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- rays
- analysis
- ray
- shutter
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な操作でかつ迅速に標準試料による装
置校正をなしうるＸ線分析装置を提供する。 【解決手段】 装置校正に際して、演算制御手段１０
は、不図示の駆動手段を介してシャッター６を移動さ
せ、Ｘ線透過窓２ａを塞いだ状態でＸ線が照射されたシ
ャッター６ａから生じた蛍光Ｘ線をエネルギー分散型検
出器５を介して検出する。そして、ＭＣＡ９から得られ
た各チャンネルと標準試料６ａの既知の元素成分に対応
する特性Ｘ線のエネルギーとを対応させることで、ＭＣ
Ａ９の各チャンネルに対するエネルギー変換式を求め
る。元素分析に際しては、シャッター６を図の状態に移
動させ、Ｘ線が照射された試料３から生じた蛍光Ｘ線を
エネルギー分散型検出器５、ＭＣＡ９を介して検出し、
校正時に求めた変換式に基づいて、元素の定性・定量分
析を行う。
置校正をなしうるＸ線分析装置を提供する。 【解決手段】 装置校正に際して、演算制御手段１０
は、不図示の駆動手段を介してシャッター６を移動さ
せ、Ｘ線透過窓２ａを塞いだ状態でＸ線が照射されたシ
ャッター６ａから生じた蛍光Ｘ線をエネルギー分散型検
出器５を介して検出する。そして、ＭＣＡ９から得られ
た各チャンネルと標準試料６ａの既知の元素成分に対応
する特性Ｘ線のエネルギーとを対応させることで、ＭＣ
Ａ９の各チャンネルに対するエネルギー変換式を求め
る。元素分析に際しては、シャッター６を図の状態に移
動させ、Ｘ線が照射された試料３から生じた蛍光Ｘ線を
エネルギー分散型検出器５、ＭＣＡ９を介して検出し、
校正時に求めた変換式に基づいて、元素の定性・定量分
析を行う。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、試料表面から発生
する特性Ｘ線を検出することで、試料の元素分析を行う
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置や波長分散型蛍光Ｘ
線分析装置等のＸ線分析装置に関する。
する特性Ｘ線を検出することで、試料の元素分析を行う
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置や波長分散型蛍光Ｘ
線分析装置等のＸ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来技術】Ｘ線が照射された試料から得られるＸ線を
検出し、解析することで試料の元素分析を行うＸ線検出
装置として、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置や波長
分散型蛍光Ｘ線分析装置等が広く用いられている。
検出し、解析することで試料の元素分析を行うＸ線検出
装置として、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置や波長
分散型蛍光Ｘ線分析装置等が広く用いられている。
【０００３】かかるＸ線分析装置は、いずれも試料にＸ
線を照射することで、試料表面から得られる蛍光Ｘ線を
検出し、検出された蛍光Ｘ線に含まれる特性Ｘ線を求め
ることで、試料に含まれる元素の定性及び定量分析を行
うものである。
線を照射することで、試料表面から得られる蛍光Ｘ線を
検出し、検出された蛍光Ｘ線に含まれる特性Ｘ線を求め
ることで、試料に含まれる元素の定性及び定量分析を行
うものである。
【０００４】これらのＸ線分析装置では、Ｘ線検出器の
劣化や信号増幅器利得の経時変化等が原因で、長期間使
用する際に分析結果に微妙な誤差が生じることから、定
期的に、標準試料を用いた装置校正が行われている。
劣化や信号増幅器利得の経時変化等が原因で、長期間使
用する際に分析結果に微妙な誤差が生じることから、定
期的に、標準試料を用いた装置校正が行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
Ｘ線分析装置では、装置校正を行う場合、分析用試料を
標準試料に交換し、校正動作を行った後に、再び、分析
用試料に戻すといった動作を手作業で行わなければなら
ず、非常に煩雑な操作が必要となる。
Ｘ線分析装置では、装置校正を行う場合、分析用試料を
標準試料に交換し、校正動作を行った後に、再び、分析
用試料に戻すといった動作を手作業で行わなければなら
ず、非常に煩雑な操作が必要となる。
【０００６】特に、蛍光Ｘ線分析装置では、分析精度向
上のため、真空状態に保持された試料室に分析用試料を
配設して分析を行う場合が多いが、かかる場合、校正用
標準試料の交換毎に大気開放及び真空引きの動作を行わ
ねばならないため、一回の装置校正に長期間を要すると
いう問題が生じる。
上のため、真空状態に保持された試料室に分析用試料を
配設して分析を行う場合が多いが、かかる場合、校正用
標準試料の交換毎に大気開放及び真空引きの動作を行わ
ねばならないため、一回の装置校正に長期間を要すると
いう問題が生じる。
【０００７】そこで、本発明はこれらの問題点を解消す
るために創案されたものであって、より簡単な操作でか
つ迅速に標準試料による装置校正をなしうるＸ線分析装
置の提供を目的とする。
るために創案されたものであって、より簡単な操作でか
つ迅速に標準試料による装置校正をなしうるＸ線分析装
置の提供を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ線が照射さ
れた分析用試料から得られるＸ線を検出し、解析するこ
とで前記分析用試料の元素分析を行うＸ線分析装置であ
って、校正用の標準試料が配設されると共に、前記標準
試料にＸ線が照射される位置で前記分析用試料に照射さ
れるＸ線を遮蔽するシャッターと、前記分析用試料に照
射されるＸ線を遮蔽した状態で、前記シャッターに配設
された標準試料から得られたＸ線の検出データを用いて
校正動作を行う演算手段と、を備えたことを特徴とす
る。
れた分析用試料から得られるＸ線を検出し、解析するこ
とで前記分析用試料の元素分析を行うＸ線分析装置であ
って、校正用の標準試料が配設されると共に、前記標準
試料にＸ線が照射される位置で前記分析用試料に照射さ
れるＸ線を遮蔽するシャッターと、前記分析用試料に照
射されるＸ線を遮蔽した状態で、前記シャッターに配設
された標準試料から得られたＸ線の検出データを用いて
校正動作を行う演算手段と、を備えたことを特徴とす
る。
【０００９】前記シャッターには、複数元素を含む標準
試料、或いは、それぞれ単一元素からなる複数の標準試
料を配設したことを特徴とする。
試料、或いは、それぞれ単一元素からなる複数の標準試
料を配設したことを特徴とする。
【００１０】さらに、本発明のＸ線分析装置は、前記演
算手段に換えて、校正時に、前記分析用試料に照射され
るＸ線を遮蔽するよう前記シャッターを移動させると共
に、前記シャッターに配設された標準試料から得られた
Ｘ線の検出データを用いて校正動作を行う演算制御手段
を用いたことを特徴とする。
算手段に換えて、校正時に、前記分析用試料に照射され
るＸ線を遮蔽するよう前記シャッターを移動させると共
に、前記シャッターに配設された標準試料から得られた
Ｘ線の検出データを用いて校正動作を行う演算制御手段
を用いたことを特徴とする。
【００１１】本発明は、前記分析用試料の交換時等の非
分析時に前記シャッターを閉じ、前記標準試料にＸ線を
照射し、前記標準試料から得られたＸ線の検出データを
用いて標準試料に基づく校正動作を行う前記Ｘ線分析装
置の校正方法としても構成できる。
分析時に前記シャッターを閉じ、前記標準試料にＸ線を
照射し、前記標準試料から得られたＸ線の検出データを
用いて標準試料に基づく校正動作を行う前記Ｘ線分析装
置の校正方法としても構成できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１〜
図７に基づいて説明する。
図７に基づいて説明する。
【００１３】図１は、本発明をエネルギー分散型Ｘ線検
出装置に適用した場合の一実施例を示している。同図に
おいて、真空状態に保持された試料室１が試料台２に配
設されており、試料室１内には分析対象となる分析用試
料３が載置されている。
出装置に適用した場合の一実施例を示している。同図に
おいて、真空状態に保持された試料室１が試料台２に配
設されており、試料室１内には分析対象となる分析用試
料３が載置されている。
【００１４】試料台２にはＸ線を透過するＸ線透過窓２
ａが設けられており、Ｘ線管４から発生したＸ線はＸ線
透過窓２ａを介して分析用試料３に照射され、これによ
り分析用試料３から発生した蛍光Ｘ線は、Ｘ線透過窓２
ａを介してエネルギー分散型Ｘ線検出器５で検出され
る。
ａが設けられており、Ｘ線管４から発生したＸ線はＸ線
透過窓２ａを介して分析用試料３に照射され、これによ
り分析用試料３から発生した蛍光Ｘ線は、Ｘ線透過窓２
ａを介してエネルギー分散型Ｘ線検出器５で検出され
る。
【００１５】また、試料台２には、演算制御装置１０の
指令の基で不図示の駆動手段により移動可能に構成され
Ｘ線を透過しない材料で構成されたシャッター６が配設
されており、さらに、図２ａに示されるように、シャッ
ター６の下部には、複数元素から構成される標準試料６
ａが配設されている。
指令の基で不図示の駆動手段により移動可能に構成され
Ｘ線を透過しない材料で構成されたシャッター６が配設
されており、さらに、図２ａに示されるように、シャッ
ター６の下部には、複数元素から構成される標準試料６
ａが配設されている。
【００１６】そして、校正時には、図２ｂに示されるよ
うに、シャッター６が図面左方へ移動されることで、Ｘ
線透過窓２ａはシャッター６に完全にふさがれ、この
際、Ｘ線管４から発生したＸ線は標準試料６ａに照射さ
れ、標準試料６ａから生じた蛍光Ｘ線がエネルギー分散
型Ｘ線検出器５で検出される。
うに、シャッター６が図面左方へ移動されることで、Ｘ
線透過窓２ａはシャッター６に完全にふさがれ、この
際、Ｘ線管４から発生したＸ線は標準試料６ａに照射さ
れ、標準試料６ａから生じた蛍光Ｘ線がエネルギー分散
型Ｘ線検出器５で検出される。
【００１７】なお、シャッター６に配設する標準試料
は、図２に示したように一つとは限らず、例えば、図３
に示されるように、それぞれ異なる単一元素からなる複
数の標準試料６ａ〜６ｃを配設するよう構成してもよ
い。
は、図２に示したように一つとは限らず、例えば、図３
に示されるように、それぞれ異なる単一元素からなる複
数の標準試料６ａ〜６ｃを配設するよう構成してもよ
い。
【００１８】エネルギー分散型Ｘ線検出器５で検出され
た蛍光Ｘ線は、そのエネルギーに応じた高さを持つ電気
パルスとして増幅器７で増幅された後、ＡＤ変換器８で
ディジタル信号に変換される。
た蛍光Ｘ線は、そのエネルギーに応じた高さを持つ電気
パルスとして増幅器７で増幅された後、ＡＤ変換器８で
ディジタル信号に変換される。
【００１９】ＭＣＡ（Multi Channel Analyzer）９で
は、電気パルス列の高さ（波高）の分布スペクトル、す
なわち、いくらの波高（エネルギーに対応）を有するパ
ルスがいくつ計数されたかが、各波高を各チャンネルに
対応させ、各チャンネル毎に計数されたパルス数を出力
することで得られる。これにより、検出された蛍光Ｘ線
のエネルギー解析が可能となる。
は、電気パルス列の高さ（波高）の分布スペクトル、す
なわち、いくらの波高（エネルギーに対応）を有するパ
ルスがいくつ計数されたかが、各波高を各チャンネルに
対応させ、各チャンネル毎に計数されたパルス数を出力
することで得られる。これにより、検出された蛍光Ｘ線
のエネルギー解析が可能となる。
【００２０】具体的には、ＭＣＡ９の各チャンネルを横
軸、その出力を縦軸とした場合、分析用試料３に含まれ
る元素に応じて、例えば、図４に示されるような波高分
布が得られ、それぞれピーク１〜ピーク４の頂点を出力
するチャンネルから対応する特性Ｘ線を特定し、試料中
の含有元素を知ることができる（定性分析）。また、特
性Ｘ線の強度（基本的にピーク頂点を出力するチャンネ
ル出力で決まるが、通常は前後数チャンネルの出力を含
めた積分値を用いる）から、ＦＰ法により各元素の濃度
を求めることができる（定量分析）。
軸、その出力を縦軸とした場合、分析用試料３に含まれ
る元素に応じて、例えば、図４に示されるような波高分
布が得られ、それぞれピーク１〜ピーク４の頂点を出力
するチャンネルから対応する特性Ｘ線を特定し、試料中
の含有元素を知ることができる（定性分析）。また、特
性Ｘ線の強度（基本的にピーク頂点を出力するチャンネ
ル出力で決まるが、通常は前後数チャンネルの出力を含
めた積分値を用いる）から、ＦＰ法により各元素の濃度
を求めることができる（定量分析）。
【００２１】演算制御装置１０は、ＭＣＡ９から出力さ
れる各チャンネル毎の出力結果から特性Ｘ線を特定し、
分析用試料３の定性・定量分析を行うと共に、校正時に
おいては、不図示の駆動手段を介してシャッター６を移
動させ、Ｘ線透過窓２ａをふさぎ、標準試料６ａから発
生する蛍光Ｘ線の検出データから装置校正を行う。
れる各チャンネル毎の出力結果から特性Ｘ線を特定し、
分析用試料３の定性・定量分析を行うと共に、校正時に
おいては、不図示の駆動手段を介してシャッター６を移
動させ、Ｘ線透過窓２ａをふさぎ、標準試料６ａから発
生する蛍光Ｘ線の検出データから装置校正を行う。
【００２２】次に、本発明の一実施例である上述した構
成のエネルギー分散型Ｘ線検出装置の構成動作を演算制
御装置１０の動作を示す図５のフローチャートに基づい
て説明する。
成のエネルギー分散型Ｘ線検出装置の構成動作を演算制
御装置１０の動作を示す図５のフローチャートに基づい
て説明する。
【００２３】まず、図１のシャッター６を閉じるよう不
図示の駆動手段に指示を与え（Ｓ１）、シャッター６が
閉じた状態で、Ｘ線管４からのＸ線照射により標準試料
６ａから生じた蛍光Ｘ線を計測する（Ｓ２）。
図示の駆動手段に指示を与え（Ｓ１）、シャッター６が
閉じた状態で、Ｘ線管４からのＸ線照射により標準試料
６ａから生じた蛍光Ｘ線を計測する（Ｓ２）。
【００２４】そして、ＭＣＡ９の各チャンネルから出力
される標準試料６ａから得られた複数データに基づいて
ＭＣＡ９のエネルギー校正を行う（Ｓ３）。
される標準試料６ａから得られた複数データに基づいて
ＭＣＡ９のエネルギー校正を行う（Ｓ３）。
【００２５】ここで、ＭＣＡ９の各チャンネルとそれに
対応する特性Ｘ線のエネルギーとは、一意的に関係づけ
られるのであるが、長期間使用するとエネルギー分散型
Ｘ線検出器５〜ＭＣＡ９等の経時的な特性変化により当
初の対応関係が変化することから、ここでのＭＣＡ９の
エネルギー校正は、両者の対応付けを所定期間毎に修正
するためになされるものである。
対応する特性Ｘ線のエネルギーとは、一意的に関係づけ
られるのであるが、長期間使用するとエネルギー分散型
Ｘ線検出器５〜ＭＣＡ９等の経時的な特性変化により当
初の対応関係が変化することから、ここでのＭＣＡ９の
エネルギー校正は、両者の対応付けを所定期間毎に修正
するためになされるものである。
【００２６】例えば、Ａｌ（アルミニウム）とＣｕ
（銅）を含む標準試料を用いた場合、当該標準試料にＸ
線を照射し、得られた蛍光Ｘ線に基づき、ＭＣＡ９より
得られた二つのピーク出力に対応するチャンネルが
ＸAl、ＸCuであったとすると、ＡｌとＣｕの特性Ｘ線の
エネルギーは既知であることから、これらをＥAl、ＥCu
として、エネルギー校正曲線の一般式 Ｅ＝Ａ×（ＣＨ）＋Ｂ Ｅ：特性Ｘ線のエネルギー、（ＣＨ）：ＭＣＡ９のチャ
ンネル番号 Ａ，Ｂ：変換式の係数 に当てはめて係数Ａ，Ｂを求めると、 Ａ＝（ＥAl−ＥCu）／（ＸAl−ＸCu） Ｂ＝（ＥCu・ＸAl−ＥAl・ＸCu）／（ＸCu−ＸAl） となる。
（銅）を含む標準試料を用いた場合、当該標準試料にＸ
線を照射し、得られた蛍光Ｘ線に基づき、ＭＣＡ９より
得られた二つのピーク出力に対応するチャンネルが
ＸAl、ＸCuであったとすると、ＡｌとＣｕの特性Ｘ線の
エネルギーは既知であることから、これらをＥAl、ＥCu
として、エネルギー校正曲線の一般式 Ｅ＝Ａ×（ＣＨ）＋Ｂ Ｅ：特性Ｘ線のエネルギー、（ＣＨ）：ＭＣＡ９のチャ
ンネル番号 Ａ，Ｂ：変換式の係数 に当てはめて係数Ａ，Ｂを求めると、 Ａ＝（ＥAl−ＥCu）／（ＸAl−ＸCu） Ｂ＝（ＥCu・ＸAl−ＥAl・ＸCu）／（ＸCu−ＸAl） となる。
【００２７】これにより、変換式が完成し、ＭＣＡ９に
対するエネルギー校正動作が終了する。
対するエネルギー校正動作が終了する。
【００２８】次に、ＭＣＡ９の各チャンネルから出力さ
れる標準試料６ａから得られた複数データに基づいて、
エネルギー分散型Ｘ線検出器５の感度校正を行う（Ｓ
４）。ここで、エネルギー分散型Ｘ線検出器５の検出感
度は、理論的に図６に示されるような特性曲線で表され
るが、かかる感度が検出器の劣化などにより経時変化す
ることから、エネルギー分散型Ｘ線検出器５の感度校正
が必要とされるのである。例えば、エネルギー分散型Ｘ
線検出器５が図６に示されるエネルギー感度を有する
と、標準試料として、領域Ｒ１〜Ｒ４それぞれの範囲に
属する特性Ｘ線を持つ複数元素が含まれたものを用い、
図６の領域Ｒ１〜Ｒ４毎にそれぞれの感度曲線を修正或
いは特定することで、エネルギー分散型Ｘ線検出器５の
感度校正がなされる。
れる標準試料６ａから得られた複数データに基づいて、
エネルギー分散型Ｘ線検出器５の感度校正を行う（Ｓ
４）。ここで、エネルギー分散型Ｘ線検出器５の検出感
度は、理論的に図６に示されるような特性曲線で表され
るが、かかる感度が検出器の劣化などにより経時変化す
ることから、エネルギー分散型Ｘ線検出器５の感度校正
が必要とされるのである。例えば、エネルギー分散型Ｘ
線検出器５が図６に示されるエネルギー感度を有する
と、標準試料として、領域Ｒ１〜Ｒ４それぞれの範囲に
属する特性Ｘ線を持つ複数元素が含まれたものを用い、
図６の領域Ｒ１〜Ｒ４毎にそれぞれの感度曲線を修正或
いは特定することで、エネルギー分散型Ｘ線検出器５の
感度校正がなされる。
【００２９】なお、領域Ｒ３に属する特性Ｘ線を持つ元
素、例えば、上述したＣｕについて得られたＭＣＡ９の
ピーク出力をＹCu、及び前回校正時に得られた同出力を
ＹCu’を用いることで、図６に示される理論感度特性
（これをＹt とする）に対して Ｙt ’＝（ＹCu／ＹCu’）・Ｙt なる演算を施して簡易的に修正することも可能である。
素、例えば、上述したＣｕについて得られたＭＣＡ９の
ピーク出力をＹCu、及び前回校正時に得られた同出力を
ＹCu’を用いることで、図６に示される理論感度特性
（これをＹt とする）に対して Ｙt ’＝（ＹCu／ＹCu’）・Ｙt なる演算を施して簡易的に修正することも可能である。
【００３０】以上の校正動作を、図１において、分析用
試料３の取り換え時、或いは装置の立ち上げ時など、非
分析時に行うことで、装置校正を分析時間に影響するこ
となく、しかも簡単な動作で効率よく行うことが可能と
なる。
試料３の取り換え時、或いは装置の立ち上げ時など、非
分析時に行うことで、装置校正を分析時間に影響するこ
となく、しかも簡単な動作で効率よく行うことが可能と
なる。
【００３１】また、装置校正動作は、分析用窓２ａをシ
ャッター６により閉じた状態で行うため、校正時におけ
るＸ線の外部への漏洩を阻止することが可能となる。
ャッター６により閉じた状態で行うため、校正時におけ
るＸ線の外部への漏洩を阻止することが可能となる。
【００３２】なお、分析用試料３の分析動作は以下の通
りである。まず、シャッター６を開いた状態でＸ線を分
析用試料３に照射することで得られた蛍光Ｘ線の計測を
行う。
りである。まず、シャッター６を開いた状態でＸ線を分
析用試料３に照射することで得られた蛍光Ｘ線の計測を
行う。
【００３３】そして、ＭＣＡ９の各チャンネルとエネル
ギーの対応付けを上述したエネルギー変換式に基づいて
行った後、検出器の感度補正を行う。
ギーの対応付けを上述したエネルギー変換式に基づいて
行った後、検出器の感度補正を行う。
【００３４】検出器の感度補正は、例えば、図６に示さ
れる領域Ｒ３の検出感度の最高値を１として、他の領域
の検出感度を正規化し、エネルギーの対応付けがなされ
たＭＣＡ９のチャンネル出力に対して、正規化された対
応する検出感度の逆数を積算すれことでなされる。
れる領域Ｒ３の検出感度の最高値を１として、他の領域
の検出感度を正規化し、エネルギーの対応付けがなされ
たＭＣＡ９のチャンネル出力に対して、正規化された対
応する検出感度の逆数を積算すれことでなされる。
【００３５】検出器の感度補正の終了後、エネルギーと
特性Ｘ線との対応付けを行うことにより、分析用試料３
の定性分析が、また、感度補正がされたピーク強度から
分析用試料３の定量分析が行われる。
特性Ｘ線との対応付けを行うことにより、分析用試料３
の定性分析が、また、感度補正がされたピーク強度から
分析用試料３の定量分析が行われる。
【００３６】図７は、本発明を波長分散型蛍光Ｘ線検出
装置に適用した場合の一実施例を示しており、図１で示
したエネルギー分散型蛍光Ｘ線検出装置と同一の構成要
素については、同じ符号が付されている。
装置に適用した場合の一実施例を示しており、図１で示
したエネルギー分散型蛍光Ｘ線検出装置と同一の構成要
素については、同じ符号が付されている。
【００３７】図７において、図１の構成と異なるのは、
ソーラスリット１２を介して分析用試料３に照射された
Ｘ線から生じた蛍光Ｘ線が分光結晶１５で分光され、特
定波長のＸ線のみがＸ線検出器１８で検出される点であ
る。すなわち、Ｘ線検出器１８には特定波長のＸ線のみ
が入射するため、Ｘ線検出器１８の出力の有無は当該特
定波長に対応する元素の存在の有無を示し、Ｘ線検出器
１８の出力値からＦＰ法を用いて、当該元素の濃度を求
めることができる。
ソーラスリット１２を介して分析用試料３に照射された
Ｘ線から生じた蛍光Ｘ線が分光結晶１５で分光され、特
定波長のＸ線のみがＸ線検出器１８で検出される点であ
る。すなわち、Ｘ線検出器１８には特定波長のＸ線のみ
が入射するため、Ｘ線検出器１８の出力の有無は当該特
定波長に対応する元素の存在の有無を示し、Ｘ線検出器
１８の出力値からＦＰ法を用いて、当該元素の濃度を求
めることができる。
【００３８】なお、複数元素の分析を行う場合は、分光
結晶１５をその中心を軸として回転させ、或いは、Ｘ線
検出器１８に隣接して多数の検出器が配設すればよい。
結晶１５をその中心を軸として回転させ、或いは、Ｘ線
検出器１８に隣接して多数の検出器が配設すればよい。
【００３９】Ｘ線検出器１８で検出された蛍光Ｘ線の検
知信号は、増幅器７で増幅され、計数回路１１でカウン
トされることにより、当該蛍光Ｘ線の強度に比例するカ
ウント値として演算制御装置１０’に出力される。演算
制御装置１０’はその出力結果より特定元素の濃度を算
出すると共に、シャッター６の開閉制御及びそれに基づ
く装置校正を行う。
知信号は、増幅器７で増幅され、計数回路１１でカウン
トされることにより、当該蛍光Ｘ線の強度に比例するカ
ウント値として演算制御装置１０’に出力される。演算
制御装置１０’はその出力結果より特定元素の濃度を算
出すると共に、シャッター６の開閉制御及びそれに基づ
く装置校正を行う。
【００４０】かかる波長分散型蛍光Ｘ線検出装置におい
ても、エネルギー分散型蛍光Ｘ線検出装置と同様、検出
器の感度校正等を、分析用試料３の取り換え時、或いは
装置の立ち上げ時など、試料の非分析時に行うことで、
装置校正を分析時間に影響することなく、しかも簡単な
動作で行うことが可能となる。
ても、エネルギー分散型蛍光Ｘ線検出装置と同様、検出
器の感度校正等を、分析用試料３の取り換え時、或いは
装置の立ち上げ時など、試料の非分析時に行うことで、
装置校正を分析時間に影響することなく、しかも簡単な
動作で行うことが可能となる。
【００４１】また、装置校正動作は、分析用窓２ａをシ
ャッター６により閉じた状態で行うため、校正時におけ
るＸ線の外部への漏洩を阻止することが可能となる。
ャッター６により閉じた状態で行うため、校正時におけ
るＸ線の外部への漏洩を阻止することが可能となる。
【００４２】
【発明の効果】本発明によれば、シャッターに直接標準
試料を配設する構成を採用したため、標準試料を装置内
部に常備することが可能となり、標準試料交換の手間が
省かれ、標準試料による装置校正が迅速且つ簡単とな
る。
試料を配設する構成を採用したため、標準試料を装置内
部に常備することが可能となり、標準試料交換の手間が
省かれ、標準試料による装置校正が迅速且つ簡単とな
る。
【００４３】特に、試料を真空中に配設して分析を行う
場合、大気開放・真空引きのプロセスが不要になるの
で、作業効率が大幅に改善される。
場合、大気開放・真空引きのプロセスが不要になるの
で、作業効率が大幅に改善される。
【００４４】また、装置校正を、分析用試料の交換時な
ど非分析時において、シャッターを閉じた状態で行うこ
とで、作業効率の向上を図ることができると共に、校正
時におけるＸ線の外部への漏洩を阻止することが可能と
なる。。
ど非分析時において、シャッターを閉じた状態で行うこ
とで、作業効率の向上を図ることができると共に、校正
時におけるＸ線の外部への漏洩を阻止することが可能と
なる。。
【図１】本発明をエネルギー分散型Ｘ線検出装置に適用
した場合の一実施例を示した全体図である。
した場合の一実施例を示した全体図である。
【図２】分析時或いは校正時のシャッターの配置を示す
図である。
図である。
【図３】シャッターに複数の標準試料を配設した一例を
示す図である。
示す図である。
【図４】ＭＣＡで得られたスペクトルの一例を示す図で
ある。
ある。
【図５】本発明をエネルギー分散型Ｘ線検出装置に適用
した場合の演算制御手段の動作例を示すフローチャート
である。
した場合の演算制御手段の動作例を示すフローチャート
である。
【図６】エネルギー分散型Ｘ線検出器のエネルギー感度
特性を示す図である。
特性を示す図である。
【図７】本発明を波長分散型Ｘ線検出装置に適用した場
合の一実施例を示した全体図である。
合の一実施例を示した全体図である。
１・・・・試料室 ２・・・・試料台 ２ａ・・・Ｘ線透過窓 ３・・・・被測定試料 ４・・・・Ｘ線管 ５・・・・エネルギー分散型検出器 ６・・・・シャッター ６ａ・・・標準試料 ７・・・・増幅器 ８・・・・ＡＤ変換器 ９・・・・ＭＣＡ １０・・・演算制御装置 １１・・・計数回路 １２・・・ソーラスリット １５・・・分光結晶 １８・・・Ｘ線検出器
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線が照射された分析用試料から得られ
るＸ線を検出し、解析することで前記分析用試料の元素
分析を行うＸ線分析装置において、 校正用の標準試料が配設されると共に、前記標準試料に
Ｘ線が照射される位置で前記分析用試料に照射されるＸ
線を遮蔽するシャッターと、 前記分析用試料に照射されるＸ線を遮蔽した状態で、前
記シャッターに配設された標準試料から得られたＸ線の
検出データを用いて校正動作を行う演算手段と、 を備えたことを特徴とするＸ線分析装置。 - 【請求項２】 前記シャッターには、複数元素を含む標
準試料、或いは、それぞれ単一元素からなる複数の標準
試料を配設したことを特徴とする請求項１に記載された
Ｘ線分析装置。 - 【請求項３】 前記分析用試料の交換時等における非分
析時に、前記シャッターを閉じ、前記標準試料にＸ線を
照射し、前記標準試料から得られたＸ線の検出データを
用いて標準試料に基づく校正動作を行う請求項１に記載
されたＸ線分析装置の校正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20229596A JPH1048161A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20229596A JPH1048161A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048161A true JPH1048161A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16455185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20229596A Pending JPH1048161A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1048161A (ja) |
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1996
- 1996-07-31 JP JP20229596A patent/JPH1048161A/ja active Pending
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