JP2014173864A - 放射線検出装置および試料分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 放射線検出装置100は、放射線Sxを検出して、当該放射線Sxのエネルギーに応じた波高を有するパルス信号とし、パルス信号の波高をエネルギーに変換して、放射線スペクトルを生成する放射線検出装置であって、放射線スペクトルに現れるピークの帰属を行う定性分析部42と、帰属されたピークに基づいて、波高を放射線エネルギーに変換するためのエネルギー変換値を算出する変換値算出部44と、算出されたエネルギー変換値に基づいて、エネルギー校正が必要か否かを判定するエネルギー校正判定部45と、を含む。
【選択図】図1
Description
ずしも適切に知ることはできない。そのため、エネルギー校正が必要でないにもかかわらず、エネルギー校正を実施してしまうことがある。
放射線を検出して、当該放射線のエネルギーに応じた波高を有するパルス信号とし、前記パルス信号の波高をエネルギーに変換して、放射線スペクトルを生成する放射線検出装置であって、
前記放射線スペクトルに現れるピークの帰属を行う定性分析部と、
帰属された前記ピークに基づいて、前記波高を前記放射線エネルギーに変換するためのエネルギー変換値を算出する変換値算出部と、
算出された前記エネルギー変換値に基づいて、エネルギー校正が必要か否かを判定するエネルギー校正判定部と、
を含む。
前記エネルギー校正判定部の判定結果に基づいて、エネルギー校正が必要か否かを通知する通知部を含んでいてもよい。
前記エネルギー校正判定部によってエネルギー校正が必要と判定された場合に、前記変換値算出部で算出された前記エネルギー変換値を用いて、エネルギー校正を行うエネルギー校正部を含んでいてもよい。
帰属された前記ピークに基づいて、前記エネルギー変換値を算出するか否かを判定する変換値算出判定部を含み、
前記変換値算出判定部によって前記エネルギー変換値を算出しないと判定された場合に、前記変換値算出部は、前記エネルギー変換値の算出を行わなくてもよい。
前記変換値算出部は、帰属された前記ピークに対応する元素の標準スペクトルまたは基底関数に基づいて、前記エネルギー変換値を算出してもよい。
帰属された前記ピークに基づいて、前記波高を前記放射線エネルギーに変換するためのエネルギー分解能校正値を算出する分解能算出部と、
算出された前記エネルギー分解能校正値に基づいて、エネルギー分解能の校正が必要か否かを判定する分解能校正判定部と、
を含んでいてもよい。
本発明に係る放射線検出装置を含む。
まず、本実施形態に係る試料分析装置の構成について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る試料分析装置1の構成を示す図である。
ル生成部41と、定性分析部42と、変換値算出判定部43と、変換値算出部44と、エネルギー校正判定部45と、通知部46と、を含んで構成されている。
ぞれ下記の式で表わされる。
B=(Eβ×Xα−Eα×Xβ)/(Xβ−Xα)・・・(3)
次に、本実施形態に係る試料分析装置1の動作について、図面を参照しながら説明する。図2は、本実施形態に係る放射線検出装置100の処理部40の処理の一例を示すフローチャートである。
X線Sxが発生する。検出器10は、この二次X線Sxを検出して、階段の各段の高さが入射X線のエネルギー(波長)に対応する階段波を出力する。そして、パルスプロセッサー20は、検出器10の出力信号(階段波)の各段の高さをその高さに比例したパルスに変換して、パルス信号を出力する。
変換値A,Bを算出する(エネルギー変換値算出処理S108)。変換値算出部44は、図5に示す帰属されたピークからエネルギー変換値A,Bの算出に適したピークを選択し、式(2)および式(3)からエネルギー変換値(ゲインAおよびオフセットB)を算出する。
=(12.000−3.000)/(11.921−2.954)=1.004
B=(Eα×Xβ−Eβ×Xα)/(Xβ−Xα)
=(3.000×11.921−12.000×2.954)/(11.921−2.954)=0.035
次に、本実施形態に係る放射線検出装置および試料分析装置の変形例について説明する。以下に示す変形例に係る放射線検出装置および試料分析装置において、本実施形態に係る放射線検出装置100および試料分析装置1の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
まず、第1変形例について説明する。図7は、第1変形例に係る放射線検出装置200の構成を示す図である。
次に、第2変形例について説明する。
ィッティングの度合い(あてはまりの程度)を決定する値を求める。次に、このフィッティングの度合いを決定する値がよくなるように(所望の範囲内になるように)、エネルギー変換値を変更して、エネルギー変換値A,Bの値を収束計算する処理を行う。これにより、エネルギー変換値A,Bの値を算出することができる。
次に、第3変形例について説明する。図11は、第3変形例に係る放射線検出装置300の構成を示す図である。
段のパルスプロセッサー20やマルチチャンネルアナライザー30等の信号処理回路の経時変化などによってエネルギー位置だけではなく、エネルギー分解能も変化する場合がある。エネルギー分解能が変化すると、放射線検出装置における定量計算において、スペクトル解析時にピークの強度を正確に求めることができずに、正確な定量結果が得られない場合がある。
ことを防ぐことができる。
Claims (7)
- 放射線を検出して、当該放射線のエネルギーに応じた波高を有するパルス信号とし、前記パルス信号の波高を放射線エネルギーに変換して、放射線スペクトルを生成する放射線検出装置であって、
前記放射線スペクトルに現れるピークの帰属を行う定性分析部と、
帰属された前記ピークに基づいて、前記波高を前記放射線エネルギーに変換するためのエネルギー変換値を算出する変換値算出部と、
算出された前記エネルギー変換値に基づいて、エネルギー校正が必要か否かを判定するエネルギー校正判定部と、
を含む、放射線検出装置。 - 請求項1において、
前記エネルギー校正判定部の判定結果に基づいて、エネルギー校正が必要か否かを通知する通知部を含む、放射線検出装置。 - 請求項1または2において、
前記エネルギー校正判定部によってエネルギー校正が必要と判定された場合に、前記変換値算出部で算出された前記エネルギー変換値を用いて、エネルギー校正を行うエネルギー校正部を含む、放射線検出装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
帰属された前記ピークに基づいて、前記エネルギー変換値を算出するか否かを判定する変換値算出判定部を含み、
前記変換値算出判定部によって前記エネルギー変換値を算出しないと判定された場合に、前記変換値算出部は、前記エネルギー変換値の算出を行わない、放射線検出装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記変換値算出部は、帰属された前記ピークに対応する元素の標準スペクトルまたは基底関数に基づいて、前記エネルギー変換値を算出する、放射線検出装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
帰属された前記ピークに基づいて、前記波高を前記放射線エネルギーに変換するためのエネルギー分解能校正値を算出する分解能算出部と、
算出された前記エネルギー分解能校正値に基づいて、エネルギー分解能の校正が必要か否かを判定する分解能校正判定部と、
を含む、放射線検出装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の放射線検出装置を含む、試料分析装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013043925A JP6009975B2 (ja) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | 放射線検出装置および試料分析装置 |
US14/179,977 US9188686B2 (en) | 2013-03-06 | 2014-02-13 | Radiation detector assembly and sample analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013043925A JP6009975B2 (ja) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | 放射線検出装置および試料分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014173864A true JP2014173864A (ja) | 2014-09-22 |
JP6009975B2 JP6009975B2 (ja) | 2016-10-19 |
Family
ID=51695246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013043925A Active JP6009975B2 (ja) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | 放射線検出装置および試料分析装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9188686B2 (ja) |
JP (1) | JP6009975B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2013-03-06 JP JP2013043925A patent/JP6009975B2/ja active Active
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2014
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JP7147770B2 (ja) | 2017-09-27 | 2022-10-05 | 株式会社島津製作所 | X線分光分析装置、及び該x線分光分析装置を用いた化学状態分析方法 |
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JP7258292B2 (ja) | 2019-05-16 | 2023-04-17 | 国立大学法人東北大学 | 高分子複合材料の分析方法 |
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US11609192B2 (en) | 2019-12-19 | 2023-03-21 | Rigaku Corporation | Energy dispersive x-ray fluorescent spectrometer, evaluation method, and evaluation program |
JP2022147602A (ja) * | 2021-03-23 | 2022-10-06 | 日本電子株式会社 | スペクトル解析装置及びデータベース作成方法 |
JP7307761B2 (ja) | 2021-03-23 | 2023-07-12 | 日本電子株式会社 | スペクトル解析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6009975B2 (ja) | 2016-10-19 |
US9188686B2 (en) | 2015-11-17 |
US20150276952A1 (en) | 2015-10-01 |
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A621 | Written request for application examination |
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