JP5069078B2 - X線スペクトルを用いる分析方法 - Google Patents
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Description
L=2R×sinθ …(1)
一方、分光結晶の回折条件はX線の波長をλ、分光結晶の格子面間隔をdとすると式(2)となる。
2d×sinθ=n×λ …(2)
但し、nは正の整数で回折次数である。
従って、式(1)と式(2)より、式(3)が導かれる。
L=(2R/2d)×n×λ …(3)
式(3)から、X線の波長λと分光位置Lの関係がわかる。
分析試料に荷電粒子線若しくはX線を照射し、発生するX線の分光と検出を波長分散形X線分光器によって行い、該波長分散形X線分光器により得られたX線スペクトルを用いるX線分析方法であって、
X線波長軸若しくは前記X線波長軸に対応した表示単位で表される軸上の分光位置について、必ずX線の計測を行なう基準計数時間を予め定めておき、該基準計数時間と該基準計数時間の間に計数された計数値とから該分光位置における計数率を求め、該計数率と該基準計数時間と予め指定した許容値とに基づいて、該分光位置において該基準計数時間を超えて計数を続行する場合にはその計数時間を決めることにより、一定計数時間当たりでX線強度軸に表示されるX線計数値の統計変動に起因するばらつきの大きさが、前記分光位置のいずれにおいても前記許容値又は前記許容値以下となるように、前記分光位置において計数を行なう時間を可変しながらX線を計数し、実測により得られた計数値を一定計数時間当たりの計数値に換算した値を分析に用いるようにしたことを特徴とする。
前記一定計数時間当たりの計数値に換算した値を、前記X線スペクトルの表示に用いるようにしたことを特徴とする。
前記一定計数時間当たりの計数値に換算した値を、前記分析試料に含まれる元素の特性X線ピークの計数値として用いることにより、前記分析試料の簡易定量分析を行なうようにしたことを特徴とする。
前記基準計数時間を一定計数時間として用いるようにしたことを特徴とする。
前記X線波長軸若しくは前記X線波長軸に対応した表示単位は、波長、エネルギー、X線発生点から分光結晶中心までの距離を表す分光位置、分光結晶による分光角度をθとした時の2θ値又はθ値又はSinθ値のうちの少なくともひとつであることを特徴とする。
なお本発明の説明において、X線スペクトルを各分光位置における一定計数時間to当たりの計数値として表示する場合、このtoを基準計数時間と称す。また、‘X’(任意のパラメータ)の平方根をSqrt(‘X’)で表記する。
Nd=Nm ×(to/tm) …(4)
但し、tmがtoより小さいか同一の場合はto時間で計数を終了し、to時間の計数値をそのままその分光位置の計数値として表示する。この場合は統計変動によるばらつきは表示許容誤差Er以下となる。
(Sqrt(I×tm))×(to/tm)=Er …(5)
従ってX線強度の計数率がI(cps)の分光位置での計数時間tmは、下式(6)で示される。
tm=I×(to/Er) 2 …(6)
なお、各X線強度の計数率I(cps)は、まず基準計数時間toだけ計数した計数値Nから、下式(7)で求める。
I=N/to …(7)
tmは式(6)により計算できる。
このとき、表示許容誤差Erは下式(8)で与えられる。
Er=Np×Kp …(8)
このようにErを決めれば、式(6)を用いてtmを求めることができる。従って、既に説明した手順と同様にして、どの分光位置においてもX線強度の統計変動(ばらつき)が表示許容誤差Erまたはそれ以下になっているX線スペクトル波形を、必要最小時間の1回の測定で得ることができる。
C 分光結晶中心 D 検出器スリット中心
O ローランド円中心 S X線発生点
EB 電子線
1 電子銃 2 試料
3 特性X線 4 電子光学系
5 分光結晶 6 検出器
7 WDS駆動系 8 WDS測定制御部
9 電子光学系制御部 10 試料ステージ
11 試料ステージ駆動機構 12 制御演算装置
13 入力装置 14 表示装置
20 WDS 100 EPMA本体
Claims (5)
- 分析試料に荷電粒子線若しくはX線を照射し、発生するX線の分光と検出を波長分散形X線分光器によって行い、該波長分散形X線分光器により得られたX線スペクトルを用いるX線分析方法であって、
X線波長軸若しくは前記X線波長軸に対応した表示単位で表される軸上の分光位置について、必ずX線の計測を行なう基準計数時間を予め定めておき、該基準計数時間と該基準計数時間の間に計数された計数値とから該分光位置における計数率を求め、該計数率と該基準計数時間と予め指定した許容値とに基づいて、該分光位置において該基準計数時間を超えて計数を続行する場合にはその計数時間を決めることにより、一定計数時間当たりでX線強度軸に表示されるX線計数値の統計変動に起因するばらつきの大きさが、前記分光位置のいずれにおいても前記許容値又は前記許容値以下となるように、前記分光位置において計数を行なう時間を可変しながらX線を計数し、実測により得られた計数値を一定計数時間当たりの計数値に換算した値を分析に用いるようにしたことを特徴とするX線分析方法。 - 前記一定計数時間当たりの計数値に換算した値を、前記X線スペクトルの表示に用いるようにしたことを特徴とする請求項1に記載のX線分析方法。
- 前記一定計数時間当たりの計数値に換算した値を、前記分析試料に含まれる元素の特性X線ピークの計数値として用いることにより、前記分析試料の簡易定量分析を行なうようにしたことを特徴とする請求項1に記載のX線分析方法。
- 前記基準計数時間を一定計数時間として用いるようにしたことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載のX線分析方法。
- 前記X線波長軸若しくは前記X線波長軸に対応した表示単位は、波長、エネルギー、X線発生点から分光結晶中心までの距離を表す分光位置、分光結晶による分光角度をθとした時の2θ値又はθ値又はSinθ値のうちの少なくともひとつであることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のX線分析方法。
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