JP5563899B2 - オージェ像収集方法及び装置 - Google Patents
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Description
B=Σgj・Bj σB=√(Σgj 2・Bj)
但しgは外挿・内挿してピーク位置での強度に換算するための係数である。
(実施例1)
図1は本発明の一実施例を示す構成図である。電子照射装置1から発生した電子ビームは試料室2内に載置された試料3上に細かく絞って照射され、試料3表面からオージェ電子が放出され、電子分光器4によってエネルギー分光される。該電子分光器4の出口部分には図示されない検出器が設けられ、該検出器で得られた信号は、続く電子分光器制御装置5を介してホストコンピュータ6に入力される。ホストコンピュータ6は、電子分光器制御装置5で計測した信号強度をスペクトルやオージェ像として表示部7に表示させる。
B=Σgj・Bj σB=√(Σgj 2・Bj) (2)
但しgは外挿・内挿してピーク位置での強度に換算するための係数である。(a)の設定ではgの値は1となり、(b)の設定では2となる。
次に、ピークとバックグラウンドの指定方法を変えて、S/N比が最大になる設定を採用する。上式で計算した結果の一例を図5と図6に示す。図4は各チャネルのエネルギー値とカウント数を示す図で、これらデータはホストコンピュータ6の演算制御部6aで演算したものである。
(実施例2)
実施例2も構成は図1と同じである。但し、電子分光器4は静電半球形アナライザである必要はない。図7は実施例2の動作を示すフローチャートである。この実施例2は実施例1を自動化したものである。先ず、オペレータは、ホストコンピュータ6に付属のキーボード等からピークPとバックグラウンドBを含むエネルギー範囲を設定する(S1)。そして、マルチチャンネル検出器4bのエネルギー範囲で、測定したスペクトルのカウント数が最大値のチャネルをピークに、最小値のチャネルをバックグラウンドに設定する(S2)。
(ピーク)
n-2Ci(i=1,2,…,n−3)
(バックグラウンド)
n-2-iCj(j=1,2,…,n−2−i)
次に、演算制御部6aは、演算により求めたS/N比が最適(最大)であるかどうかチェックする(S5)。最大でない場合にはステップS3に戻り残りのチャネル数に対してPとBを指定する処理をする。S/N比が最適である場合には、設定は終了する。このようにして、S/N比が最大となるピークとバックグラウンドの自動設定方法を採用する。このようにして求めたピークとバックグラウンドの組み合せにより最大S/N比を得ることができ、S/N比のよいオージェ像を得ることができる。
1)検出器の各チャネルにピークとバックグラウンドを指定する際に、ピーク強度のS/N比を指標にすることで、適切なチャネルの指定ができる。
2)チャネルに指定するピークとバックグラウンドの組み合わせについて、各々S/N比を計算することで、S/N比が最大となるチャネル指定を自動的に行なうことができる。
2 試料室
3 試料
4 電子分光器
5 電子分光器制御装置
6 ホストコンピュータ
6a 演算制御装置
7 表示部
Claims (4)
- 試料に電子ビームを照射し、該試料の表面から放出される二次的電子を分光器によりエネルギー分光し、該分光した各エネルギーの二次的電子を検出器によりカウントするようにしたオージェ電子分光装置であって、
前記検出器を複数用意し、前記異なるエネルギーの電子を同時にカウントするようにしたオージェ電子分光装置において、
前記複数の検出器によりカウントされたデータに基づいて、エネルギー値毎に各検出器のカウント数のテーブルを作成し、該テーブルを用いてピークのチャネルとバックグラウンドのチャネルの組み合わせと、各組み合わせのS/N比を求め、最もS/N比が高い組み合わせを選択してピーク強度を算出するようにしたことを特徴とするオージェ像収集方法。 - ピークに指定したチャネルのカウント数をPi、バックグラウンドに指定したチャネルのカウント数をBjとすると、ピークとバックグラウンドの合計強度PとBとその変動σP,σBは以下の式で表されることを特徴とする請求項1記載のオージェ像収集方法。
P=ΣPi σP=√(ΣPi)
B=Σgj・Bj σB=√(Σgj2・Bj)
但しgは外挿・内挿してピーク位置での強度に換算するための係数である。 - オージェ電子像のS/N比は以下の式で表されることを特徴とする請求項2記載のオージェ像収集方法。
S/N=(P−B)√(σP2+σB2) - 試料に電子ビームを照射し、該試料の表面から放出される二次的電子を分光器によりエネルギー分光し、該分光した各エネルギーの二次的電子を検出器によりカウントするようにしたオージェ電子分光装置であって、
前記検出器を複数用意し、前記異なるエネルギーの電子を同時にカウントするようにしたオージェ電子分光装置において、
前記複数の検出器によりカウントされたデータに基づいて、エネルギー値毎に各検出器のカウント数のテーブルを作成し、該テーブルを用いてピークのチャネルとバックグラウンドのチャネルの組み合わせと、各組み合わせのS/N比を求め、最もS/N比が高い組み合わせを選択してピーク強度を算出するように構成した演算制御手段を設けたことを特徴とするオージェ像収集装置。
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