JP6677571B2 - 電子分光装置および測定方法 - Google Patents
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Description
する時間である。
試料から放出された電子をエネルギー分光するエネルギー分光部と、
前記エネルギー分光部でエネルギー分光された電子のエネルギー分散方向に並んで配置されている複数の検出部を備えた検出装置と、
前記検出装置の検出結果に基づいて、電子分光スペクトルデータを取得する処理部と、を含み、
前記処理部は、
前記検出部の検出感度を補正するための補正係数を、前記検出部ごとに算出する補正係数算出処理と、
前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を設定して、複数の前記検出部の検出結果を取得する第1測定結果取得処理と、
前記第1測定結果取得処理で取得された複数の前記検出部の検出結果を前記補正係数で補正して、第1電子分光スペクトルデータを取得する第1データ取得処理と、
前記補正係数算出処理の前に、複数の前記検出部の検出結果を取得する処理を、前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を変更して、複数回繰り返す第3測定結果取得処理と、
を行い、
前記補正係数算出処理では、前記第3測定結果取得処理で取得された複数の前記検出部の検出結果に基づいて、前記補正係数を算出する。
前記処理部は、
前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を前記第1測定結果取得処理における電子のエネルギー範囲と異なる範囲に設定して、複数の前記検出部の検出結果を取得する第2測定結果取得処理と、
前記第2測定結果取得処理で取得された複数の前記検出部の検出結果を前記補正係数で補正して、第2電子分光スペクトルデータを取得する第2データ取得処理と、
を行い、
前記第1測定結果取得処理における複数の前記検出部が検出するエネルギーと、前記第2測定結果取得処理における複数の前記検出部が検出するエネルギーとは、重複しない。
前記処理部は、前記第3測定結果取得処理で取得された複数の前記検出部の検出結果から、第3電子分光スペクトルデータを取得する第3データ取得処理を行ってもよい。
前記検出部は、チャンネルトロンを含んで構成されていてもよい。
前記検出部は、複数のチャンネルトロンを含んで構成され、
前記検出部の検出結果は、前記複数のチャンネルトロンの検出結果の和であってもよい。
試料から放出された電子をエネルギー分光するエネルギー分光部と、前記エネルギー分光部でエネルギー分光された電子のエネルギー分散方向に並んで配置されている複数の検出部を備えた検出装置と、を含む電子分光装置における測定方法であって、
前記検出部の検出感度を補正するための補正係数を、前記検出部ごとに算出する補正係数算出工程と、
前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を設定して、複数の前記検出部の検出結果を取得する第1測定結果取得工程と、
前記第1測定結果取得工程で取得された複数の前記検出部の検出結果を前記補正係数で補正して、第1電子分光スペクトルデータを取得する第1データ取得工程と、
前記補正係数算出工程の前に、複数の前記検出部の検出結果を取得する処理を、前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を変更して、複数回繰り返す第3測定結果取得工程と、
を含み、
前記補正係数算出工程では、前記第3測定結果取得工程で取得された複数の前記検出部の検出結果に基づいて、前記補正係数を算出する。
前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を前記第1測定結果取得工程における電子のエネルギー範囲と異なる範囲に設定して、複数の前記検出部の検出結果を取得する第2測定結果取得工程と、
前記第2測定結果取得工程で取得された複数の前記検出部の検出結果を前記補正係数で補正して、第2電子分光スペクトルデータを取得する第2データ取得工程と、
を含み、
前記第1測定結果取得工程における複数の前記検出部が検出するエネルギーと、前記第2測定結果取得工程における複数の前記検出部が検出するエネルギーとは、重複しない。
まず、本実施形態に係る電子分光装置について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子分光装置100を模式的に示す図である。
ルトロン42(P=−1ch)、チャンネルトロン42(P=−2ch)が配置されている。また、チャンネルトロン42(P=0ch)から、外半球電極35b側に向かって順に、チャンネルトロン42(P=+1ch)、チャンネルトロン42(P=+2ch)が配置されている。
次に、電子分光装置100の動作について説明する。
た複数のチャンネルトロン42で検出される。複数のチャンネルトロン42で検出された電子は、チャンネルトロン42ごとに計数演算装置54で計数され、その計数結果が処理部60に送られる。
まず、ユーザーがスペクトル収集条件を設定する。ユーザーは、電子分光装置100の設定部(ユーザーインターフェイス、図示せず)を操作して、スペクトル収集の条件を設定する。設定部でのスペクトル収集条件の設定が処理部60の処理に反映される。
次に、処理部60は、検出感度測定を行い、5個のチャンネルトロン42(P=−2ch〜+2ch)の検出結果を取得する。
次に、処理部60は、検出感度測定で得られたチャンネルトロン42(P=−2ch〜
+2ch)の検出結果に基づいて、補正係数を算出する。ここで、補正係数とは、チャンネルトロン42の検出感度を補正するための係数である。補正係数は、チャンネルトロン42ごとに算出される。補正係数によって、チャンネルトロン42の検出結果(計数結果)を補正することができ、チャンネルトロン42の検出感度のばらつきの影響を低減できる。
次に、処理部60は、高速測定を行い、チャンネルトロン42(P=−2ch〜+2ch)の検出結果を取得する。
範囲を設定し、チャンネルトロン42(P=−2ch〜+2ch)の検出結果を取得する(ステップS160)。
次に、処理部60は、取得したエネルギーE1〜E100のスペクトルデータに基づいて、スペクトルを生成する。
、複数のチャンネルトロン42の検出結果を取得する処理を、エネルギーアナライザー30でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を変更して、複数回繰り返す第3測定結果取得処理(ステップS12)を行い、補正係数算出処理では、第3測定結果取得処理で取得された複数のチャンネルトロン42の検出結果に基づいて、補正係数を算出する。そのため、電子分光装置100では、チャンネルトロン42の検出感度を補正するための補正係数を算出することができる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。以下、上述した実施形態と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
上述した実施形態では、スペクトルデータのエネルギー間隔Iと、隣り合うチャンネルトロン間のエネルギー間隔ΔEと、が等しい(共に1.0eV)場合について説明したが、エネルギー間隔Iとエネルギー間隔ΔEとは異なっていてもよい。
出された電子のエネルギーが対象エネルギーE1.0と一致しない場合には、図13に示すように、2つのエネルギーの内挿によって推定した値を用いて、補正係数を算出する。
上述した実施形態では、1つのチャンネルトロンから1つのスペクトルデータを取得していたが、複数のチャンネルトロンから1つのスペクトルデータを取得してもよい。すなわち、上述した実施形態では、1つのチャンネルトロンが1つの検出部を構成していたが、複数のチャンネルトロンが1つの検出部を構成していてもよい。
+4ch)を有している。このとき、処理部60は、チャンネルトロン42(P=−4ch,−3ch,−2ch)の検出結果(計数結果)の和をエネルギーE−ΔEの検出結果(計数結果)として取得する。また、処理部60は、チャンネルトロン42(P=−1ch,0ch,+1ch)の検出結果の和をエネルギーEの検出結果として取得する。また、処理部60は、チャンネルトロン42(P=+2ch,+3ch,+4ch)の検出結果の和をエネルギーE+ΔEの検出結果として取得する。
Claims (7)
- 試料から放出された電子をエネルギー分光するエネルギー分光部と、
前記エネルギー分光部でエネルギー分光された電子のエネルギー分散方向に並んで配置されている複数の検出部を備えた検出装置と、
前記検出装置の検出結果に基づいて、電子分光スペクトルデータを取得する処理部と、を含み、
前記処理部は、
前記検出部の検出感度を補正するための補正係数を、前記検出部ごとに算出する補正係数算出処理と、
前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を設定して、複数の前記検出部の検出結果を取得する第1測定結果取得処理と、
前記第1測定結果取得処理で取得された複数の前記検出部の検出結果を前記補正係数で補正して、第1電子分光スペクトルデータを取得する第1データ取得処理と、
前記補正係数算出処理の前に、複数の前記検出部の検出結果を取得する処理を、前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を変更して、複数回繰り返す第3測定結果取得処理と、
を行い、
前記補正係数算出処理では、前記第3測定結果取得処理で取得された複数の前記検出部の検出結果に基づいて、前記補正係数を算出する、電子分光装置。 - 請求項1において、
前記処理部は、
前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を前記第1測定結果取得処理における電子のエネルギー範囲と異なる範囲に設定して、複数の前記検出部の検出結果を取得する第2測定結果取得処理と、
前記第2測定結果取得処理で取得された複数の前記検出部の検出結果を前記補正係数で補正して、第2電子分光スペクトルデータを取得する第2データ取得処理と、
を行い、
前記第1測定結果取得処理における複数の前記検出部が検出するエネルギーと、前記第
2測定結果取得処理における複数の前記検出部が検出するエネルギーとは、重複しない、電子分光装置。 - 請求項1または2において、
前記処理部は、前記第3測定結果取得処理で取得された複数の前記検出部の検出結果から、第3電子分光スペクトルデータを取得する第3データ取得処理を行う、電子分光装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記検出部は、チャンネルトロンを含んで構成されている、電子分光装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記検出部は、複数のチャンネルトロンを含んで構成され、
前記検出部の検出結果は、前記複数のチャンネルトロンの検出結果の和である、電子分光装置。 - 試料から放出された電子をエネルギー分光するエネルギー分光部と、前記エネルギー分光部でエネルギー分光された電子のエネルギー分散方向に並んで配置されている複数の検出部を備えた検出装置と、を含む電子分光装置における測定方法であって、
前記検出部の検出感度を補正するための補正係数を、前記検出部ごとに算出する補正係数算出工程と、
前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を設定して、複数の前記検出部の検出結果を取得する第1測定結果取得工程と、
前記第1測定結果取得工程で取得された複数の前記検出部の検出結果を前記補正係数で補正して、第1電子分光スペクトルデータを取得する第1データ取得工程と、
前記補正係数算出工程の前に、複数の前記検出部の検出結果を取得する処理を、前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を変更して、複数回繰り返す第3測定結果取得工程と、
を含み、
前記補正係数算出工程では、前記第3測定結果取得工程で取得された複数の前記検出部の検出結果に基づいて、前記補正係数を算出する、測定方法。 - 請求項6において、
前記エネルギー分光部でエネルギー分光される電子のエネルギー範囲を前記第1測定結果取得工程における電子のエネルギー範囲と異なる範囲に設定して、複数の前記検出部の検出結果を取得する第2測定結果取得工程と、
前記第2測定結果取得工程で取得された複数の前記検出部の検出結果を前記補正係数で補正して、第2電子分光スペクトルデータを取得する第2データ取得工程と、
を含み、
前記第1測定結果取得工程における複数の前記検出部が検出するエネルギーと、前記第2測定結果取得工程における複数の前記検出部が検出するエネルギーとは、重複しない、測定方法。
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