JP4486438B2 - 波高分布表示機能を備えたx線分析装置 - Google Patents
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Description
特性X線を検出する方法には、大別して分光素子を用いる波長分散形X線分光器(WDS)と半導体検出器を用いるエネルギー分散形X線分光器(EDS)がある。EPMAやXRFはWDSまたはEDSを搭載しているが、WDSとEDSはそれぞれ機能、性能に特徴があるので、WDSとEDSの双方を搭載し、ひとつのコンピュータシステムでコントロールする装置も多く実用化されている。
ここで、MCAはマルチチャンネルアナライザ(MCA:Multi Channel Analyzer)、SCAはシングルチャンネルアナライザ(SCA:Single Channel Analyzer)の略称である。
2d×sinθ=n×λ …(1)
d:分光素子の面間隔
θ:X線の入射角及び反射角
λ:X線の波長
n:反射次数(1,2…)
を満足して回折されるX線がX線検出器に導かれる。
WDSでは、入射X線量子1個のエネルギーに比例した波高値を持つ電流パルスを取り出すことのできるガス増幅形X線検出器が多く使われている。X線検出器に入射したX線量子はガス分子を電離して電子/イオン対を生成する。検出器にかけられているバイアスにより電離した電子が増幅されて電流パルスとして取り出される。初期電離する電子/イオン対の数は統計変動によりばらつくので、入射X線のエネルギーは一定であっても、パルスの波高値はばらつきを持つ。
式(1)から分かるように、ある波長のX線が回折されて検出される位置には、そのX線の整数倍のエネルギーを持った高次回折線が重畳する。従って、もし分析目的元素の特性X線の近傍に、他の元素の高次回折された特性X線が妨害線として重畳する場合は、波高分析器(PHA:Pulse Height Analyzer)を正確に設定して、 検出したX線の信号から妨害線の信号を取り除くことが必要になる。
図1の従来構成に、WDSからの出力信号をEDS用に構成されているMCAに入力するための信号切換器12と信号マッチング装置13、EDS用MCAにより表示されたWDSの波高分布からLower levelとUpper levelをきめるための入力装置14が追加されている。また、ホストコンピュータ10は入力装置14から入力されたLower levelとUpper level条件に基づいてWDSの波高分析器の設定条件を設定するための指令信号を、WDS用SCA9へ供給する。
第1の実施形態の構成では、ホストコンピュータ10と表示装置11はWDSとEDSの共用である。
信号切換器12はEDS測定時には端子A側に切換えられていて、EDS用信号処理装置6からの信号がEDS用MCA8に送られている。ホストコンピュータ10からの信号切換の指示により、信号切換器12は端子B側に切換えられる。WDSからの信号は、WDS用信号処理装置7の出力をEDS用MCA8の入力可能範囲の信号になるように信号マッチング装置13によって調整され、EDS用MCA8に送られる。
EDS用MCA8は、入力された信号の波高を識別し、対応するチャンネルに割り当てて順次積算する。ホストコンピュータ10は、識別された波高値に対応してチャンネンル毎に積算されているX線量子数をバーの高さなどに変換し、リアルタイムで波高分布として表示装置11に表示する。
図2の第1の実施形態では、ホストコンピュータ10と表示装置11はWDSとEDSの共用であるが、第2の実施形態ではWDSとEDSは別々のホストコンピュータを持っている。
EDS用ホストコンピュータ10-1は、WDSから信号切換器12を介してEDS用MCA8に入力した信号の識別された波高値を、リアルタイムで波高分布として表示装置11に表示する。入力装置14から指定したLower levelとUpper level設定値は、WDS用ホストコンピュータ10-2からEDS用ホストコンピュータ10-1に送られ、表示装置11に表示されるので、オペレータはこれを見ながら適当なWindowの設定条件を決める。決められたLower levelとUpper level設定値は、WDS用ホストコンピュータ10-2からWDS用SCA9に送られて条件設定される。その他の動作は第1の実施形態と同様である。
図2の第1の実施形態では、ホストコンピュータ10と表示装置11はWDSとEDSの共用であるが、第3の実施形態ではWDSとEDSは別々のホストコンピュータと表示装置を持っている。
EDS用ホストコンピュータ10-1は、WDSから信号切換器12を介してEDS用MCA8に入力した信号の識別された波高値を、リアルタイムで波高分布としてEDS用表示装置11-1に表示する。入力装置14から指定したLower levelとUpper level設定値は、WDS用ホストコンピュータ10-2からEDS用ホストコンピュータ10-1に送られ、EDS用表示装置11-1に表示されるので、オペレータはこれを見ながら適当なWindowの設定条件を決める。決められたLower levelとUpper level設定値は、WDS用ホストコンピュータ10-2からWDS用SCA9に送られて条件設定される。その他の動作は第1の実施形態と同様である。
1:電子銃 10:ホストコンピュータ
2:電子線 10-1:EDS用ホストコンピュータ
3:分析試料 10-2:WDS用ホストコンピュータ
4:WDS 11:表示装置
5:EDS 11-1:EDS用表示装置
6:EDS用信号処理装置 11-2:WDS用表示装置
7:WDS用信号処理装置 12:信号切換器
8:EDS用MCA 13:信号マッチング装置
9:WDS用SCA 14:入力装置
Claims (5)
- 試料に電子線またはX線を照射して、試料から発生する特性X線を検出するための波長分散形X線分光器とエネルギー分散形X線分光器とを装着したX線分析装置において、前記波長分散形X線分光器のX線検出器に接続されている信号処理回路からの出力信号を、前記エネルギー分散形X線分光器用に構成されているマルチチャンネルアナライザに入力するための切換手段と、前記マルチチャンネルアナライザにより求められた前記出力信号に基づく波高分布を前記X線分析装置の表示装置に表示する表示手段を備えたことを特徴とするX線分析装置。
- 前記マルチチャンネルアナライザにより求められて前記X線分析装置の表示装置に表示される前記波高分布の波高値が、前記波長分散形X線分光器用に構成されているシングルチャンネルアナライザにより表示される波高値と同じ値を示すように換算する手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載のX線分析装置。
- 前記マルチチャンネルアナライザにより求められて前記X線分析装置の表示装置に表示される前記波高分布から、入力手段を用いて設定したLower levelとUpper levelの情報に基づいて、前記波長分散形X線分光器の波高分析器の設定条件を自動的に設定する手段を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のX線分析装置。
- 前記マルチチャンネルアナライザにより求められた前記波高分布を表示する表示装置は、前記波長分散形X線分光器と前記エネルギー分散形X線分光器が共用する表示装置であることを特徴とする請求項1乃至3何れかに記載のX線分析装置。
- 前記マルチチャンネルアナライザにより求められた前記波高分布を表示する表示装置は、前記エネルギー分散形X線分光器用の表示装置であることを特徴とする請求項1乃至3何れかに記載のX線分析装置。
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