JP2007178445A - 試料分析装置における定量分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料10に電子線を照射し、該試料10の表面より放出される特性X線を検出して試料10の定量分析を行う定量分析方法において、鉄鋼の定性分析時にカーボンの分析に要する電子線照射時間の検出X線強度に対する影響を測定し、分析計測時間影響曲線を作成し登録するステップと、鉄鋼の定性分析を行い、カーボンの分析に要した分析計測時間に応じて、予め登録されている前記分析計測時間影響曲線に基づいて、定性分析結果得られたエネルギースペクトル強度によるカーボンの定量分析結果に対して定量補正を行うステップとを備える。
【選択図】図1
Description
Claims (1)
- 試料に電子線を照射する電子線源と、電子線の照射された試料から放出される特性X線を検出するX線分光器と、各部の動作を制御する制御部とを有し、試料に電子線を照射し、該試料表面より放出される特性X線を検出して試料の定量分析を行う試料分析装置における定量分析方法において、鉄鋼の定性分析時にカーボンの分析に要する電子線照射時間の検出X線強度に対する影響を測定し、分析計測時間影響曲線を作成し登録するステップと、鉄鋼の定性分析を行い、カーボンの分析に要した分析計測時間に応じて、予め登録されている前記分析計測時間影響曲線に基づいて、定性分析結果得られたエネルギースペクトル強度によるカーボンの定量分析結果に対して定量補正を行うステップとを備えていることを特徴とする試料分析装置における定量分析方法。
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