JPH08110313A - Ｘｐｓ定量分析法 - Google Patents
Ｘｐｓ定量分析法Info
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- JPH08110313A JPH08110313A JP6245498A JP24549894A JPH08110313A JP H08110313 A JPH08110313 A JP H08110313A JP 6245498 A JP6245498 A JP 6245498A JP 24549894 A JP24549894 A JP 24549894A JP H08110313 A JPH08110313 A JP H08110313A
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- peak
- quantitative analysis
- analysis method
- xps
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 バックグラウンド３１除去した主ピーク３２
及びＳＵＳピーク３３を積分してピーク強度ＩNi、Ｉｉ
を求め、このピーク強度ＩNi、Ｉｉを試料を構成するＮ
ｉ等の元素の原子軌道別に設定した強度係数αNi（＝
０．６）、αiで補正した感度係数ＳNi、Ｓｉで除して
Ｎｉ元素等の組成Ｃａを求めるＸＰＳ定量分析法。 【効果】 テール部のピーク強度もピーク強度ＩNi、Ｉ
ｉに含めることができるため、標準試料に関する分析値
との対比・補正を必要とすることなく、固体試料を構成
するＮｉをはじめ多種類の元素を簡単、かつ確実に定量
することができる。
及びＳＵＳピーク３３を積分してピーク強度ＩNi、Ｉｉ
を求め、このピーク強度ＩNi、Ｉｉを試料を構成するＮ
ｉ等の元素の原子軌道別に設定した強度係数αNi（＝
０．６）、αiで補正した感度係数ＳNi、Ｓｉで除して
Ｎｉ元素等の組成Ｃａを求めるＸＰＳ定量分析法。 【効果】 テール部のピーク強度もピーク強度ＩNi、Ｉ
ｉに含めることができるため、標準試料に関する分析値
との対比・補正を必要とすることなく、固体試料を構成
するＮｉをはじめ多種類の元素を簡単、かつ確実に定量
することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸＰＳ定量分析法に関
し、より詳細には、例えば金属や半導体等の固体試料に
おける表層部の組成を分析するＸＰＳ定量分析法に関す
る。
し、より詳細には、例えば金属や半導体等の固体試料に
おける表層部の組成を分析するＸＰＳ定量分析法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】光電子分光分析法はＸＰＳ（Xray Photo
electron Spectroscopy)あるいはＥＳＣＡ（Electron S
pectroscopy for Chemical Analysis)とも呼ばれてお
り、この２０年来、固体試料表面から数十Å程度の深さ
の元素分析や元素の結合状態分析に対する有効な手段と
して使用されている。
electron Spectroscopy)あるいはＥＳＣＡ（Electron S
pectroscopy for Chemical Analysis)とも呼ばれてお
り、この２０年来、固体試料表面から数十Å程度の深さ
の元素分析や元素の結合状態分析に対する有効な手段と
して使用されている。
【０００３】図４は従来から用いられているこの種ＸＰ
Ｓ分析装置を模式的に示した断面図であり、図中１１は
チャンバーを示している。略半球形状を有するチャンバ
ー１１内の略中央部には電場偏向方式の電子エネルギ分
析器部１２が形成されており、電子エネルギ分析器部１
２には略半球形状の電極１２ａが配設され、電極１２ａ
は直流電源１３に接続されている。さらに直流電源１３
は演算処理部１４に接続されており、演算処理部１４に
おいて電極１２ａに印加する直流電流が制御されるよう
になっている。一方、チャンバー１１の一端部側には試
料室１１ａが形成されており、試料室１１ａ内の所定箇
所にはＸ線源１５と固体試料１６とが配置されている。
他方、チャンバー１１の他端部側には検出室１１ｂが形
成され、検出室１１ｂ内の所定箇所には光電子増倍管１
７が配設されており、光電子増倍管１７は増幅器１７
ａ、波高分析器１７ｂ等を介して演算処理部１４に接続
され、さらに演算処理部１４はディスプレイ１４ａとＸ
Ｙレコーダ１４ｂとに接続されている。またチャンバー
１１は排気口１１ｃを介して排気系（図示せず）に接続
されており、この排気系の作動によりチャンバー１１内
が高真空に維持されるようになっている。これらＸ線源
１５、電子エネルギ分析器部１２、光電子増倍管１７、
演算処理部１４等を含んでＸＰＳ定量分析装置１０が構
成されている。
Ｓ分析装置を模式的に示した断面図であり、図中１１は
チャンバーを示している。略半球形状を有するチャンバ
ー１１内の略中央部には電場偏向方式の電子エネルギ分
析器部１２が形成されており、電子エネルギ分析器部１
２には略半球形状の電極１２ａが配設され、電極１２ａ
は直流電源１３に接続されている。さらに直流電源１３
は演算処理部１４に接続されており、演算処理部１４に
おいて電極１２ａに印加する直流電流が制御されるよう
になっている。一方、チャンバー１１の一端部側には試
料室１１ａが形成されており、試料室１１ａ内の所定箇
所にはＸ線源１５と固体試料１６とが配置されている。
他方、チャンバー１１の他端部側には検出室１１ｂが形
成され、検出室１１ｂ内の所定箇所には光電子増倍管１
７が配設されており、光電子増倍管１７は増幅器１７
ａ、波高分析器１７ｂ等を介して演算処理部１４に接続
され、さらに演算処理部１４はディスプレイ１４ａとＸ
Ｙレコーダ１４ｂとに接続されている。またチャンバー
１１は排気口１１ｃを介して排気系（図示せず）に接続
されており、この排気系の作動によりチャンバー１１内
が高真空に維持されるようになっている。これらＸ線源
１５、電子エネルギ分析器部１２、光電子増倍管１７、
演算処理部１４等を含んでＸＰＳ定量分析装置１０が構
成されている。
【０００４】このように構成された装置１０を用い、固
体試料１６表層部の定量分析を行なう場合、まず排気系
を作動させてチャンバー１１内を所定の真空度に設定し
た後、Ｘ線源１５を作動させて固体試料１６表面にＸ線
領域の単色光もしくは非単色光１５ａを照射し、固体試
料１６表層部の構成物質を励起させる。するとこの構成
物質の様々な内殻電子準位（原子軌道）より光電子１６
ａが電極１２ａ内に放出され、光電子増倍管１７におい
て単位時間当りの光電子１６ａ数が検出される。次にこ
の検出された信号は増幅器１７ａにおいて増幅され、波
高分析器１７ｂにおいて信号パルスの振幅が検出され、
演算処理部１４において演算処理され、ＸＹレコーダ１
４ｂにおいて各内殻電子準位の結合エネルギに対応した
光電子ピーク（以下、主ピークと記す）を有する光電子
スペクトルが表示される。
体試料１６表層部の定量分析を行なう場合、まず排気系
を作動させてチャンバー１１内を所定の真空度に設定し
た後、Ｘ線源１５を作動させて固体試料１６表面にＸ線
領域の単色光もしくは非単色光１５ａを照射し、固体試
料１６表層部の構成物質を励起させる。するとこの構成
物質の様々な内殻電子準位（原子軌道）より光電子１６
ａが電極１２ａ内に放出され、光電子増倍管１７におい
て単位時間当りの光電子１６ａ数が検出される。次にこ
の検出された信号は増幅器１７ａにおいて増幅され、波
高分析器１７ｂにおいて信号パルスの振幅が検出され、
演算処理部１４において演算処理され、ＸＹレコーダ１
４ｂにおいて各内殻電子準位の結合エネルギに対応した
光電子ピーク（以下、主ピークと記す）を有する光電子
スペクトルが表示される。
【０００５】次にこの主ピークの結合エネルギより、構
成物質の元素ｉが同定される。また演算処理部１４にお
いて、直線法またはシャーレイ法でバックグラウンド除
去した主ピークを積分することにより、ピーク強度Ｉ
ａ、Ｉｉが求められる。なお、直線法は前記主ピーク下
部の両端部を単純に直線で結び、この直線下部を除去す
る方法であり、シャーレイ法はバックグラウンド強度が
高結合エネルギ側のピーク強度Ｉａ、Ｉｉに比例すると
仮定して前記バックグラウンド強度を決定・除去する方
法である。次に下記の数２を用い、ピーク強度Ｉａ、Ｉ
ｉを感度係数Ｓａ、Ｓｉで除すと、元素ａの組成Ｃａが
測定される。なお感度係数Ｓａ、Ｓｉは、光イオン化断
面積σ×電子の非弾性散乱平均自由行程λ×装置の感度
特性ｆで理論的に与えられる。
成物質の元素ｉが同定される。また演算処理部１４にお
いて、直線法またはシャーレイ法でバックグラウンド除
去した主ピークを積分することにより、ピーク強度Ｉ
ａ、Ｉｉが求められる。なお、直線法は前記主ピーク下
部の両端部を単純に直線で結び、この直線下部を除去す
る方法であり、シャーレイ法はバックグラウンド強度が
高結合エネルギ側のピーク強度Ｉａ、Ｉｉに比例すると
仮定して前記バックグラウンド強度を決定・除去する方
法である。次に下記の数２を用い、ピーク強度Ｉａ、Ｉ
ｉを感度係数Ｓａ、Ｓｉで除すと、元素ａの組成Ｃａが
測定される。なお感度係数Ｓａ、Ｓｉは、光イオン化断
面積σ×電子の非弾性散乱平均自由行程λ×装置の感度
特性ｆで理論的に与えられる。
【０００６】
【数２】
【０００７】また予め標準物質を用い、ピーク強度Ｉ
ａ、Ｉｉとバックグラウンド強度とを測定しておき、こ
れらの比から感度係数Ｓａ、Ｓｉを補正するＸＰＳ定量
分析方法が提案されている（特開昭６０−１１４７５５
号公報）。
ａ、Ｉｉとバックグラウンド強度とを測定しておき、こ
れらの比から感度係数Ｓａ、Ｓｉを補正するＸＰＳ定量
分析方法が提案されている（特開昭６０−１１４７５５
号公報）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記した数２を用いた
ＸＰＳ定量分析法においては、定量誤差が±１０％程度
と大きく、元素によっては±５０％の誤差が生じること
もあり、固体試料１６表面から数十Å程度の深さの定性
分析や元素の結合状態分析には有効な手段であるが、定
量分析を高精度に行うのは難しいという課題があった。
ＸＰＳ定量分析法においては、定量誤差が±１０％程度
と大きく、元素によっては±５０％の誤差が生じること
もあり、固体試料１６表面から数十Å程度の深さの定性
分析や元素の結合状態分析には有効な手段であるが、定
量分析を高精度に行うのは難しいという課題があった。
【０００９】また上記した特開昭６０−１１４７５５号
公報で開示されているＸＰＳ定量分析法においては、標
準試料を必要とするため、分析対象物としての固体試料
１６が限定され、またバックグラウンド除去が複雑であ
るという課題があった。
公報で開示されているＸＰＳ定量分析法においては、標
準試料を必要とするため、分析対象物としての固体試料
１６が限定され、またバックグラウンド除去が複雑であ
るという課題があった。
【００１０】本発明はこのような課題に鑑みなされたも
のであり、標準試料を必要とすることなく、多種類の元
素を簡単、かつ確実に定量することができるＸＰＳ定量
分析法を提供することを目的としている。
のであり、標準試料を必要とすることなく、多種類の元
素を簡単、かつ確実に定量することができるＸＰＳ定量
分析法を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係るＸＰＳ定量分析法は、下記の数１を用い
て元素ａの組成Ｃａを求めるＸＰＳ定量分析法であっ
て、直線法によりバックグラウンド除去した主ピーク、
または主ピーク及びシェイクアップサテライトピーク
（以下、ＳＵＳピークと記す）を積分してピーク強度Ｉ
ａ、Ｉｉを求め、該ピーク強度Ｉａ、Ｉｉを試料を構成
する元素の原子軌道別に設定した強度係数αa 、αi で
補正した感度係数Ｓａ、Ｓｉで除して元素ａの組成Ｃａ
を求めることを特徴としている（１）。
に本発明に係るＸＰＳ定量分析法は、下記の数１を用い
て元素ａの組成Ｃａを求めるＸＰＳ定量分析法であっ
て、直線法によりバックグラウンド除去した主ピーク、
または主ピーク及びシェイクアップサテライトピーク
（以下、ＳＵＳピークと記す）を積分してピーク強度Ｉ
ａ、Ｉｉを求め、該ピーク強度Ｉａ、Ｉｉを試料を構成
する元素の原子軌道別に設定した強度係数αa 、αi で
補正した感度係数Ｓａ、Ｓｉで除して元素ａの組成Ｃａ
を求めることを特徴としている（１）。
【００１２】
【数１】
【００１３】また本発明に係るＸＰＳ定量分析法は、上
記ＸＰＳ定量分析法（１）における強度係数αa または
αi に、各第２周期元素の１ｓに関して０．５、第３周
期元素であるＮａ、Ｍｇの１ｓに関して０．５、各第３
周期元素の２ｐ、２ｓに関して０．７、第４周期元素で
あるＫ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖの２ｐに関して０．４
７、Ｃｒ２ｐに関して０．４７、Ｃｒ２ｐ３／２に関し
て０．４、Ｍｎ２ｐに関して０．４３、Ｆｅ２ｐ及びＦ
ｅ２ｐ３／２に関して０．３、Ｃｏ２ｐ及びＣｏ２ｐ３
／２に関して０．５、Ｎｉ２ｐ及びＮｉ２ｐ３／２に関
して０．６、Ｃｕ２ｐ及びＣｕ２ｐ３／２に関して０．
４７、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓの２ｐ３／２に関して
０．４、第５周期元素であるＳｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍ
ｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄの３ｄに関して０．６、Ａｇ、Ｃ
ｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂの３ｄ５／２に関して０．７、第
６周期元素であるＣｓ、Ｂａの３ｄ５／２に関して０．
７、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｅｕの３ｄ５／２に関し
て０．６、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕの４ｆに関して０．
６、Ｐｂ、Ｂｉの４ｆ及び４ｆ７／２に関して０．６を
用いることを特徴としている（２）。
記ＸＰＳ定量分析法（１）における強度係数αa または
αi に、各第２周期元素の１ｓに関して０．５、第３周
期元素であるＮａ、Ｍｇの１ｓに関して０．５、各第３
周期元素の２ｐ、２ｓに関して０．７、第４周期元素で
あるＫ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖの２ｐに関して０．４
７、Ｃｒ２ｐに関して０．４７、Ｃｒ２ｐ３／２に関し
て０．４、Ｍｎ２ｐに関して０．４３、Ｆｅ２ｐ及びＦ
ｅ２ｐ３／２に関して０．３、Ｃｏ２ｐ及びＣｏ２ｐ３
／２に関して０．５、Ｎｉ２ｐ及びＮｉ２ｐ３／２に関
して０．６、Ｃｕ２ｐ及びＣｕ２ｐ３／２に関して０．
４７、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓの２ｐ３／２に関して
０．４、第５周期元素であるＳｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍ
ｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄの３ｄに関して０．６、Ａｇ、Ｃ
ｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂの３ｄ５／２に関して０．７、第
６周期元素であるＣｓ、Ｂａの３ｄ５／２に関して０．
７、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｅｕの３ｄ５／２に関し
て０．６、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕの４ｆに関して０．
６、Ｐｂ、Ｂｉの４ｆ及び４ｆ７／２に関して０．６を
用いることを特徴としている（２）。
【００１４】また本発明に係るＸＰＳ定量分析法は、上
記ＸＰＳ定量分析法（２）における各強度係数αa また
はαi に±２０％の範囲で加算することを特徴としてい
る（３）。
記ＸＰＳ定量分析法（２）における各強度係数αa また
はαi に±２０％の範囲で加算することを特徴としてい
る（３）。
【００１５】
【作用】図２は、従来のＸＰＳ定量分析法におけるピー
ク強度の求め方を説明するために示したＯ１ｓ近傍の光
電子スペクトル図であり、縦軸は光電子強度（単位時間
当りの光電子数等）、横軸は結合エネルギを示してい
る。Ｏ１ｓにおける主ピーク２１は結合エネルギが約５
４０ｅＶにおける非弾性散乱電子のバックグラウンド２
２上に表われており、従来のＸＰＳ定量分析法における
ピーク強度Ｉａ、Ｉｉとしては、例えば直線ａｂ上の斜
線部で示した主ピーク２１の積分面積ｓ1 が用いられて
いた。
ク強度の求め方を説明するために示したＯ１ｓ近傍の光
電子スペクトル図であり、縦軸は光電子強度（単位時間
当りの光電子数等）、横軸は結合エネルギを示してい
る。Ｏ１ｓにおける主ピーク２１は結合エネルギが約５
４０ｅＶにおける非弾性散乱電子のバックグラウンド２
２上に表われており、従来のＸＰＳ定量分析法における
ピーク強度Ｉａ、Ｉｉとしては、例えば直線ａｂ上の斜
線部で示した主ピーク２１の積分面積ｓ1 が用いられて
いた。
【００１６】しかし、本発明者等が非弾性散乱平均自由
行程以下の厚さを有する薄膜試料に関してＸＰＳ定量分
析を行い、非弾性散乱電子のバックグラウンド２２が存
在しない光電子スペクトルを検出した結果、図３に示し
たように例えばＯ１ｓにおける真の主ピーク２０には、
主ピーク２１から約数十〜約百エレクトロンボルト（ｅ
Ｖ）ほど高結合エネルギー側に亙るテール部２３が含ま
れていることを突き止めた。したがって真のピーク強度
としては、主ピーク２１の積分面積ｓ1 とテール部２３
の積分面積ｓ2 との和、すなわち真の主ピーク２０の積
分面積ｓ0 を使用すべきこととなる。
行程以下の厚さを有する薄膜試料に関してＸＰＳ定量分
析を行い、非弾性散乱電子のバックグラウンド２２が存
在しない光電子スペクトルを検出した結果、図３に示し
たように例えばＯ１ｓにおける真の主ピーク２０には、
主ピーク２１から約数十〜約百エレクトロンボルト（ｅ
Ｖ）ほど高結合エネルギー側に亙るテール部２３が含ま
れていることを突き止めた。したがって真のピーク強度
としては、主ピーク２１の積分面積ｓ1 とテール部２３
の積分面積ｓ2 との和、すなわち真の主ピーク２０の積
分面積ｓ0 を使用すべきこととなる。
【００１７】しかしながら実際的なＸＰＳ定量分析法で
は、図３に示したようにテール部２３はバックグラウン
ド２２に隠れてしまうため、主ピーク２１しか検出し難
く、真の主ピーク２０は検出し難いこととなる。
は、図３に示したようにテール部２３はバックグラウン
ド２２に隠れてしまうため、主ピーク２１しか検出し難
く、真の主ピーク２０は検出し難いこととなる。
【００１８】そこで、本発明者等はさらに多くの元素及
びその化合物について実験・検討を行い、次の結論を導
き出した。
びその化合物について実験・検討を行い、次の結論を導
き出した。
【００１９】１）真のピーク強度ＩａS 、ＩｉS に対す
るピーク強度Ｉａ、Ｉｉの比（以下、この比を強度係数
と記す）は結合状態に影響されることがなく、各元素ご
とに所定の値を有している。この場合、ピーク強度Ｉ
ａ、Ｉｉには、多電子過程によって随伴的に生じるＳＵ
Ｓピーク強度も含まれる。
るピーク強度Ｉａ、Ｉｉの比（以下、この比を強度係数
と記す）は結合状態に影響されることがなく、各元素ご
とに所定の値を有している。この場合、ピーク強度Ｉ
ａ、Ｉｉには、多電子過程によって随伴的に生じるＳＵ
Ｓピーク強度も含まれる。
【００２０】２）シャーレイ法を用いた場合に比べて直
線法を用いてバックグラウンド除去したほうが、結合形
態によるピーク形状の変化に対して前記強度係数が安定
した値を示す。
線法を用いてバックグラウンド除去したほうが、結合形
態によるピーク形状の変化に対して前記強度係数が安定
した値を示す。
【００２１】３）ＸＰＳ定量分析法における定量誤差範
囲は最小でも±１０％程度あり、この一因としては、感
度係数Ｓａ、Ｓｉにおける電子の非弾性散乱平均自由行
程λが未知試料では確定し難く、装置の感度特性ｆにお
ける精度が不十分なことが挙げられる。また主ピーク２
０、２１を積分する際、この積分の始点及び終点の設定
に測定者の任意性が入り易いことが挙げられる。このよ
うな場合、前記強度係数も測定誤差±１０％を許容する
範囲でなければ無意味であり、多くの標準試料により確
認した結果、強度係数は±２０％のばらつきがあっても
差し支えないことを突き止めた。
囲は最小でも±１０％程度あり、この一因としては、感
度係数Ｓａ、Ｓｉにおける電子の非弾性散乱平均自由行
程λが未知試料では確定し難く、装置の感度特性ｆにお
ける精度が不十分なことが挙げられる。また主ピーク２
０、２１を積分する際、この積分の始点及び終点の設定
に測定者の任意性が入り易いことが挙げられる。このよ
うな場合、前記強度係数も測定誤差±１０％を許容する
範囲でなければ無意味であり、多くの標準試料により確
認した結果、強度係数は±２０％のばらつきがあっても
差し支えないことを突き止めた。
【００２２】本発明に係るＸＰＳ定量分析法（１）によ
れば、直線法によりバックグラウンド除去した主ピー
ク、または主ピーク及びＳＵＳピークを積分してピーク
強度Ｉａ、Ｉｉを求め、該ピーク強度Ｉａ、Ｉｉを試料
を構成する元素の原子軌道別に設定した強度係数αa 、
αi で補正した感度係数Ｓａ、Ｓｉで除して元素ａの組
成Ｃａを求めるので、テール部のピーク強度も前記ピー
ク強度Ｉａ、Ｉｉに含め得ることとなる。したがって標
準試料に関する分析値との対比・補正を必要とすること
なく、固体試料を構成する多種類の元素を簡単、かつ確
実に定量し得ることとなる。
れば、直線法によりバックグラウンド除去した主ピー
ク、または主ピーク及びＳＵＳピークを積分してピーク
強度Ｉａ、Ｉｉを求め、該ピーク強度Ｉａ、Ｉｉを試料
を構成する元素の原子軌道別に設定した強度係数αa 、
αi で補正した感度係数Ｓａ、Ｓｉで除して元素ａの組
成Ｃａを求めるので、テール部のピーク強度も前記ピー
ク強度Ｉａ、Ｉｉに含め得ることとなる。したがって標
準試料に関する分析値との対比・補正を必要とすること
なく、固体試料を構成する多種類の元素を簡単、かつ確
実に定量し得ることとなる。
【００２３】また本発明に係るＸＰＳ定量分析法（２）
によれば、上記ＸＰＳ定量分析法（１）における強度係
数αa またはαi に、各第２周期元素の１ｓに関して
０．５、第３周期元素であるＮａ、Ｍｇの１ｓに関して
０．５、各第３周期元素の２ｐ、２ｓに関して０．７、
第４周期元素であるＫ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖの２ｐに
関して０．４７、Ｃｒ２ｐに関して０．４７、Ｃｒ２ｐ
３／２に関して０．４、Ｍｎ２ｐに関して０．４３、Ｆ
ｅ２ｐ及びＦｅ２ｐ３／２に関して０．３、Ｃｏ２ｐ及
びＣｏ２ｐ３／２に関して０．５、Ｎｉ２ｐ及びＮｉ２
ｐ３／２に関して０．６、Ｃｕ２ｐ及びＣｕ２ｐ３／２
に関して０．４７、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓの２ｐ３／
２に関して０．４、第５周期元素であるＳｒ、Ｙ、Ｚ
ｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄの３ｄに関して０．
６、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂの３ｄ５／２に関し
て０．７、第６周期元素であるＣｓ、Ｂａの３ｄ５／２
に関して０．７、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｅｕの３ｄ
５／２に関して０．６、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕの４ｆに
関して０．６、Ｐｂ、Ｂｉの４ｆ及び４ｆ７／２に関し
て０．６を用いるので、前記各元素を簡単、かつ確実に
定量し得ることとなる。
によれば、上記ＸＰＳ定量分析法（１）における強度係
数αa またはαi に、各第２周期元素の１ｓに関して
０．５、第３周期元素であるＮａ、Ｍｇの１ｓに関して
０．５、各第３周期元素の２ｐ、２ｓに関して０．７、
第４周期元素であるＫ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖの２ｐに
関して０．４７、Ｃｒ２ｐに関して０．４７、Ｃｒ２ｐ
３／２に関して０．４、Ｍｎ２ｐに関して０．４３、Ｆ
ｅ２ｐ及びＦｅ２ｐ３／２に関して０．３、Ｃｏ２ｐ及
びＣｏ２ｐ３／２に関して０．５、Ｎｉ２ｐ及びＮｉ２
ｐ３／２に関して０．６、Ｃｕ２ｐ及びＣｕ２ｐ３／２
に関して０．４７、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓの２ｐ３／
２に関して０．４、第５周期元素であるＳｒ、Ｙ、Ｚ
ｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄの３ｄに関して０．
６、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂの３ｄ５／２に関し
て０．７、第６周期元素であるＣｓ、Ｂａの３ｄ５／２
に関して０．７、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｅｕの３ｄ
５／２に関して０．６、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕの４ｆに
関して０．６、Ｐｂ、Ｂｉの４ｆ及び４ｆ７／２に関し
て０．６を用いるので、前記各元素を簡単、かつ確実に
定量し得ることとなる。
【００２４】また上記ＸＰＳ定量分析法（２）における
各強度係数αa またはαi に±２０％の範囲で加算する
場合には、電子の非弾性散乱平均自由行程λの確定が難
しく、装置の感度特性ｆにおける精度が不十分で、また
光電子ピークの積分時における始点及び終点の設定に測
定者の任意性が入り易くても、±１０％以内の精度で定
量し得ることとなる。
各強度係数αa またはαi に±２０％の範囲で加算する
場合には、電子の非弾性散乱平均自由行程λの確定が難
しく、装置の感度特性ｆにおける精度が不十分で、また
光電子ピークの積分時における始点及び終点の設定に測
定者の任意性が入り易くても、±１０％以内の精度で定
量し得ることとなる。
【００２５】
【実施例及び比較例】以下、本発明に係るＸＰＳ定量分
析法の実施例を図面に基づいて説明する。実施例に係る
ＸＰＳ定量分析法は、図４に示したものと同様の装置を
使用しており、ここではこの装置の構成及び使用方法の
詳細な説明は省略することとする。
析法の実施例を図面に基づいて説明する。実施例に係る
ＸＰＳ定量分析法は、図４に示したものと同様の装置を
使用しており、ここではこの装置の構成及び使用方法の
詳細な説明は省略することとする。
【００２６】次に実施例に係るＸＰＳ定量分析法によ
り、固体試料中におけるＮｉ元素の定量分析を行う場合
について説明する。図１はＸＹレコーダ１４ｂ（図４）
に検出・表示されたＮｉ２ｐ３／２近傍の光電子スペク
トルを模式的に示した図であり、図中３１はバックグラ
ウンドを示している。バックグラウンド３１上には、約
８５０ｅＶの結合エネルギの箇所にＮｉ２ｐ３／２の主
ピーク３２が表われており、また主ピーク３２の高結合
エネルギ側にＮｉ２ｐ３／２のＳＵＳピーク３３が表わ
れている。さらにＳＵＳピーク３３の高結合エネルギ側
にはＮｉ２ｐ１／２の主ピーク３４、Ｎｉ２ｐ１／２の
ＳＵＳピーク３５が連続的に表われている。Ｎｉ２ｐ３
／２のピーク強度ＩNi2p3/2 を求める場合、まず直線法
により主ピーク３２及びＳＵＳピーク３３下部における
両端部３２ａ、３３ａを設定し、両端部３２ａ、３３ａ
を結ぶ直線３４を設定する。すると、直線３４上の斜線
部で示した主ピーク３２及びＳＵＳピーク３３の積分面
積ｓが演算処理部１４において演算され、Ｎｉ２ｐ３／
２のピーク強度ＩNi2p3/2 が求められる。また固体試料
１６（図４）を構成するＮｉ２ｐ３／２以外の元素ｉに
関しても、同様にピーク強度Ｉｉを求められる。次に予
め設定・記憶されたＮｉ２ｐ３／２の感度係数Ｓａ、固
体試料１６を構成する元素ｉの感度係数Ｓｉ、Ｎｉ２ｐ
３／２の強度係数０．６、元素ｉの強度係数αi が呼び
出され、演算処理部１４において上記数１が演算され、
Ｎｉ元素の組成ＣNiが測定される。
り、固体試料中におけるＮｉ元素の定量分析を行う場合
について説明する。図１はＸＹレコーダ１４ｂ（図４）
に検出・表示されたＮｉ２ｐ３／２近傍の光電子スペク
トルを模式的に示した図であり、図中３１はバックグラ
ウンドを示している。バックグラウンド３１上には、約
８５０ｅＶの結合エネルギの箇所にＮｉ２ｐ３／２の主
ピーク３２が表われており、また主ピーク３２の高結合
エネルギ側にＮｉ２ｐ３／２のＳＵＳピーク３３が表わ
れている。さらにＳＵＳピーク３３の高結合エネルギ側
にはＮｉ２ｐ１／２の主ピーク３４、Ｎｉ２ｐ１／２の
ＳＵＳピーク３５が連続的に表われている。Ｎｉ２ｐ３
／２のピーク強度ＩNi2p3/2 を求める場合、まず直線法
により主ピーク３２及びＳＵＳピーク３３下部における
両端部３２ａ、３３ａを設定し、両端部３２ａ、３３ａ
を結ぶ直線３４を設定する。すると、直線３４上の斜線
部で示した主ピーク３２及びＳＵＳピーク３３の積分面
積ｓが演算処理部１４において演算され、Ｎｉ２ｐ３／
２のピーク強度ＩNi2p3/2 が求められる。また固体試料
１６（図４）を構成するＮｉ２ｐ３／２以外の元素ｉに
関しても、同様にピーク強度Ｉｉを求められる。次に予
め設定・記憶されたＮｉ２ｐ３／２の感度係数Ｓａ、固
体試料１６を構成する元素ｉの感度係数Ｓｉ、Ｎｉ２ｐ
３／２の強度係数０．６、元素ｉの強度係数αi が呼び
出され、演算処理部１４において上記数１が演算され、
Ｎｉ元素の組成ＣNiが測定される。
【００２７】以下に実施例に係るＸＰＳ定量分析法によ
り、種々の酸化物、窒化物、フッ化物、塩化物、水酸化
物、硫化物、有機物の固体試料について定量分析を行っ
た結果について説明する。装置はＶＧＥＳＣＡ３ＭＫII
を用い、Ｘ線源としてＡｌＫα（非単色化）を使用し
た。また測定時における装置の分解能は、アナライザー
エネルギーを２０ｅＶ一定、洗浄表面を有するＡｕ４ｆ
７／２の結合エネルギーを８３．７ｅＶ、ピークの半値
幅を１．２５ｅＶにそれぞれ設定した。また光イオン化
断面積σとしてはスコフィールドの計算値（J.H.Scofie
ld:J.Electron Spectrosco.Relat.Phenom,8(1976)12
9）、非弾性散乱平均自由行程λとしては光電子の運動
エネルギーの０．７５乗に比例する値（S.Tanuma,C.J.P
owell and D.R.Penn:Surf.Interface Anal.,20(1993)7
7) 、装置の感度特性ｆとしては光電子の運動エネルギ
ーの−１．２２乗に比例する値を用いた。また実施例１
０の場合、純鉄（８０Ｋ）上にＳＯ2 を１Ｌ（１×１０
-6Ｔｏｒｒ・ｓｅｃ）吸着させて測定した。また実施例
１５の場合、Ｘ線源にモノクロ化したＡｌＫα線を使用
した。また実施例４４の場合、水素Ｈは検出されないた
め、Ｃｓ、Ｏの２元素を定量した。なお比較例として従
来の数２を用いたＸＰＳ定量分析法により定量分析を行
った。
り、種々の酸化物、窒化物、フッ化物、塩化物、水酸化
物、硫化物、有機物の固体試料について定量分析を行っ
た結果について説明する。装置はＶＧＥＳＣＡ３ＭＫII
を用い、Ｘ線源としてＡｌＫα（非単色化）を使用し
た。また測定時における装置の分解能は、アナライザー
エネルギーを２０ｅＶ一定、洗浄表面を有するＡｕ４ｆ
７／２の結合エネルギーを８３．７ｅＶ、ピークの半値
幅を１．２５ｅＶにそれぞれ設定した。また光イオン化
断面積σとしてはスコフィールドの計算値（J.H.Scofie
ld:J.Electron Spectrosco.Relat.Phenom,8(1976)12
9）、非弾性散乱平均自由行程λとしては光電子の運動
エネルギーの０．７５乗に比例する値（S.Tanuma,C.J.P
owell and D.R.Penn:Surf.Interface Anal.,20(1993)7
7) 、装置の感度特性ｆとしては光電子の運動エネルギ
ーの−１．２２乗に比例する値を用いた。また実施例１
０の場合、純鉄（８０Ｋ）上にＳＯ2 を１Ｌ（１×１０
-6Ｔｏｒｒ・ｓｅｃ）吸着させて測定した。また実施例
１５の場合、Ｘ線源にモノクロ化したＡｌＫα線を使用
した。また実施例４４の場合、水素Ｈは検出されないた
め、Ｃｓ、Ｏの２元素を定量した。なお比較例として従
来の数２を用いたＸＰＳ定量分析法により定量分析を行
った。
【００２８】これらの結果を表１に示した。
【００２９】
【表１の１】
【００３０】
【表１の２】
【００３１】表１から明らかなように、比較例１〜比較
例５６の場合、測定誤差は２％〜３３％であったが、実
施例１〜実施例５６の場合、測定誤差は０％〜７．５％
であった。
例５６の場合、測定誤差は２％〜３３％であったが、実
施例１〜実施例５６の場合、測定誤差は０％〜７．５％
であった。
【００３２】上記結果及び説明から明らかなように、実
施例に係るＸＰＳ定量分析法では、テール部のピーク強
度もピーク強度Ｉａ、Ｉｉに含めることができ、したが
って標準試料に関する分析値との対比・補正を必要とす
ることなく、固体試料を構成する多種類の元素を簡単、
かつ確実に定量することができる。
施例に係るＸＰＳ定量分析法では、テール部のピーク強
度もピーク強度Ｉａ、Ｉｉに含めることができ、したが
って標準試料に関する分析値との対比・補正を必要とす
ることなく、固体試料を構成する多種類の元素を簡単、
かつ確実に定量することができる。
【００３３】また実施例に係るＸＰＳ定量分析法では、
Ｂ、Ｏ、Ｎ、Ｃ、Ｆ、Ｎａ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｐ、
Ｓ、Ｃｌ、Ｋ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃ
ｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｒ、Ｙ、
Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉ
ｎ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎ
ｄ、Ｅｕ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｂ、Ｂｉの各元素
を簡単、かつ確実に定量することができる。
Ｂ、Ｏ、Ｎ、Ｃ、Ｆ、Ｎａ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｐ、
Ｓ、Ｃｌ、Ｋ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃ
ｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｒ、Ｙ、
Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉ
ｎ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｃｓ、Ｂａ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎ
ｄ、Ｅｕ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｂ、Ｂｉの各元素
を簡単、かつ確実に定量することができる。
【００３４】また実施例に係るＸＰＳ定量分析法では、
電子の非弾性散乱平均自由行程λの確定が難しく、装置
の感度特性ｆにおける精度が不十分で、また光電子ピー
クの積分時における始点３２ａ及び終点３３ａの設定に
測定者の任意性が入り易くても、±１０％以内の精度で
定量することができる。
電子の非弾性散乱平均自由行程λの確定が難しく、装置
の感度特性ｆにおける精度が不十分で、また光電子ピー
クの積分時における始点３２ａ及び終点３３ａの設定に
測定者の任意性が入り易くても、±１０％以内の精度で
定量することができる。
【００３５】
【発明の効果】以上詳述したように本発明に係るＸＰＳ
定量分析法（１）にあっては、直線法によりバックグラ
ウンド除去した主ピーク、または主ピーク及びＳＵＳピ
ークを積分してピーク強度Ｉａ、Ｉｉを求め、該ピーク
強度Ｉａ、Ｉｉを試料を構成する元素の原子軌道別に設
定した強度係数αa 、αi で補正した感度係数Ｓａ、Ｓ
ｉで除して元素ａの組成Ｃａを求めるので、テール部の
ピーク強度も前記ピーク強度Ｉａ、Ｉｉに含めることが
できる。したがって標準試料に関する分析値との対比・
補正を必要とすることなく、固体試料を構成する多種類
の元素を簡単、かつ確実に定量することができる。
定量分析法（１）にあっては、直線法によりバックグラ
ウンド除去した主ピーク、または主ピーク及びＳＵＳピ
ークを積分してピーク強度Ｉａ、Ｉｉを求め、該ピーク
強度Ｉａ、Ｉｉを試料を構成する元素の原子軌道別に設
定した強度係数αa 、αi で補正した感度係数Ｓａ、Ｓ
ｉで除して元素ａの組成Ｃａを求めるので、テール部の
ピーク強度も前記ピーク強度Ｉａ、Ｉｉに含めることが
できる。したがって標準試料に関する分析値との対比・
補正を必要とすることなく、固体試料を構成する多種類
の元素を簡単、かつ確実に定量することができる。
【００３６】また本発明に係るＸＰＳ定量分析法（２）
にあっては、上記ＸＰＳ定量分析法（１）における強度
係数αa またはαi に、各第２周期元素の１ｓに関して
０．５、第３周期元素であるＮａ、Ｍｇの１ｓに関して
０．５、各第３周期元素の２ｐ、２ｓに関して０．７、
第４周期元素であるＫ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖの２ｐに
関して０．４７、Ｃｒ２ｐに関して０．４７、Ｃｒ２ｐ
３／２に関して０．４、Ｍｎ２ｐに関して０．４３、Ｆ
ｅ２ｐ及びＦｅ２ｐ３／２に関して０．３、Ｃｏ２ｐ及
びＣｏ２ｐ３／２に関して０．５、Ｎｉ２ｐ及びＮｉ２
ｐ３／２に関して０．６、Ｃｕ２ｐ及びＣｕ２ｐ３／２
に関して０．４７、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓの２ｐ３／
２に関して０．４、第５周期元素であるＳｒ、Ｙ、Ｚ
ｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄの３ｄに関して０．
６、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂの３ｄ５／２に関し
て０．７、第６周期元素であるＣｓ、Ｂａの３ｄ５／２
に関して０．７、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｅｕの３ｄ
５／２に関して０．６、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕの４ｆに
関して０．６、Ｐｂ、Ｂｉの４ｆ及び４ｆ７／２に関し
て０．６を用いるので、前記各元素を簡単、かつ確実に
定量することができる。
にあっては、上記ＸＰＳ定量分析法（１）における強度
係数αa またはαi に、各第２周期元素の１ｓに関して
０．５、第３周期元素であるＮａ、Ｍｇの１ｓに関して
０．５、各第３周期元素の２ｐ、２ｓに関して０．７、
第４周期元素であるＫ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖの２ｐに
関して０．４７、Ｃｒ２ｐに関して０．４７、Ｃｒ２ｐ
３／２に関して０．４、Ｍｎ２ｐに関して０．４３、Ｆ
ｅ２ｐ及びＦｅ２ｐ３／２に関して０．３、Ｃｏ２ｐ及
びＣｏ２ｐ３／２に関して０．５、Ｎｉ２ｐ及びＮｉ２
ｐ３／２に関して０．６、Ｃｕ２ｐ及びＣｕ２ｐ３／２
に関して０．４７、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓの２ｐ３／
２に関して０．４、第５周期元素であるＳｒ、Ｙ、Ｚ
ｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄの３ｄに関して０．
６、Ａｇ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂの３ｄ５／２に関し
て０．７、第６周期元素であるＣｓ、Ｂａの３ｄ５／２
に関して０．７、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｅｕの３ｄ
５／２に関して０．６、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕの４ｆに
関して０．６、Ｐｂ、Ｂｉの４ｆ及び４ｆ７／２に関し
て０．６を用いるので、前記各元素を簡単、かつ確実に
定量することができる。
【００３７】また上記ＸＰＳ定量分析法（２）における
各強度係数αa またはαi に±２０％の範囲で加算する
場合には、電子の非弾性散乱平均自由行程λの確定が難
しく、装置の感度特性ｆにおける精度が不十分で、また
光電子ピークの積分時における始点及び終点の設定に測
定者の任意性が入り易くても、±１０％以内の精度で定
量することができる。
各強度係数αa またはαi に±２０％の範囲で加算する
場合には、電子の非弾性散乱平均自由行程λの確定が難
しく、装置の感度特性ｆにおける精度が不十分で、また
光電子ピークの積分時における始点及び終点の設定に測
定者の任意性が入り易くても、±１０％以内の精度で定
量することができる。
【図１】本発明に係るＸＰＳ定量分析法の一実施例を説
明するために模式的に示したＮｉ２ｐ３／２近傍の光電
子スペクトル図であり、縦軸は光電子強度、横軸は結合
エネルギを示している。
明するために模式的に示したＮｉ２ｐ３／２近傍の光電
子スペクトル図であり、縦軸は光電子強度、横軸は結合
エネルギを示している。
【図２】従来のＸＰＳ定量分析法におけるピーク強度の
求め方を説明するために示したＯ１ｓ近傍の光電子スペ
クトル図であり、縦軸は光電子強度、横軸は結合エネル
ギを示している。
求め方を説明するために示したＯ１ｓ近傍の光電子スペ
クトル図であり、縦軸は光電子強度、横軸は結合エネル
ギを示している。
【図３】本発明に係るＸＰＳ定量分析法における真のピ
ーク強度の求め方を説明するために示したＯ１ｓ近傍の
光電子スペクトル図であり、縦軸は光電子強度、横軸は
結合エネルギを示している。
ーク強度の求め方を説明するために示したＯ１ｓ近傍の
光電子スペクトル図であり、縦軸は光電子強度、横軸は
結合エネルギを示している。
【図４】実施例及び従来から用いられているＸＰＳ分析
装置を模式的に示した断面図である。
装置を模式的に示した断面図である。
３１ バックグラウンド ３２ Ｎｉ２ｐ３／２の主ピーク ３３ Ｎｉ２ｐ３／２のＳＵＳ（シェイクアップサテラ
イト）ピーク
イト）ピーク
Claims (3)
- 【請求項１】 下記の数１を用いて元素ａの組成Ｃａを
求めるＸＰＳ定量分析法であって、直線法によりバック
グラウンド除去した主ピーク、または主ピーク及びシェ
イクアップサテライトピークを積分してピーク強度Ｉ
ａ、Ｉｉを求め、該ピーク強度Ｉａ、Ｉｉを試料を構成
する元素の原子軌道別に設定した強度係数αa 、αi で
補正した感度係数Ｓａ、Ｓｉで除して元素ａの組成Ｃａ
を求めることを特徴とするＸＰＳ定量分析法。 【数１】 - 【請求項２】 請求項１記載の強度係数αa またはαi
に、各第２周期元素の１ｓに関して０．５、第３周期元
素であるＮａ、Ｍｇの１ｓに関して０．５、各第３周期
元素の２ｐ、２ｓに関して０．７、第４周期元素である
Ｋ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖの２ｐに関して０．４７、Ｃ
ｒ２ｐに関して０．４７、Ｃｒ２ｐ３／２に関して０．
４、Ｍｎ２ｐに関して０．４３、Ｆｅ２ｐ及びＦｅ２ｐ
３／２に関して０．３、Ｃｏ２ｐ及びＣｏ２ｐ３／２に
関して０．５、Ｎｉ２ｐ及びＮｉ２ｐ３／２に関して
０．６、Ｃｕ２ｐ及びＣｕ２ｐ３／２に関して０．４
７、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｓの２ｐ３／２に関して０．
４、第５周期元素であるＳｒ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、
Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄの３ｄに関して０．６、Ａｇ、Ｃｄ、
Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂの３ｄ５／２に関して０．７、第６周
期元素であるＣｓ、Ｂａの３ｄ５／２に関して０．７、
Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｅｕの３ｄ５／２に関して
０．６、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ａｕの４ｆに関して０．６、
Ｐｂ、Ｂｉの４ｆ及び４ｆ７／２に関して０．６を用い
ることを特徴とするＸＰＳ定量分析法。 - 【請求項３】 請求項２記載の各強度係数αa またはα
i に±２０％の範囲で加算することを特徴とするＸＰＳ
定量分析法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6245498A JPH08110313A (ja) | 1994-10-11 | 1994-10-11 | Ｘｐｓ定量分析法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6245498A JPH08110313A (ja) | 1994-10-11 | 1994-10-11 | Ｘｐｓ定量分析法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08110313A true JPH08110313A (ja) | 1996-04-30 |
Family
ID=17134568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6245498A Pending JPH08110313A (ja) | 1994-10-11 | 1994-10-11 | Ｘｐｓ定量分析法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08110313A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007178445A (ja) * | 2007-03-05 | 2007-07-12 | Jeol Ltd | 試料分析装置における定量分析方法 |
| EP3486641A1 (en) | 2017-11-09 | 2019-05-22 | Jeol Ltd. | Data processing apparatus and data processing method |
-
1994
- 1994-10-11 JP JP6245498A patent/JPH08110313A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007178445A (ja) * | 2007-03-05 | 2007-07-12 | Jeol Ltd | 試料分析装置における定量分析方法 |
| EP3486641A1 (en) | 2017-11-09 | 2019-05-22 | Jeol Ltd. | Data processing apparatus and data processing method |
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