JP2008026251A - X線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の分析対象元素の中で濃度の低い順に、より高い感度での分析が可能な分光結晶と特性X線の種類の組合せを選択し(S2、S3)、選択した分光結晶が装置に装備されているか否か、既に他の分析対象元素に割り当てられているか否か、さらには選択された特性X線に他の元素の特性X線の重畳がないかどうか、をそれぞれチェックし(S4〜S7)、問題がなければ選択された分光結晶(X線分光器)に分析対象元素を登録する(S9)。これを濃度の低い順に繰り返して、全元素をX線分光器に割り当てる。
【選択図】図3
Description
a)各種元素について特性X線の種類と分光結晶の種類との組合せと検出強度との関係を示す情報を保持しておく特性X線強度情報保持手段と、
b)試料に含まれる種類及び濃度が既知である複数の分析対象元素の中で、濃度の低い順に分析対象元素を選択し、前記特性X線強度情報保持手段に保持されている情報を参照して、当該装置に装備されており且つ他の分析対象元素に割り当てられていないとの条件の下に、最も高い感度で検出が可能な特性X線の種類とX線分光器との組合せを見い出す選択処理手段と、
c)該選択処理手段により選択された特性X線の種類に対し重畳する他の分析対象元素の特性X線の有無を調べる重畳判定手段と、
d)前記重畳判定手段により重畳する特性X線が無いと判定された場合に、前記選択処理手段により選択されたX線分光器と当該分析対象元素とを対応付けて登録するとともに、重畳する特性X線が有ると判定された場合には、前記選択処理手段による選択処理の再実行を指示する登録処理手段と、
を備えることを特徴としている。
I1=I0 ×r
により算出する(ステップS26)。
R=I1/I2
により求める(ステップS28)。つまり、このRが分析対象元素の特性X線ピークに対する重畳ピークの影響の程度を判定する指標値である。したがって、このRが一定比率以上であるか否かを判定し(ステップS29)、Rが一定比率以上であれば他の元素の特性X線が重畳していると判断する(ステップS31)。即ち、ステップS31の処理が為された場合には、上記ステップS7の判定処理ではYesとなる。Rが一定比率未満であれば、少なくともこの重畳ピークを持つ元素については重畳していないとみなせるから、次に上述したステップS30に進む。
2…偏向コイル
3…対物レンズ
4…試料ステージ
5…試料ステージ駆動部
6a、6b…X線分光器
61a、61b…分光結晶
62a、62b…結晶移動直線
63a、63b…X線検出器
64a、64b…スリット
10…制御部
11…データ処理部
12…偏向コイル制御部
13…操作部
14…表示部
20…分析条件決定処理部
21…特性X線強度比表
22…特性X線波長表
23…分析元素リスト
E…電子線
S…試料
Claims (2)
- 試料に励起線を照射しそれに応じて該試料から放出された特性X線を分光結晶により波長分散して特定の波長の特性X線を検出するX線分析装置であって、分光特性の相違する分光結晶を搭載したX線分光器を2つ以上併設し、それぞれのX線分光器における分析対象波長をそれぞれ所定値に設定して試料から放出された特性X線を並行的に検出する波長分散型のX線分析装置において、
a)各種元素について特性X線の種類と分光結晶の種類との組合せと検出強度との関係を示す情報を保持しておく特性X線強度情報保持手段と、
b)試料に含まれる種類及び濃度が既知である複数の分析対象元素の中で、濃度の低い順に分析対象元素を選択し、前記特性X線強度情報保持手段に保持されている情報を参照して、当該装置に装備されており且つ他の分析対象元素に割り当てられていないとの条件の下に、最も高い感度で検出が可能な特性X線の種類とX線分光器との組合せを見い出す選択処理手段と、
c)該選択処理手段により選択された特性X線の種類に対し重畳する他の分析対象元素の特性X線の有無を調べる重畳判定手段と、
d)前記重畳判定手段により重畳する特性X線が無いと判定された場合に、前記選択処理手段により選択されたX線分光器と当該分析対象元素とを対応付けて登録するとともに、重畳する特性X線が有ると判定された場合には、前記選択処理手段による選択処理の再実行を指示する登録処理手段と、
を備えることを特徴とするX線分析装置。 - 分光結晶の種類毎に、測定可能な各元素について、測定可能な特性X線の種類、波長、及び検出強度に関わる情報を保持しておく特性X線波長情報保持手段を備え、前記重畳判定手段は、各分析対象元素の濃度と前記特性X線波長情報保持手段に保持されている情報とに基づいて、目的元素の特性X線に対し重畳する他の分析対象元素の重畳の有無を判断することを特徴とする請求項1に記載のX線分析装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2006
- 2006-07-25 JP JP2006201727A patent/JP4788512B2/ja active Active
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JP7159700B2 (ja) | 2018-08-30 | 2022-10-25 | 株式会社島津製作所 | X線分析装置 |
CN110873725B (zh) * | 2018-08-30 | 2022-11-25 | 株式会社岛津制作所 | X射线分析装置 |
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JP7153324B2 (ja) | 2018-10-25 | 2022-10-14 | 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 | 元素分析方法 |
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