JP4788512B2 - X線分析装置 - Google Patents
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Description
a)各種元素について特性X線の種類と分光結晶の種類との組合せと検出強度との関係を示す情報を保持しておく特性X線強度情報保持手段と、
b)試料に含まれる種類及び濃度が既知である複数の分析対象元素の中から分析対象元素を選択し、前記特性X線強度情報保持手段に保持されている情報を参照して、当該装置に装備されており且つ他の分析対象元素に割り当てられていないとの条件の下に、最も高い感度で検出が可能な特性X線の種類とX線分光器との組合せを見い出す選択処理手段と、
c)該選択処理手段により選択された分析対象元素について見い出された特性X線の種類に対し、重畳する他の分析対象元素の特性X線の有無を調べる重畳判定手段と、
d)前記重畳判定手段により重畳する特性X線が無いと判定された場合に、前記選択処理手段により選択された分析対象元素と該元素について見い出されたX線分光器とを対応付けて登録する一方、重畳する特性X線が有ると判定された場合には、重畳する特性X線が有ると判定された組合せを除外して、前記選択処理手段による当該分析対象元素についての特性X線の種類とX線分光器の組合せの探索、前記重畳判定手段による判定、及び該判定手段に基づく当該手段による処理の再実行を指示する登録処理手段と、
を備え、前記選択処理手段、前記重畳判定手段、及び前記登録処理手段による各処理を前記複数の分析対象元素の中で濃度が低いものから開始し、前記登録処理手段による登録が終了する毎に、次に濃度が低い分析対象元素を対象とするように前記各処理を繰り返すことを特徴としている。
I1=I0 ×r
により算出する(ステップS26)。
R=I1/I2
により求める(ステップS28)。つまり、このRが分析対象元素の特性X線ピークに対する重畳ピークの影響の程度を判定する指標値である。したがって、このRが一定比率以上であるか否かを判定し(ステップS29)、Rが一定比率以上であれば他の元素の特性X線が重畳していると判断する(ステップS31)。即ち、ステップS31の処理が為された場合には、上記ステップS7の判定処理ではYesとなる。Rが一定比率未満であれば、少なくともこの重畳ピークを持つ元素については重畳していないとみなせるから、次に上述したステップS30に進む。
2…偏向コイル
3…対物レンズ
4…試料ステージ
5…試料ステージ駆動部
6a、6b…X線分光器
61a、61b…分光結晶
62a、62b…結晶移動直線
63a、63b…X線検出器
64a、64b…スリット
10…制御部
11…データ処理部
12…偏向コイル制御部
13…操作部
14…表示部
20…分析条件決定処理部
21…特性X線強度比表
22…特性X線波長表
23…分析元素リスト
E…電子線
S…試料
Claims (2)
- 試料に励起線を照射しそれに応じて該試料から放出された特性X線を分光結晶により波長分散して特定の波長の特性X線を検出するX線分析装置であって、分光特性の相違する分光結晶を搭載したX線分光器を2つ以上併設し、それぞれのX線分光器における分析対象波長をそれぞれ所定値に設定して試料から放出された特性X線を並行的に検出する波長分散型のX線分析装置において、
a)各種元素について特性X線の種類と分光結晶の種類との組合せと検出強度との関係を示す情報を保持しておく特性X線強度情報保持手段と、
b)試料に含まれる種類及び濃度が既知である複数の分析対象元素の中から分析対象元素を選択し、前記特性X線強度情報保持手段に保持されている情報を参照して、当該装置に装備されており且つ他の分析対象元素に割り当てられていないとの条件の下に、最も高い感度で検出が可能な特性X線の種類とX線分光器との組合せを見い出す選択処理手段と、
c)該選択処理手段により選択された分析対象元素について見い出された特性X線の種類に対し、重畳する他の分析対象元素の特性X線の有無を調べる重畳判定手段と、
d)前記重畳判定手段により重畳する特性X線が無いと判定された場合に、前記選択処理手段により選択された分析対象元素と該元素について見い出されたX線分光器とを対応付けて登録する一方、重畳する特性X線が有ると判定された場合には、重畳する特性X線が有ると判定された組合せを除外して、前記選択処理手段による当該分析対象元素についての特性X線の種類とX線分光器の組合せの探索、前記重畳判定手段による判定、及び該判定手段に基づく当該手段による処理の再実行を指示する登録処理手段と、
を備え、前記選択処理手段、前記重畳判定手段、及び前記登録処理手段による各処理を前記複数の分析対象元素の中で濃度が低いものから開始し、前記登録処理手段による登録が終了する毎に、次に濃度が低い分析対象元素を対象とするように前記各処理を繰り返すことを特徴とするX線分析装置。 - 分光結晶の種類毎に、測定可能な各元素について、測定可能な特性X線の種類、波長、及び検出強度に関わる情報を保持しておく特性X線波長情報保持手段を備え、前記重畳判定手段は、各分析対象元素の濃度と前記特性X線波長情報保持手段に保持されている情報とに基づいて、目的元素の特性X線に対し重畳する他の分析対象元素の重畳の有無を判断することを特徴とする請求項1に記載のX線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006201727A JP4788512B2 (ja) | 2006-07-25 | 2006-07-25 | X線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006201727A JP4788512B2 (ja) | 2006-07-25 | 2006-07-25 | X線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008026251A JP2008026251A (ja) | 2008-02-07 |
JP4788512B2 true JP4788512B2 (ja) | 2011-10-05 |
Family
ID=39117019
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006201727A Active JP4788512B2 (ja) | 2006-07-25 | 2006-07-25 | X線分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (2)
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JP7153324B2 (ja) * | 2018-10-25 | 2022-10-14 | 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 | 元素分析方法 |
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JPH073396B2 (ja) * | 1987-01-10 | 1995-01-18 | 日本電子株式会社 | X線マイクロアナライザにおける分光結晶自動選択方法 |
JP2634464B2 (ja) * | 1989-05-23 | 1997-07-23 | 株式会社島津製作所 | 自動定性分析装置 |
JP3143302B2 (ja) * | 1993-12-27 | 2001-03-07 | 日本電子株式会社 | X線マイクロアナライザ |
-
2006
- 2006-07-25 JP JP2006201727A patent/JP4788512B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008026251A (ja) | 2008-02-07 |
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