JPH07128260A - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPH07128260A JPH07128260A JP5271462A JP27146293A JPH07128260A JP H07128260 A JPH07128260 A JP H07128260A JP 5271462 A JP5271462 A JP 5271462A JP 27146293 A JP27146293 A JP 27146293A JP H07128260 A JPH07128260 A JP H07128260A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 近接スペクトル線の分離を自動的に行えるよ
うにし、スペクトル線強度をより正確に決定して分析精
度を高める。 【構成】 同一のピークに対して複数の異なる元素のス
ペクトル線が同定されると、重なって同定された２本の
スペクトル線の理論波長位置から算出される波長間隔
が、予め定めた値よりも大きいときに、分離が可能であ
ると判断し、両スペクトル線の波長位置を固定すること
なく、波長間隔を固定して関数フィッティング計算を行
ってスペクトル線の分離を行うようにしている。
うにし、スペクトル線強度をより正確に決定して分析精
度を高める。 【構成】 同一のピークに対して複数の異なる元素のス
ペクトル線が同定されると、重なって同定された２本の
スペクトル線の理論波長位置から算出される波長間隔
が、予め定めた値よりも大きいときに、分離が可能であ
ると判断し、両スペクトル線の波長位置を固定すること
なく、波長間隔を固定して関数フィッティング計算を行
ってスペクトル線の分離を行うようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光Ｘ線分析装置に関
し、さらに詳しくは、近接したスペクトル線を分離する
技術に関する。
し、さらに詳しくは、近接したスペクトル線を分離する
技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、蛍光Ｘ線分析装置では、試料表
面に一次Ｘ線を照射することによって発生する蛍光Ｘ線
を、複数の分光結晶を用いて各元素に対応する波長成分
をもつスペクトルに分光し、分光されたＸ線をＸ線検出
器で検出し、得られたスペクトル波形に対して、統計誤
差を除去するスムージング処理、測定したデータに含ま
れるバックグラウンド強度を除去するバックグラウンド
除去、測定データ中のピークを検出してピーク位置・ピ
ーク強度・バックグラウンド強度を計算するピークサー
チ処理を行う。
面に一次Ｘ線を照射することによって発生する蛍光Ｘ線
を、複数の分光結晶を用いて各元素に対応する波長成分
をもつスペクトルに分光し、分光されたＸ線をＸ線検出
器で検出し、得られたスペクトル波形に対して、統計誤
差を除去するスムージング処理、測定したデータに含ま
れるバックグラウンド強度を除去するバックグラウンド
除去、測定データ中のピークを検出してピーク位置・ピ
ーク強度・バックグラウンド強度を計算するピークサー
チ処理を行う。
【０００３】さらに、検出されたピークに対して、通
常、ピーク強度の高い順に、予め記憶されている波長テ
ーブルを使って元素名とスペクトル線名とを同定すると
ともに、その元素の他のスペクトル線についても同定す
る。このとき、予め記憶されている各元素の線強度比テ
ーブルを使ってそのピーク内に占めるスペクトル線の強
度を見積って差し引き、残分があれば、他の元素のスペ
クトル線が重なっていると想定し、再び残分ピークに対
し同定を進め、かかる同定処理を全ピークに対して繰り
返すことにより、各ピークに対する元素名、スペクトル
線名および強度値を得ている。また、検出された元素と
その元素のメインとなるスペクトル線の強度値を使って
各元素の定量計算を実行することができる。
常、ピーク強度の高い順に、予め記憶されている波長テ
ーブルを使って元素名とスペクトル線名とを同定すると
ともに、その元素の他のスペクトル線についても同定す
る。このとき、予め記憶されている各元素の線強度比テ
ーブルを使ってそのピーク内に占めるスペクトル線の強
度を見積って差し引き、残分があれば、他の元素のスペ
クトル線が重なっていると想定し、再び残分ピークに対
し同定を進め、かかる同定処理を全ピークに対して繰り
返すことにより、各ピークに対する元素名、スペクトル
線名および強度値を得ている。また、検出された元素と
その元素のメインとなるスペクトル線の強度値を使って
各元素の定量計算を実行することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来例では、スペクトル線の同定処理において、あるピ
ークに対して、２種以上の元素のスペクトル線が重なっ
て同定されたとき、つまり、異なる元素のスペクトル線
がかなり近接している状態のときには、観測されるスペ
クトル線は、互いに強度に影響を及ぼし合って実際の強
度よりも増加するのに対して、各元素のスペクトル線の
強度を計算する際に用いる線強度比テーブルの線強度比
は、近接線の影響がない状態で求められているために、
同定処理の結果得られるスペクトル線の強度値は、誤差
を含むことになる。
従来例では、スペクトル線の同定処理において、あるピ
ークに対して、２種以上の元素のスペクトル線が重なっ
て同定されたとき、つまり、異なる元素のスペクトル線
がかなり近接している状態のときには、観測されるスペ
クトル線は、互いに強度に影響を及ぼし合って実際の強
度よりも増加するのに対して、各元素のスペクトル線の
強度を計算する際に用いる線強度比テーブルの線強度比
は、近接線の影響がない状態で求められているために、
同定処理の結果得られるスペクトル線の強度値は、誤差
を含むことになる。
【０００５】本発明は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、近接スペクトル線の分離を自動的に行えるよ
うにし、スペクトル線強度をより正確に決定して分析精
度を高めることを目的とする。
であって、近接スペクトル線の分離を自動的に行えるよ
うにし、スペクトル線強度をより正確に決定して分析精
度を高めることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。
を達成するために、次のように構成している。
【０００７】すなわち、本発明は、測定されたスペクト
ル波形からピークを検出して元素のスペクトル線を同定
する蛍光Ｘ線分析装置において、同一のピークに対して
複数の異なる元素のスペクトル線が重なって同定された
ときに、関数フィッティング計算によってスペクトル線
を分離する分離手段を備え、該分離手段は、重なって同
定された２本のスペクトル線の理論波長位置から算出さ
れる波長間隔が、予め定めた値よりも大きいときに、両
スペクトル線の波長位置を固定することなく、前記波長
間隔を固定して関数フィッティング計算を行うようにし
ている。
ル波形からピークを検出して元素のスペクトル線を同定
する蛍光Ｘ線分析装置において、同一のピークに対して
複数の異なる元素のスペクトル線が重なって同定された
ときに、関数フィッティング計算によってスペクトル線
を分離する分離手段を備え、該分離手段は、重なって同
定された２本のスペクトル線の理論波長位置から算出さ
れる波長間隔が、予め定めた値よりも大きいときに、両
スペクトル線の波長位置を固定することなく、前記波長
間隔を固定して関数フィッティング計算を行うようにし
ている。
【０００８】
【作用】上記構成によれば、同一のピークに対して複数
の異なる元素のスペクトル線が同定されると、関数フィ
ッティング計算によってスペクトル線が分離され、より
真値に近いスペクトル線の強度値を得ることができる。
の異なる元素のスペクトル線が同定されると、関数フィ
ッティング計算によってスペクトル線が分離され、より
真値に近いスペクトル線の強度値を得ることができる。
【０００９】
【実施例】以下、図面によって本発明の実施例につい
て、詳細に説明する。
て、詳細に説明する。
【００１０】図１は、本発明の一実施例の蛍光Ｘ線分析
装置の概略構成図であり、同図において、１はＸ線管、
２は試料、３は一次ソーラスリット、４は分光器、５は
二次ソーラスリット、６はＸ線検出器、７はデータを解
析処理するとともに、後述のように近接スペクトル線を
分離する分離手段としての機能を有するコンピュータ、
８は分析結果を表示するＣＲＴなどの表示部である。
装置の概略構成図であり、同図において、１はＸ線管、
２は試料、３は一次ソーラスリット、４は分光器、５は
二次ソーラスリット、６はＸ線検出器、７はデータを解
析処理するとともに、後述のように近接スペクトル線を
分離する分離手段としての機能を有するコンピュータ、
８は分析結果を表示するＣＲＴなどの表示部である。
【００１１】かかる蛍光Ｘ線分析装置では、Ｘ線管１か
らの一次Ｘ線を試料２に照射し、これに応じて試料２か
ら発生する蛍光Ｘ線を一次ソーラスリット３を介して分
光器４に導いて各元素に対応する波長成分をもつスペク
トルに分光し、分光されたＸ線を二次ソーラスリット５
を介してＸ線検出器６で検出するものである。
らの一次Ｘ線を試料２に照射し、これに応じて試料２か
ら発生する蛍光Ｘ線を一次ソーラスリット３を介して分
光器４に導いて各元素に対応する波長成分をもつスペク
トルに分光し、分光されたＸ線を二次ソーラスリット５
を介してＸ線検出器６で検出するものである。
【００１２】このＸ線検出器６の出力が与えられるコン
ピュータ７では、図２のフローチャートで示される手順
に従ってデータの解析処理が行われる。
ピュータ７では、図２のフローチャートで示される手順
に従ってデータの解析処理が行われる。
【００１３】すなわち、測定されたスペクトル波形に対
して、統計誤差を除去するためにスムージング処理を行
い（ステップｎ１）、測定データに含まれるバックグラ
ウンド強度を除去し（ステップｎ２）、さらに、測定デ
ータ中のピークを検出し、ピーク位置・ピーク強度・バ
ックグラウンド強度を計算するピークサーチ処理を行い
（ステップｎ３）、検出されたピークに対して、予め記
憶されている波長テーブルおよび線強度比テーブルを使
って元素名とスペクトル線名とを同定し（ステップｎ
４）、その元素同定処理結果を表示部８に出力する。以
上の各処理は、従来例と同様である。この実施例では、
近接したスペクトル線を分離してその強度をより正確に
決定して分析精度を高めるために、以下の処理を行うよ
うにしている。
して、統計誤差を除去するためにスムージング処理を行
い（ステップｎ１）、測定データに含まれるバックグラ
ウンド強度を除去し（ステップｎ２）、さらに、測定デ
ータ中のピークを検出し、ピーク位置・ピーク強度・バ
ックグラウンド強度を計算するピークサーチ処理を行い
（ステップｎ３）、検出されたピークに対して、予め記
憶されている波長テーブルおよび線強度比テーブルを使
って元素名とスペクトル線名とを同定し（ステップｎ
４）、その元素同定処理結果を表示部８に出力する。以
上の各処理は、従来例と同様である。この実施例では、
近接したスペクトル線を分離してその強度をより正確に
決定して分析精度を高めるために、以下の処理を行うよ
うにしている。
【００１４】すなわち、先ず、ピークの番号を示すＮに
１を設定し（ステップｎ５）、ピークＮは、複数の元素
のスペクトル線が同定されているか否かを判断し（ステ
ップｎ６）、複数の元素のスペクトル線が同定されてい
れば、例えば、図３に示されるように、一つのピークに
対して２つの元素のスペクトル線Ａ，Ｂが同定されてい
れば、各元素のスペクトル線Ａ，Ｂの理論波長位置
λA，λBを波長テーブルから読み込む（ステップｎ
７）。
１を設定し（ステップｎ５）、ピークＮは、複数の元素
のスペクトル線が同定されているか否かを判断し（ステ
ップｎ６）、複数の元素のスペクトル線が同定されてい
れば、例えば、図３に示されるように、一つのピークに
対して２つの元素のスペクトル線Ａ，Ｂが同定されてい
れば、各元素のスペクトル線Ａ，Ｂの理論波長位置
λA，λBを波長テーブルから読み込む（ステップｎ
７）。
【００１５】次に、２つの元素のスペクトル線の波長間
隔Ｄ＝｜λA−λB｜を演算し（ステップｎ８）、この波
長間隔Ｄが、予め定めた値ηよりも小さいか否かを判断
し（ステップｎ９）、小さくないと判断したときには、
ステップｎ１０に移って以下の関数フィッティング計算
を行う。このステップｎ９における判断は、スペクトル
線の波長間隔Ｄが、あまり小さすぎると、分離計算が実
行できないからであり、この実施例では、予め定めた値
ηは、対象としている波長域で分光されるスペクトル線
の標準半値幅から実験によって求めておく。
隔Ｄ＝｜λA−λB｜を演算し（ステップｎ８）、この波
長間隔Ｄが、予め定めた値ηよりも小さいか否かを判断
し（ステップｎ９）、小さくないと判断したときには、
ステップｎ１０に移って以下の関数フィッティング計算
を行う。このステップｎ９における判断は、スペクトル
線の波長間隔Ｄが、あまり小さすぎると、分離計算が実
行できないからであり、この実施例では、予め定めた値
ηは、対象としている波長域で分光されるスペクトル線
の標準半値幅から実験によって求めておく。
【００１６】ステップｎ１０では、フィッティング範囲
を決定し、ステップｎ１１に移る。この実施例では、図
４に示されるように、バックグラウンドから一定値以上
をフィッティング範囲Ｆとしている。なお、図４におい
て、Ｌはバックグラウンド直線である。
を決定し、ステップｎ１１に移る。この実施例では、図
４に示されるように、バックグラウンドから一定値以上
をフィッティング範囲Ｆとしている。なお、図４におい
て、Ｌはバックグラウンド直線である。
【００１７】次に、ステップｎ１１では、関数フィッテ
ィング計算を行って各元素のスペクトル線Ａ，Ｂの関数
を求める。この関数フィッティング計算においては、各
元素のスペクトル線の波長位置（角度）は固定すること
なく、波長間隔（角度間隔）Ｄを固定して行っている。
このように波長位置を固定するのではなく、波長間隔Ｄ
を固定するのは、測定されるスペクトル波形の波長位置
が、分光系の誤差によって理論波長位置と一致しない場
合があるからである。
ィング計算を行って各元素のスペクトル線Ａ，Ｂの関数
を求める。この関数フィッティング計算においては、各
元素のスペクトル線の波長位置（角度）は固定すること
なく、波長間隔（角度間隔）Ｄを固定して行っている。
このように波長位置を固定するのではなく、波長間隔Ｄ
を固定するのは、測定されるスペクトル波形の波長位置
が、分光系の誤差によって理論波長位置と一致しない場
合があるからである。
【００１８】この実施例の関数フィッティング計算で
は、ガウス関数とローレンツ関数の合成関数である下記
の数式で示されるＶＯＩＧＴ関数を理論関数としてフィ
ッティングを行う。
は、ガウス関数とローレンツ関数の合成関数である下記
の数式で示されるＶＯＩＧＴ関数を理論関数としてフィ
ッティングを行う。
【００１９】
【数１】
【００２０】このフィッティングのパラメータは、ｃが
ピークの中心、Ｈがピークの高さ、Ｇがガウス率（０＜
Ｇ＜１）、Ｗが半値幅、θが角度であり、半値幅は、ス
テップｎ９で用いた対象波長域での標準半値幅で固定し
ている。このとき、重なっている２本のスペクトル線の
左半値幅同士、右半値幅同士は、等しいとしてフィッテ
ィング計算を行う。
ピークの中心、Ｈがピークの高さ、Ｇがガウス率（０＜
Ｇ＜１）、Ｗが半値幅、θが角度であり、半値幅は、ス
テップｎ９で用いた対象波長域での標準半値幅で固定し
ている。このとき、重なっている２本のスペクトル線の
左半値幅同士、右半値幅同士は、等しいとしてフィッテ
ィング計算を行う。
【００２１】以上のフィッティング計算を行うことによ
り、各元素のスペクトル線Ａ，Ｂのピーク位置およびピ
ーク強度を、得られたフィッティング関数から求め（ス
テップｎ１２）、ステップｎ４で求めた元素同定処理結
果に再登録し（ステップｎ１３）、すべてのピークにつ
いて、処理が終了したか否かを判断し（ステップｎ１
４）、終了していないときには、Ｎに１を加算し（ステ
ップｎ１５）、ステップｎ６に戻り、終了したときに
は、最終的な元素同定処理結果として表示部８に出力し
て終了する。
り、各元素のスペクトル線Ａ，Ｂのピーク位置およびピ
ーク強度を、得られたフィッティング関数から求め（ス
テップｎ１２）、ステップｎ４で求めた元素同定処理結
果に再登録し（ステップｎ１３）、すべてのピークにつ
いて、処理が終了したか否かを判断し（ステップｎ１
４）、終了していないときには、Ｎに１を加算し（ステ
ップｎ１５）、ステップｎ６に戻り、終了したときに
は、最終的な元素同定処理結果として表示部８に出力し
て終了する。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、同一のピ
ークに対して複数の異なる元素のスペクトル線が同定さ
れると、関数フィッティング計算によってスペクトル線
を自動的に分離し、より真値に近い強度値を得ることが
でき、分析精度が向上する。しかも、関数フィッティン
グ計算においては、スペクトル線の波長位置を固定する
のではなく、重なっているスペクトル線の波長間隔を固
定して関数フィッティング計算を行うので、測定される
スペクトル線の波長位置が、誤差によって理論波長位置
と一致しない場合にも容易にスペクトル線を分離するこ
とができる。
ークに対して複数の異なる元素のスペクトル線が同定さ
れると、関数フィッティング計算によってスペクトル線
を自動的に分離し、より真値に近い強度値を得ることが
でき、分析精度が向上する。しかも、関数フィッティン
グ計算においては、スペクトル線の波長位置を固定する
のではなく、重なっているスペクトル線の波長間隔を固
定して関数フィッティング計算を行うので、測定される
スペクトル線の波長位置が、誤差によって理論波長位置
と一致しない場合にも容易にスペクトル線を分離するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例の蛍光Ｘ線分析装置の概略構
成図である。
成図である。
【図２】図１の実施例の動作説明に供するフローチャー
トである。
トである。
【図３】スペクトル線の重なりを示すスペクトル波形図
である。
である。
【図４】フィッティング範囲を示すスペクトル波形図で
ある。
ある。
１ Ｘ線管 ２ 試料 ４ 分光器 ６ Ｘ線検出器 ７ コンピュータ
Claims (1)
- 【請求項１】 測定されたスペクトル波形からピークを
検出して元素のスペクトル線を同定する蛍光Ｘ線分析装
置において、 同一のピークに対して複数の異なる元素のスペクトル線
が重なって同定されたときに、関数フィッティング計算
によってスペクトル線を分離する分離手段を備え、 該分離手段は、重なって同定された２本のスペクトル線
の理論波長位置から算出される波長間隔が、予め定めた
値よりも大きいときに、前記両スペクトル線の波長位置
を固定することなく、前記波長間隔を固定して関数フィ
ッティング計算を行うことを特徴とする蛍光Ｘ線分析装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5271462A JP2713120B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5271462A JP2713120B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07128260A true JPH07128260A (ja) | 1995-05-19 |
| JP2713120B2 JP2713120B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=17500378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5271462A Expired - Fee Related JP2713120B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2713120B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6109747A (en) * | 1997-04-28 | 2000-08-29 | Contour Optik, Inc. | Eyeglass frames with magnets in flanges |
| JP2011163937A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-08-25 | Canon Inc | 位相情報の解析方法、該位相情報の解析プログラム、記憶媒体、ｘ線位相イメージング装置 |
| JP2013544365A (ja) * | 2010-11-30 | 2013-12-12 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 熱量測定データにおける自動ピーク検出法 |
| JP2021028627A (ja) * | 2019-08-11 | 2021-02-25 | クレド ダイアグノスティックス バイオメディカル プライベート リミテッド | 分析システム及びその分析方法 |
| CN114383727A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-22 | 安徽皖仪科技股份有限公司 | 原子吸收分光光度计中光栅特征峰搜索确认方法及系统 |
-
1993
- 1993-10-29 JP JP5271462A patent/JP2713120B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6109747A (en) * | 1997-04-28 | 2000-08-29 | Contour Optik, Inc. | Eyeglass frames with magnets in flanges |
| JP2011163937A (ja) * | 2010-02-10 | 2011-08-25 | Canon Inc | 位相情報の解析方法、該位相情報の解析プログラム、記憶媒体、ｘ線位相イメージング装置 |
| JP2013544365A (ja) * | 2010-11-30 | 2013-12-12 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 熱量測定データにおける自動ピーク検出法 |
| JP2021028627A (ja) * | 2019-08-11 | 2021-02-25 | クレド ダイアグノスティックス バイオメディカル プライベート リミテッド | 分析システム及びその分析方法 |
| CN114383727A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-04-22 | 安徽皖仪科技股份有限公司 | 原子吸收分光光度计中光栅特征峰搜索确认方法及系统 |
| CN114383727B (zh) * | 2021-12-31 | 2023-11-07 | 安徽皖仪科技股份有限公司 | 原子吸收分光光度计中光栅特征峰搜索确认方法及系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2713120B2 (ja) | 1998-02-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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