JPH073396B2 - Ｘ線マイクロアナライザにおける分光結晶自動選択方法 - Google Patents
Ｘ線マイクロアナライザにおける分光結晶自動選択方法Info
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- JPH073396B2 JPH073396B2 JP62003689A JP368987A JPH073396B2 JP H073396 B2 JPH073396 B2 JP H073396B2 JP 62003689 A JP62003689 A JP 62003689A JP 368987 A JP368987 A JP 368987A JP H073396 B2 JPH073396 B2 JP H073396B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はＸ線マイクロアナライザにおける分光結晶自動
選択方法に関する。
選択方法に関する。
［従来技術］ Ｘ線マイクロアナライザは金属，鉄鋼，鉱物，ガラス，
セラミックス等の広い分野の組成，材料研究等の定性又
は定量分析に使用され、分析対象元素も超軽元素から重
元素と広い範囲に渡っており、このような装置に使用さ
れるＸ線分光器には、超軽元素用から重元素用の分光結
晶までの分光結晶を装備した波長分散型Ｘ線分光器（以
下WDSと略す）と、半導体検出器を装備したエネルギー
分散型Ｘ線分光器（以下EDSと略す）の２種類があり、
分析目的によって選択され使用されている。
セラミックス等の広い分野の組成，材料研究等の定性又
は定量分析に使用され、分析対象元素も超軽元素から重
元素と広い範囲に渡っており、このような装置に使用さ
れるＸ線分光器には、超軽元素用から重元素用の分光結
晶までの分光結晶を装備した波長分散型Ｘ線分光器（以
下WDSと略す）と、半導体検出器を装備したエネルギー
分散型Ｘ線分光器（以下EDSと略す）の２種類があり、
分析目的によって選択され使用されている。
［発明が解決しようとする問題点］ ところで、前者のWDSは後者のEDSに比較して波長分解能
が良いことから多くの装置に使用されているが、該WDS
を使用したＸ線マイクロアナライザでは、分析対象元素
が多くなった場合の対応や、分析時間の短縮を考慮して
１チャンネルに例えば超軽元素用と軽元素用の２種の分
光結晶を取り付けると共に、このように、異なった種類
の分光結晶を取り付けたチヤンネルを複数チャンネル装
備した装置が一般的である。しかしながら、分光結晶の
配置が複雑となると、装置の使用の経験の浅い操作者は
分光結晶の種類の選択を誤り易くなり、比較的簡単を測
定を充分行なうことができなくなる。
が良いことから多くの装置に使用されているが、該WDS
を使用したＸ線マイクロアナライザでは、分析対象元素
が多くなった場合の対応や、分析時間の短縮を考慮して
１チャンネルに例えば超軽元素用と軽元素用の２種の分
光結晶を取り付けると共に、このように、異なった種類
の分光結晶を取り付けたチヤンネルを複数チャンネル装
備した装置が一般的である。しかしながら、分光結晶の
配置が複雑となると、装置の使用の経験の浅い操作者は
分光結晶の種類の選択を誤り易くなり、比較的簡単を測
定を充分行なうことができなくなる。
即ち、電子線の加速電圧値と測定対象元素に応じて、測
定に適した特性Ｘ線波長があり、この特性Ｘ線波長に応
じて最適な種類の分光結晶があるが、この種類の分光結
晶を選択を誤り、ピークバックグラウンド比（以下P/B
比と記す）が悪く波長分解能が低いスペクトル情報を得
てしまう場合がある。
定に適した特性Ｘ線波長があり、この特性Ｘ線波長に応
じて最適な種類の分光結晶があるが、この種類の分光結
晶を選択を誤り、ピークバックグラウンド比（以下P/B
比と記す）が悪く波長分解能が低いスペクトル情報を得
てしまう場合がある。
本発明はこのような点に鑑みて成されたもので、その目
的は、同じ種類の分光結晶が複数配置されている場合で
も、最も良好な測定結果の得られる分光結晶を自動的に
選択できるＸ線マイクロアナライザにおける分光結晶自
動選択方法を提供することを目的としている。
的は、同じ種類の分光結晶が複数配置されている場合で
も、最も良好な測定結果の得られる分光結晶を自動的に
選択できるＸ線マイクロアナライザにおける分光結晶自
動選択方法を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］ この目的を達成する本発明は、分光結晶の種類の各々に
対して分光を担当する波長範囲を予め記憶させ、同じ種
類の分光結晶間の使用優先順位をその分光結晶を有する
チャンネルの測定性能に応じて記憶させると共に、各元
素についての特性Ｘ線の波長を予め記憶させておき、分
析対象元素を指示し、該指示された元素の特性Ｘ線の波
長に基づいて前記使用すべき分光結晶の種類を判定し、
判定された該種類の分光結晶が複数存在する場合に前記
優先順位にしたがって使用する分光結晶を選択すること
を特徴としている。
対して分光を担当する波長範囲を予め記憶させ、同じ種
類の分光結晶間の使用優先順位をその分光結晶を有する
チャンネルの測定性能に応じて記憶させると共に、各元
素についての特性Ｘ線の波長を予め記憶させておき、分
析対象元素を指示し、該指示された元素の特性Ｘ線の波
長に基づいて前記使用すべき分光結晶の種類を判定し、
判定された該種類の分光結晶が複数存在する場合に前記
優先順位にしたがって使用する分光結晶を選択すること
を特徴としている。
［実施例］ 以下図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第１図は本発明方法を実施するための装置の構成図であ
る。第１図において、１は電子線２が照射される試料、
3a,3b……3eは分光範囲を分担し合うために各々１チヤ
ンネルに２個の分光結晶C1，C2が取り付けられたＸ線分
光器である。同じチャンネル内の分析対象の異なる２個
の分光結晶は分光結晶支持体を回転させることにより任
意の一方を使用できるようになっている。４はカウンタ
ー、５は増幅器、６はCPU、７は外部記憶装置で、該外
部記憶装置７には、それぞれの分光結晶が分光を分担す
る波長範囲と、各元素についての特性Ｘ線の波長と各特
性Ｘ線の臨界励起電圧が予め記憶されている。８は入力
装置で、該入力装置８より加速電圧、分析対象元素を指
示する。9a,9b……9eはCPU6よりの制御信号によって稼
働する分光結晶駆動装置である。
る。第１図において、１は電子線２が照射される試料、
3a,3b……3eは分光範囲を分担し合うために各々１チヤ
ンネルに２個の分光結晶C1，C2が取り付けられたＸ線分
光器である。同じチャンネル内の分析対象の異なる２個
の分光結晶は分光結晶支持体を回転させることにより任
意の一方を使用できるようになっている。４はカウンタ
ー、５は増幅器、６はCPU、７は外部記憶装置で、該外
部記憶装置７には、それぞれの分光結晶が分光を分担す
る波長範囲と、各元素についての特性Ｘ線の波長と各特
性Ｘ線の臨界励起電圧が予め記憶されている。８は入力
装置で、該入力装置８より加速電圧、分析対象元素を指
示する。9a,9b……9eはCPU6よりの制御信号によって稼
働する分光結晶駆動装置である。
ところで、分析元素別に使用される分光結晶を分類し、
各々の分光結晶で分光するＸ線の種類、使用カウンター
をまとめれば第２図に示すようになる。第２図より明ら
かなように、分析対象元素別に使用される分光結晶は超
軽元素用（記号Ａ），軽元素用（記号Ｂ），中間元素用
（記号Ｃ），重元素用（記号Ｄ）の４種類に分類でき
る。又、測定されるＸ線は、軽元素ではＫ線で、重元素
になるに従ってＬ線,M線で測定するようにしている。更
に、分光されたＸ線を検出（計測）するカウンター４
は、軽元素の様な長い波長のＸ線では、ガスフロー型カ
ウンターを、短波長のＸ線ではクセノン（Xe）カウンタ
ー等のガス充填型カウンターを使用するようにしてい
る。これは、それぞれのカウンターの検出感度と波長比
例性等の特性を考慮したものである。
各々の分光結晶で分光するＸ線の種類、使用カウンター
をまとめれば第２図に示すようになる。第２図より明ら
かなように、分析対象元素別に使用される分光結晶は超
軽元素用（記号Ａ），軽元素用（記号Ｂ），中間元素用
（記号Ｃ），重元素用（記号Ｄ）の４種類に分類でき
る。又、測定されるＸ線は、軽元素ではＫ線で、重元素
になるに従ってＬ線,M線で測定するようにしている。更
に、分光されたＸ線を検出（計測）するカウンター４
は、軽元素の様な長い波長のＸ線では、ガスフロー型カ
ウンターを、短波長のＸ線ではクセノン（Xe）カウンタ
ー等のガス充填型カウンターを使用するようにしてい
る。これは、それぞれのカウンターの検出感度と波長比
例性等の特性を考慮したものである。
又、第３図は本実施例装置に装備した５チャンネルの場
合の分光結晶配列と、使用するカウンターの配置の一例
を示したものである。ここでは、前述のように１チャン
ネルに異なった２個の分光結晶C1，C2を取り付け、いず
れかを選択するようにしており、４種類10個（5ch×２
個）の分光結晶を備えている。又、全ての軽元素用の分
光結晶Ｂはガスフローカウンターにつながれていると共
に、全ての重元素用の分光結晶ＤはXeカウンターにつな
がれている。一方、中間元素用の分光結晶Ｃはガスフロ
ーカウンターにつながれているものと、Xeカウンターに
つながれているものがある。
合の分光結晶配列と、使用するカウンターの配置の一例
を示したものである。ここでは、前述のように１チャン
ネルに異なった２個の分光結晶C1，C2を取り付け、いず
れかを選択するようにしており、４種類10個（5ch×２
個）の分光結晶を備えている。又、全ての軽元素用の分
光結晶Ｂはガスフローカウンターにつながれていると共
に、全ての重元素用の分光結晶ＤはXeカウンターにつな
がれている。一方、中間元素用の分光結晶Ｃはガスフロ
ーカウンターにつながれているものと、Xeカウンターに
つながれているものがある。
このような分光結晶の種類，分光結晶の配列，使用カウ
ンターが装備された装置において、以下分光結晶に優先
順位を付し、その優先順位に従って分光結晶を自動選択
する場合の一例を説明する。
ンターが装備された装置において、以下分光結晶に優先
順位を付し、その優先順位に従って分光結晶を自動選択
する場合の一例を説明する。
先ず、各分光結晶に優先順位を付けるため、第４図に示
すように、記号Ａ〜Ｄで示す全部の分光結晶に同等の数
値、例えば“1.0"を与える。このように、数値を用いる
のはCPUで順位を認識させるためである。この最初の状
態では、優先順位は付けられていない。この状態より、
例えば以下に示す優先順位付けによってその順位を決定
する。
すように、記号Ａ〜Ｄで示す全部の分光結晶に同等の数
値、例えば“1.0"を与える。このように、数値を用いる
のはCPUで順位を認識させるためである。この最初の状
態では、優先順位は付けられていない。この状態より、
例えば以下に示す優先順位付けによってその順位を決定
する。
１）各チャンネルに配置された記号Ａ〜Ｄの分光結晶の
内、その中にただ１つしかない分光結晶、つまり、超軽
元素用分光結晶Ａ（Ch1−C2）の優先順位を＋１だけ上
げる。又、該超軽元素用分光結晶Ａの反対側に取り付け
られた分光結晶、つまり、軽元素用分光結晶Ｂ（Ch1−C
1）の優先順位を−0.5だけ下げる。この例は第５図の第
１チャンネルに見られる。
内、その中にただ１つしかない分光結晶、つまり、超軽
元素用分光結晶Ａ（Ch1−C2）の優先順位を＋１だけ上
げる。又、該超軽元素用分光結晶Ａの反対側に取り付け
られた分光結晶、つまり、軽元素用分光結晶Ｂ（Ch1−C
1）の優先順位を−0.5だけ下げる。この例は第５図の第
１チャンネルに見られる。
２）同じ記号で示される分光結晶のうち、ガスフローカ
ウンターにつながれた中間元素用分光結晶ＣとXeカウン
ターにつながれた中間元素用分光結晶Ｃでは、ガスフロ
ーカウンターの方の中間元素用分光結晶Ｃ（Ch2−C1）
の優先順位を−0.5だけ下げる。これは、Xeカウンター
の方がカウント数が多いからで、カウントの多い方がカ
ウント数の誤差が少なく、又、検出感度が高いためであ
る。この例は、第５図の第２チャンネルに見られる。
ウンターにつながれた中間元素用分光結晶ＣとXeカウン
ターにつながれた中間元素用分光結晶Ｃでは、ガスフロ
ーカウンターの方の中間元素用分光結晶Ｃ（Ch2−C1）
の優先順位を−0.5だけ下げる。これは、Xeカウンター
の方がカウント数が多いからで、カウントの多い方がカ
ウント数の誤差が少なく、又、検出感度が高いためであ
る。この例は、第５図の第２チャンネルに見られる。
３）以上の優先順位付けによってもCh3,Ch4,Ch5のよう
に、同一チャンネル内での優先順位が同じ分光結晶であ
れば、そのチャンネル内において、C1側に付いている分
光結晶の方をC2側に着いている分光結晶（Ch3−C2,Ch4
−C2,Ch5−C2）に対して優先順位を＋0.5だけ上げる。
この例は、第５図の第３チャンネルから第５チャンネル
の分光結晶（Ch3−C1,Ch4−C1,Ch5−C1）に見られる。
に、同一チャンネル内での優先順位が同じ分光結晶であ
れば、そのチャンネル内において、C1側に付いている分
光結晶の方をC2側に着いている分光結晶（Ch3−C2,Ch4
−C2,Ch5−C2）に対して優先順位を＋0.5だけ上げる。
この例は、第５図の第３チャンネルから第５チャンネル
の分光結晶（Ch3−C1,Ch4−C1,Ch5−C1）に見られる。
４）以上の優先順位付けによっても同一の優先順位があ
る場合、例えば第３チャンネル（Ch3−C1）と第５チャ
ンネル（Ch5−C1）では、チャンネル番号が小さい方を
優先させる。チャンネル番号が小さい方に物理的な意味
は無いが、CPUによる決定を可能にするためである。従
って、上記の場合、チャンネル番号の小さい方である第
３チャンネル（Ch3−C1）の分光結晶の優先順位に0.2を
加える。又、第３チャンネル（Ch3−C2）と第５チャン
ネル（Ch5−C2）についても第３チャンネル（Ch3−C2）
の方の優先順位に0.2を加える。このような順位付けの
結果得られた第５図に示す優先順位データは各分光結晶
に関連させて予め外部記憶装置７に記憶させておく。
る場合、例えば第３チャンネル（Ch3−C1）と第５チャ
ンネル（Ch5−C1）では、チャンネル番号が小さい方を
優先させる。チャンネル番号が小さい方に物理的な意味
は無いが、CPUによる決定を可能にするためである。従
って、上記の場合、チャンネル番号の小さい方である第
３チャンネル（Ch3−C1）の分光結晶の優先順位に0.2を
加える。又、第３チャンネル（Ch3−C2）と第５チャン
ネル（Ch5−C2）についても第３チャンネル（Ch3−C2）
の方の優先順位に0.2を加える。このような順位付けの
結果得られた第５図に示す優先順位データは各分光結晶
に関連させて予め外部記憶装置７に記憶させておく。
次に、第６図のフローチャートに従って実際の分光結晶
の自動選択過程を説明する。
の自動選択過程を説明する。
入力装置８より加速電圧、分析対象元素を入力する。
この操作により、外部記憶装置７に記憶されている各
元素のK,L,M線の波長λ及びＸ線発生に要する最小エネ
ルギー、即ち臨界励起電圧EkがCPU6の演算記憶部6aに読
込まれる。
元素のK,L,M線の波長λ及びＸ線発生に要する最小エネ
ルギー、即ち臨界励起電圧EkがCPU6の演算記憶部6aに読
込まれる。
ここで、前記入力された加速電圧Eoと臨界励起電圧Ek
が比較され、加速電圧Eoの方が臨界励起電圧Ekより大き
い場合（Eo≧Ek）のみ、ステップ以降に進む。逆に加
速電圧Eoの方が小さい場合（Eo≦Ek）はステップに戻
り加速電圧Eoを他の値にして再度入力する。何故なら、
これ以下では対象とする元素のK,L,M線のいずれのＸ線
も発生しないため測定できないからである。ここで、K,
L,M線のうち複数の種類のＸ線が測定可能と判定されれ
ば、Ｋ＞Ｌ＞Ｍの順で優先させて測定対象とするＸ線の
種類を選択する。
が比較され、加速電圧Eoの方が臨界励起電圧Ekより大き
い場合（Eo≧Ek）のみ、ステップ以降に進む。逆に加
速電圧Eoの方が小さい場合（Eo≦Ek）はステップに戻
り加速電圧Eoを他の値にして再度入力する。何故なら、
これ以下では対象とする元素のK,L,M線のいずれのＸ線
も発生しないため測定できないからである。ここで、K,
L,M線のうち複数の種類のＸ線が測定可能と判定されれ
ば、Ｋ＞Ｌ＞Ｍの順で優先させて測定対象とするＸ線の
種類を選択する。
次に、ステップに進みCPU6が測定対象としたＸ線の波
長を下記の式によってA,B,Cの各種類の分光結晶の分光
位置（分光条件を満す移動軸上の位置）に変換し、その
変換値Ｌが機械的に定められた各種類の分光結晶の分光
範囲（Lmin〜Lmax）に入っているかチェックする。
長を下記の式によってA,B,Cの各種類の分光結晶の分光
位置（分光条件を満す移動軸上の位置）に変換し、その
変換値Ｌが機械的に定められた各種類の分光結晶の分光
範囲（Lmin〜Lmax）に入っているかチェックする。
尚、前記分光位置Ｌは次式によって計算される。
Ｌ＝（2R/2d）・λ ここで、R:ローランド円半径,d:分光結晶の格子面間
隔，λ：測定対象となるＸ線の波長である。
隔，λ：測定対象となるＸ線の波長である。
次に、ステップに進み、ここまでのステップで前記記
号A,B,C,Dで示す種類の分光結晶の内、１種類の分光結
晶しか選択されなかった場合は、ステップに飛び第５
図に示した優先順位を表わすデータに基づいて分光結
晶，チャンネルが選択される。即ち、例えば選ばれた種
類がＣであるとすれば、CPU6は、予め記憶されている優
先順位データのうち、同じ種類Ｃのものの中から優先順
位値が最大のチャンネル及び分光結晶を判定する。
号A,B,C,Dで示す種類の分光結晶の内、１種類の分光結
晶しか選択されなかった場合は、ステップに飛び第５
図に示した優先順位を表わすデータに基づいて分光結
晶，チャンネルが選択される。即ち、例えば選ばれた種
類がＣであるとすれば、CPU6は、予め記憶されている優
先順位データのうち、同じ種類Ｃのものの中から優先順
位値が最大のチャンネル及び分光結晶を判定する。
しかし、しばしば複数種の分光結晶が適合している場合
があるが、このような場合には、ステップから次のス
テップに進む。
があるが、このような場合には、ステップから次のス
テップに進む。
一般に分光位置、即ち試料から見た分光結晶の位置が低
角度のときＸ線強度は強いが、バックグランド強度も高
く、従って、P/B比は低い。一方、高角度の分光位置で
は、Ｘ線強度は低いがP/B比は良い。従って、通常分光
範囲の中ほどがＸ線強度とP/B比のバランスがとれて分
析に最適である。ここでは、この分光位置Ｌが分光範囲
Lmin〜Lmaxより狭い最適範囲Lmin′≦Ｌ≦Lmax′に入っ
ているかチェックする。このチェックで、１種類の分光
結晶しか選択されなかった場合にはステップに飛び、
第５図に示した優先順位を表わすデータに基づいて特定
の分光結晶，チャンネルが選択される。又、ステップ
における判定においても、複数種の分光結晶が該当する
場合には、更に次のステップに移る。
角度のときＸ線強度は強いが、バックグランド強度も高
く、従って、P/B比は低い。一方、高角度の分光位置で
は、Ｘ線強度は低いがP/B比は良い。従って、通常分光
範囲の中ほどがＸ線強度とP/B比のバランスがとれて分
析に最適である。ここでは、この分光位置Ｌが分光範囲
Lmin〜Lmaxより狭い最適範囲Lmin′≦Ｌ≦Lmax′に入っ
ているかチェックする。このチェックで、１種類の分光
結晶しか選択されなかった場合にはステップに飛び、
第５図に示した優先順位を表わすデータに基づいて特定
の分光結晶，チャンネルが選択される。又、ステップ
における判定においても、複数種の分光結晶が該当する
場合には、更に次のステップに移る。
即ち、一般にＸ線強度が高い方がカウント誤差が少ない
から分光位置が最適範囲内の低角度（分光位置Ｌが最小
のもの）な分光結晶の種類を選択する。しかる後、ステ
ップに進み優先順位を表わすデータに基づいて分光結
晶，チャンネルが選択される。
から分光位置が最適範囲内の低角度（分光位置Ｌが最小
のもの）な分光結晶の種類を選択する。しかる後、ステ
ップに進み優先順位を表わすデータに基づいて分光結
晶，チャンネルが選択される。
上述した種々の過程を経てステップに移り、優先順位
の高い分光結晶，チャンネルが自動的に選択されたらス
テップに移るが、ステップにおいては、CPU6の制御
に基づき分光結晶駆動装置が選択した分光結晶を対象元
素の分光位置に移動させ、Ｘ線測定が行なわれる。この
ようにすれば、経験の浅い操作者であっても、電子線の
加速電圧を表わす情報と測定対象元素を表わす情報を入
力するだけで、分光結晶の種類を自動的に選択して、P/
B比の高く分解能の高い測定を行なうことができる。
の高い分光結晶，チャンネルが自動的に選択されたらス
テップに移るが、ステップにおいては、CPU6の制御
に基づき分光結晶駆動装置が選択した分光結晶を対象元
素の分光位置に移動させ、Ｘ線測定が行なわれる。この
ようにすれば、経験の浅い操作者であっても、電子線の
加速電圧を表わす情報と測定対象元素を表わす情報を入
力するだけで、分光結晶の種類を自動的に選択して、P/
B比の高く分解能の高い測定を行なうことができる。
又、上述した実施例においては、予め同じ種類の分光結
晶について、良好な測定結果の得られる順に優先順位を
求めて記憶させておき、同じ種類の分光結晶の中から更
に良い測定結果の得られる分光結晶を自動的に選択でき
るようにしているため、経験の浅い操作者でも最良の分
光結晶を選択してP/B比が高く分解能の高い測定を行な
うことができる。
晶について、良好な測定結果の得られる順に優先順位を
求めて記憶させておき、同じ種類の分光結晶の中から更
に良い測定結果の得られる分光結晶を自動的に選択でき
るようにしているため、経験の浅い操作者でも最良の分
光結晶を選択してP/B比が高く分解能の高い測定を行な
うことができる。
尚、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、変形
して実施することができる。
して実施することができる。
例えば、上述した実施例においては、１回の測定で１個
の分光結晶しか使用しない場合の例について説明した
が、同時に同じ種類の分光結晶を例えば２個使用して測
定を行ない、測定時間の短縮を図る場合が多い。このよ
うな場合、第５図に示した優先順位表データに基づい
て、同じ種類の分光結晶のうち優先順位が２番目までの
分光結晶を自動的に選択して使用するようにすれば良
い。
の分光結晶しか使用しない場合の例について説明した
が、同時に同じ種類の分光結晶を例えば２個使用して測
定を行ない、測定時間の短縮を図る場合が多い。このよ
うな場合、第５図に示した優先順位表データに基づい
て、同じ種類の分光結晶のうち優先順位が２番目までの
分光結晶を自動的に選択して使用するようにすれば良
い。
更に上述した実施例においては、同じ種類の分光結晶の
うち、最良の測定データが得られる分光結晶の優先順位
値を最大にしたため、１回の測定で１個の分光結晶しか
使用しない場合には、この分光結晶のみ集中的に使用さ
れ分光結晶の劣化が速まる。そこで、このような事態を
回避するため、１回使用した後は、次に同じ種類の分光
結晶のうちの他の分光結晶が使用されるまで、優先順位
値を一定量減少せしめ、分光結晶を交互に使用するよう
にしても良い。
うち、最良の測定データが得られる分光結晶の優先順位
値を最大にしたため、１回の測定で１個の分光結晶しか
使用しない場合には、この分光結晶のみ集中的に使用さ
れ分光結晶の劣化が速まる。そこで、このような事態を
回避するため、１回使用した後は、次に同じ種類の分光
結晶のうちの他の分光結晶が使用されるまで、優先順位
値を一定量減少せしめ、分光結晶を交互に使用するよう
にしても良い。
［発明の効果］ 本発明によれば、同じ種類の分光結晶間の使用優先順位
をその分光結晶を有するチャンネルの測定性能に応じて
記憶させ、使用優先順位の高い分光結晶を測定に使用す
るので、同時に同じ種類の分光結晶を例えば２個使用し
て測定を行なっていて、１個の分光結晶のみ使用して測
定を行なうようになった場合でも、チャンネルの測定性
能の最も良い分光結晶が測定に使用され、P/B比及び分
解能の最も良好な測定を行なうことができる。
をその分光結晶を有するチャンネルの測定性能に応じて
記憶させ、使用優先順位の高い分光結晶を測定に使用す
るので、同時に同じ種類の分光結晶を例えば２個使用し
て測定を行なっていて、１個の分光結晶のみ使用して測
定を行なうようになった場合でも、チャンネルの測定性
能の最も良い分光結晶が測定に使用され、P/B比及び分
解能の最も良好な測定を行なうことができる。
第１図は本発明方法を実施するための装置の構成図、第
２図は分光結晶，測定Ｘ線の種類，使用カウンターの関
係を示す図、第３図は複数チャンネルの場合の分光結晶
の配置の一例を示す図、第４図は優先順位を付す前の分
光結晶とチャンネルの関係を説明するための図、第５図
は優先順位を付した後の分光結晶とチャンネルの関係を
説明するための図、第６図は分析Ｘ線の選択、分光結晶
の選択のフローチャート図である。 1:試料、2:電子線、3a,3b……3e:X線分光器、4:カウン
ター、5:増幅器、6:CPU、7:外部記憶装置、8:入力装
置、9a,9b……9e:分光結晶駆動装置である。
２図は分光結晶，測定Ｘ線の種類，使用カウンターの関
係を示す図、第３図は複数チャンネルの場合の分光結晶
の配置の一例を示す図、第４図は優先順位を付す前の分
光結晶とチャンネルの関係を説明するための図、第５図
は優先順位を付した後の分光結晶とチャンネルの関係を
説明するための図、第６図は分析Ｘ線の選択、分光結晶
の選択のフローチャート図である。 1:試料、2:電子線、3a,3b……3e:X線分光器、4:カウン
ター、5:増幅器、6:CPU、7:外部記憶装置、8:入力装
置、9a,9b……9e:分光結晶駆動装置である。
Claims (1)
- 【請求項１】分光結晶の種類の各々に対して分光を担当
する波長範囲を予め記憶させ、同じ種類の分光結晶間の
使用優先順位をその分光結晶を有するチャンネルの測定
性能に応じて記憶させると共に、各元素についての特性
Ｘ線の波長を予め記憶させておき、分析対象元素を指示
し、該指示された元素の特性Ｘ線の波長に基づいて前記
使用すべき分光結晶の種類を判定し、判定された該種類
の分光結晶が複数存在する場合に前記優先順位にしたが
って使用する分光結晶を選択することを特徴とするＸ線
マイクロアナライザにおける分光結晶自動選択方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62003689A JPH073396B2 (ja) | 1987-01-10 | 1987-01-10 | Ｘ線マイクロアナライザにおける分光結晶自動選択方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62003689A JPH073396B2 (ja) | 1987-01-10 | 1987-01-10 | Ｘ線マイクロアナライザにおける分光結晶自動選択方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63172947A JPS63172947A (ja) | 1988-07-16 |
| JPH073396B2 true JPH073396B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=11564365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62003689A Expired - Lifetime JPH073396B2 (ja) | 1987-01-10 | 1987-01-10 | Ｘ線マイクロアナライザにおける分光結晶自動選択方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073396B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6787773B1 (en) * | 2000-06-07 | 2004-09-07 | Kla-Tencor Corporation | Film thickness measurement using electron-beam induced x-ray microanalysis |
| JP4788512B2 (ja) * | 2006-07-25 | 2011-10-05 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線分析装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58196446A (ja) * | 1982-05-11 | 1983-11-15 | Jeol Ltd | Ｘ線マイクロアナライザ−を用いた分析方法 |
-
1987
- 1987-01-10 JP JP62003689A patent/JPH073396B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63172947A (ja) | 1988-07-16 |
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |