JPH11271244A - Ｘ線スペクトルによる定量分析方法 - Google Patents
Ｘ線スペクトルによる定量分析方法Info
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- JPH11271244A JPH11271244A JP10079302A JP7930298A JPH11271244A JP H11271244 A JPH11271244 A JP H11271244A JP 10079302 A JP10079302 A JP 10079302A JP 7930298 A JP7930298 A JP 7930298A JP H11271244 A JPH11271244 A JP H11271244A
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- ray
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線スペクトルによる定量分析方法におい
て、正確な波形フィッティングによって定量誤差を減少
させる。 【解決手段】 未知試料のＸ線スペクトルに対して標準
試料のＸ線スペクトルを波形フィッティングして未知試
料の定量分析を行う定量分析方法において、少なくとも
未知試料のＸ線スペクトルについて、波長毎にＸ線吸収
によるＸ線強度の減衰を補正して補正Ｘ線スペクトルを
求め、補正Ｘ線スペクトルを用いた波形フィッティング
により元素毎のＸ線スペクトルを求め、元素毎のＸ線ス
ペクトルに対して定量補正を行う。これによって、測定
したＸ線スペクトルをそのまま用いて波形フィッティン
グを行うのではなく、Ｘ線スペクトルの自己吸収による
影響を補正した補正Ｘ線スペクトルを求め、この補正Ｘ
線スペクトルを用いて波形フィッティングを行うことに
よって、Ｘ線の自己吸収による影響を除去した正確な定
量分析を行う。
て、正確な波形フィッティングによって定量誤差を減少
させる。 【解決手段】 未知試料のＸ線スペクトルに対して標準
試料のＸ線スペクトルを波形フィッティングして未知試
料の定量分析を行う定量分析方法において、少なくとも
未知試料のＸ線スペクトルについて、波長毎にＸ線吸収
によるＸ線強度の減衰を補正して補正Ｘ線スペクトルを
求め、補正Ｘ線スペクトルを用いた波形フィッティング
により元素毎のＸ線スペクトルを求め、元素毎のＸ線ス
ペクトルに対して定量補正を行う。これによって、測定
したＸ線スペクトルをそのまま用いて波形フィッティン
グを行うのではなく、Ｘ線スペクトルの自己吸収による
影響を補正した補正Ｘ線スペクトルを求め、この補正Ｘ
線スペクトルを用いて波形フィッティングを行うことに
よって、Ｘ線の自己吸収による影響を除去した正確な定
量分析を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、定量分析方法に関
し、ＥＰＭＡや蛍光Ｘ線分析装置から得られるＸ線スペ
クトルを波形フィッティングすることによって、各元素
の定量値を求める定量分析方法に関する。
し、ＥＰＭＡや蛍光Ｘ線分析装置から得られるＸ線スペ
クトルを波形フィッティングすることによって、各元素
の定量値を求める定量分析方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】未知試料についてＥＰＭＡや蛍光Ｘ線分
析装置によってＸ線スペクトルを求め、このＸ線スペク
トルを用いて未知試料に含まれる各元素の定量値を求め
ることによって組成を求めることが行われている。
析装置によってＸ線スペクトルを求め、このＸ線スペク
トルを用いて未知試料に含まれる各元素の定量値を求め
ることによって組成を求めることが行われている。
【０００３】このＸ線スペクトルによる定量分析におい
て、未知試料から求められるＸ線スペクトルは、未知試
料に含まれる各元素の重量濃度に対応したＸ線強度を加
算した値となっている。一方、各元素のスペクトル波形
のピークは重なる場合がある。そのため、ピークの重な
りがある場合には、未知試料から得られたＸ線スペクト
ルのピークの重なりを波形分離して、各元素毎のＸ線強
度を求める必要がある。
て、未知試料から求められるＸ線スペクトルは、未知試
料に含まれる各元素の重量濃度に対応したＸ線強度を加
算した値となっている。一方、各元素のスペクトル波形
のピークは重なる場合がある。そのため、ピークの重な
りがある場合には、未知試料から得られたＸ線スペクト
ルのピークの重なりを波形分離して、各元素毎のＸ線強
度を求める必要がある。
【０００４】従来、重なったピークを波形分離して未知
試料に含まれる各元素の定量値を求めるには、各元素に
ついて標準試料のＸ線スペクトルを求めておき、この標
準試料のＸ線スペクトルの波形と未知試料のＸ線スペク
トルの波形とを比較する波形フィッティングが行われて
いる。
試料に含まれる各元素の定量値を求めるには、各元素に
ついて標準試料のＸ線スペクトルを求めておき、この標
準試料のＸ線スペクトルの波形と未知試料のＸ線スペク
トルの波形とを比較する波形フィッティングが行われて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一般に、Ｘ線スペクト
ルでは、ピークの波形範囲が広い長波長領域において
は、長波長側ほどＸ線吸収係数が大きく、また、ピーク
の途中に吸収端が存在するなど、元素毎に波長に対する
Ｘ線吸収係数が大きく変動する場合がある。また、この
Ｘ線吸収係数は、標準試料と未知試料の間においても大
幅に異なる場合がある。
ルでは、ピークの波形範囲が広い長波長領域において
は、長波長側ほどＸ線吸収係数が大きく、また、ピーク
の途中に吸収端が存在するなど、元素毎に波長に対する
Ｘ線吸収係数が大きく変動する場合がある。また、この
Ｘ線吸収係数は、標準試料と未知試料の間においても大
幅に異なる場合がある。
【０００６】従来の定量分析では、波形フィッティング
処理において、標準試料と未知試料のＸ線吸収係数は測
定波長範囲内で一定あるいは同一の変化特性を有するも
のと仮定し、測定したＸ線スペクトルをそのまま用いて
波形フィッティングを行っている。
処理において、標準試料と未知試料のＸ線吸収係数は測
定波長範囲内で一定あるいは同一の変化特性を有するも
のと仮定し、測定したＸ線スペクトルをそのまま用いて
波形フィッティングを行っている。
【０００７】したがって、測定されたＸ線スペクトルに
は、元素毎のＸ線吸収係数の相違や、標準試料と未知試
料のＸ線吸収係数の相違によって生ずる誤差が含まれて
いる。そのため、従来のＸ線スペクトルの定量分析で
は、測定されたＸ線スペクトルをそのまま用いて波形フ
ィッティングを行うため、正確な波形フィッティングは
困難であり、定量誤差が大きくなるという問題がある。
は、元素毎のＸ線吸収係数の相違や、標準試料と未知試
料のＸ線吸収係数の相違によって生ずる誤差が含まれて
いる。そのため、従来のＸ線スペクトルの定量分析で
は、測定されたＸ線スペクトルをそのまま用いて波形フ
ィッティングを行うため、正確な波形フィッティングは
困難であり、定量誤差が大きくなるという問題がある。
【０００８】図１０は従来の波形フィッティングを説明
するための図であり、未知試料が元素Ｉと元素Ｋを含
み、両元素のＸ線スペクトルのピークが重なる場合につ
いて、従来の波形フィッティングによる波形分離を示し
ている。図１０（ａ），（ｂ）は元素Ｉと元素Ｋについ
ての標準試料のＸ線スペクトルの波形形状（以下、この
Ｘ線スペクトルの波形形状をプロファイルという）を示
している。この元素Ｉと元素Ｋのプロファイル１，２
を、図１０（ｃ）に示す未知試料のプロファイル３にあ
てはめて波形フィッティングを行う。図１０（ｄ），
（ｅ）は、波形フィッティングを行うために、元素Ｉと
元素Ｋの各プロファイルの強度比を変更した状態を示し
ており、この変更の度合いを示すフィッティング係数が
定量分析の測定値となる。なお、一点鎖線及び破線は変
更後のプロファイルを示している。
するための図であり、未知試料が元素Ｉと元素Ｋを含
み、両元素のＸ線スペクトルのピークが重なる場合につ
いて、従来の波形フィッティングによる波形分離を示し
ている。図１０（ａ），（ｂ）は元素Ｉと元素Ｋについ
ての標準試料のＸ線スペクトルの波形形状（以下、この
Ｘ線スペクトルの波形形状をプロファイルという）を示
している。この元素Ｉと元素Ｋのプロファイル１，２
を、図１０（ｃ）に示す未知試料のプロファイル３にあ
てはめて波形フィッティングを行う。図１０（ｄ），
（ｅ）は、波形フィッティングを行うために、元素Ｉと
元素Ｋの各プロファイルの強度比を変更した状態を示し
ており、この変更の度合いを示すフィッティング係数が
定量分析の測定値となる。なお、一点鎖線及び破線は変
更後のプロファイルを示している。
【０００９】従来の波形フィッティングでは、Ｘ線の自
己吸収の影響を補正していないため、図１０（ｄ），
（ｅ）で得られた各元素のプロファイルを用いて、逆に
未知試料のプロファイルを形成すると、図１０（ｆ）の
長い破線で示すプロファイルとなり、実線で示す未知試
料のプロファイルとは異なることになる。これは、波形
フィッティングで得られる定量値は、定量誤差を含んで
いることを表している。
己吸収の影響を補正していないため、図１０（ｄ），
（ｅ）で得られた各元素のプロファイルを用いて、逆に
未知試料のプロファイルを形成すると、図１０（ｆ）の
長い破線で示すプロファイルとなり、実線で示す未知試
料のプロファイルとは異なることになる。これは、波形
フィッティングで得られる定量値は、定量誤差を含んで
いることを表している。
【００１０】そこで、本発明は前記した従来の問題点を
解決し、正確な波形フィッティングによって定量誤差を
減少させるＸ線スペクトルによる定量分析方法を提供す
ることを目的とする。
解決し、正確な波形フィッティングによって定量誤差を
減少させるＸ線スペクトルによる定量分析方法を提供す
ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のＸ線スペクトル
による定量分析方法は、測定したＸ線スペクトルをその
まま用いて波形フィッティングを行うのではなく、Ｘ線
スペクトルの自己吸収による影響を補正した補正Ｘ線ス
ペクトルを求め、この補正Ｘ線スペクトルを用いて波形
フィッティングを行うことによって、Ｘ線の自己吸収に
よる影響を除去して、正確な定量分析を行うものであ
る。
による定量分析方法は、測定したＸ線スペクトルをその
まま用いて波形フィッティングを行うのではなく、Ｘ線
スペクトルの自己吸収による影響を補正した補正Ｘ線ス
ペクトルを求め、この補正Ｘ線スペクトルを用いて波形
フィッティングを行うことによって、Ｘ線の自己吸収に
よる影響を除去して、正確な定量分析を行うものであ
る。
【００１２】そこで、本発明の定量分析方法では、未知
試料のＸ線スペクトルに対して標準試料のＸ線スペクト
ルを波形フィッティングして未知試料の定量分析を行う
定量分析方法において、少なくとも未知試料のＸ線スペ
クトルについて、波長毎にＸ線吸収によるＸ線強度の減
衰を補正して補正Ｘ線スペクトルを求め、補正Ｘ線スペ
クトルを用いた波形フィッティングにより元素毎のＸ線
スペクトルを求め、元素毎のＸ線スペクトルに対して定
量補正を行う。
試料のＸ線スペクトルに対して標準試料のＸ線スペクト
ルを波形フィッティングして未知試料の定量分析を行う
定量分析方法において、少なくとも未知試料のＸ線スペ
クトルについて、波長毎にＸ線吸収によるＸ線強度の減
衰を補正して補正Ｘ線スペクトルを求め、補正Ｘ線スペ
クトルを用いた波形フィッティングにより元素毎のＸ線
スペクトルを求め、元素毎のＸ線スペクトルに対して定
量補正を行う。
【００１３】Ｘ線スペクトルの吸収補正は、波長に対す
るＸ線吸収係数を元素毎に求め、このＸ線吸収係数を用
いて、波長毎にＸ線強度を補正することによって行う。
このＸ線スペクトルの吸収補正を少なくとも未知試料に
ついて行うことによって、Ｘ線スペクトルの自己吸収に
よる影響を補正する。なお、Ｘ線スペクトルの吸収補正
を、未知試料のみでなく未知試料及び標準試料について
行うことによってより正確な波形フィッティングを行う
ことができる。
るＸ線吸収係数を元素毎に求め、このＸ線吸収係数を用
いて、波長毎にＸ線強度を補正することによって行う。
このＸ線スペクトルの吸収補正を少なくとも未知試料に
ついて行うことによって、Ｘ線スペクトルの自己吸収に
よる影響を補正する。なお、Ｘ線スペクトルの吸収補正
を、未知試料のみでなく未知試料及び標準試料について
行うことによってより正確な波形フィッティングを行う
ことができる。
【００１４】吸収補正後のＸ線スペクトルに対して定量
補正を行うことによって、未知試料の重量濃度を求める
ことができ、この重量濃度から未知試料の組成を求める
ことができる。定量補正としては、たとえばＺＡＦ補正
計算を適用することができる。ＺＡＦ補正計算による定
量補正は、原子番号補正（Ｚ）と吸収補正（Ａ）と蛍光
励起補正（Ｆ）の各補正を含んでいる。
補正を行うことによって、未知試料の重量濃度を求める
ことができ、この重量濃度から未知試料の組成を求める
ことができる。定量補正としては、たとえばＺＡＦ補正
計算を適用することができる。ＺＡＦ補正計算による定
量補正は、原子番号補正（Ｚ）と吸収補正（Ａ）と蛍光
励起補正（Ｆ）の各補正を含んでいる。
【００１５】本発明の定量分析方法の一態様は、定量補
正で得られる重量濃度の値が収斂するまで、Ｘ線スペク
トルの吸収補正と定量補正を繰り返して行う。これによ
って、より正確な波形フィッティングを行い、正確な定
量分析を行うことができる。なお、重量濃度の値の収斂
判定は、各繰り返し処理で得られる重量濃度の値の差が
所定以下となることによって行うことができる。また、
Ｘ線スペクトルの吸収補正は、Philbertの方法やφ（ρ
ｚ）の方法を適用することができる。
正で得られる重量濃度の値が収斂するまで、Ｘ線スペク
トルの吸収補正と定量補正を繰り返して行う。これによ
って、より正確な波形フィッティングを行い、正確な定
量分析を行うことができる。なお、重量濃度の値の収斂
判定は、各繰り返し処理で得られる重量濃度の値の差が
所定以下となることによって行うことができる。また、
Ｘ線スペクトルの吸収補正は、Philbertの方法やφ（ρ
ｚ）の方法を適用することができる。
【００１６】なお、未知試料のＸ線スペクトルの吸収補
正をPhilbertの方法で行う場合、このPhilbertの方法は
吸収補正（Ａ）を含んでいるため、この吸収補正後に行
う定量補正では、原子番号補正（Ｚ）と蛍光励起補正
（Ｆ）の補正を行う。また、未知試料のＸ線スペクトル
の吸収補正をφ（ρｚ）の方法で行う場合、このφ（ρ
ｚ）の方法は吸収補正（Ａ）と原子番号補正（Ｚ）とを
含んでいるため、この吸収補正後に行う定量補正では、
蛍光励起補正（Ｆ）の補正を行う。
正をPhilbertの方法で行う場合、このPhilbertの方法は
吸収補正（Ａ）を含んでいるため、この吸収補正後に行
う定量補正では、原子番号補正（Ｚ）と蛍光励起補正
（Ｆ）の補正を行う。また、未知試料のＸ線スペクトル
の吸収補正をφ（ρｚ）の方法で行う場合、このφ（ρ
ｚ）の方法は吸収補正（Ａ）と原子番号補正（Ｚ）とを
含んでいるため、この吸収補正後に行う定量補正では、
蛍光励起補正（Ｆ）の補正を行う。
【００１７】図１は本発明のＸ線スペクトルによる定量
分析方法を説明するためのフローチャートである。本発
明の定量分析方法は、未知試料の組成を仮決定する工程
（ステップＳ１〜ステップＳ３）と、この仮決定した組
成を元に測定で得られたＸ線スペクトルのデータを吸収
補正及び定量補正して、より正確な組成を求める工程
（ステップＳ４〜ステップＳ８）とにより行うことがで
きる。
分析方法を説明するためのフローチャートである。本発
明の定量分析方法は、未知試料の組成を仮決定する工程
（ステップＳ１〜ステップＳ３）と、この仮決定した組
成を元に測定で得られたＸ線スペクトルのデータを吸収
補正及び定量補正して、より正確な組成を求める工程
（ステップＳ４〜ステップＳ８）とにより行うことがで
きる。
【００１８】未知試料の組成を仮決定する工程におい
て、測定対象となる元素について、波長に対するＸ線吸
収係数値をあらかじめ関数として計算しておき、データ
ベースとして作成しておき、以後のステップＳ４におけ
る吸収補正の処理に用いる。なお、この波長に対するＸ
線吸収係数値は、吸収端による急峻な変化についても考
慮して作成する（ステップＳ１）。
て、測定対象となる元素について、波長に対するＸ線吸
収係数値をあらかじめ関数として計算しておき、データ
ベースとして作成しておき、以後のステップＳ４におけ
る吸収補正の処理に用いる。なお、この波長に対するＸ
線吸収係数値は、吸収端による急峻な変化についても考
慮して作成する（ステップＳ１）。
【００１９】測定で得られた元データであるＸ線スペク
トルについて、吸収補正を行わずに波形フィッティング
を行ってフィッティング係数を求め（ステップＳ２）、
求めたフィッティング係数を元に定量補正を行って元素
の重量濃度を求め、未知試料の組成を仮に決定する（ス
テップＳ３）。
トルについて、吸収補正を行わずに波形フィッティング
を行ってフィッティング係数を求め（ステップＳ２）、
求めたフィッティング係数を元に定量補正を行って元素
の重量濃度を求め、未知試料の組成を仮に決定する（ス
テップＳ３）。
【００２０】次に、補正処理の工程において、ステップ
Ｓ１で求めたＸ線吸収係数のデータベースを用いて、少
なくとも未知試料のＸ線スペクトルについて、各波長に
対して吸収補正処理を行う（ステップＳ４）。吸収補正
した未知試料のＸ線スペクトルに対して、複数の標準試
料のＸ線スペクトルを用いて波形フィッティングを行っ
てフィッティング係数を求め（ステップＳ５）、求めた
フィッティング係数を元に定量補正を行って元素の重量
濃度を求め、未知試料の組成を修正する（ステップＳ
６）。吸収補正の前後において未知試料の重量濃度の変
化を求め、この変化が設定値より小さくなった場合に
は、修正が収斂したものとし（ステップＳ７）、最終的
な重量濃度が求められたものとして未知試料の組成を決
定する（ステップＳ８）。
Ｓ１で求めたＸ線吸収係数のデータベースを用いて、少
なくとも未知試料のＸ線スペクトルについて、各波長に
対して吸収補正処理を行う（ステップＳ４）。吸収補正
した未知試料のＸ線スペクトルに対して、複数の標準試
料のＸ線スペクトルを用いて波形フィッティングを行っ
てフィッティング係数を求め（ステップＳ５）、求めた
フィッティング係数を元に定量補正を行って元素の重量
濃度を求め、未知試料の組成を修正する（ステップＳ
６）。吸収補正の前後において未知試料の重量濃度の変
化を求め、この変化が設定値より小さくなった場合に
は、修正が収斂したものとし（ステップＳ７）、最終的
な重量濃度が求められたものとして未知試料の組成を決
定する（ステップＳ８）。
【００２１】したがって、ステップＳ１〜ステップＳ３
によって未知試料の概略組成を求めることができ、ステ
ップＳ４〜ステップＳ７によってＸ線の自己吸収による
影響を除去し、正確な組成を確定することができる。
によって未知試料の概略組成を求めることができ、ステ
ップＳ４〜ステップＳ７によってＸ線の自己吸収による
影響を除去し、正確な組成を確定することができる。
【００２２】本発明によれば、Ｘ線スペクトルの波長毎
にＸ線吸収の補正を行うことによって、全体のＸ線スペ
クトルについて自己吸収による影響を補正した補正Ｘ線
スペクトルを求めることができる、この補正Ｘ線スペク
トルを用いて波形フィッティングを行うことによって、
Ｘ線の自己吸収による影響を除去して、正確な定量分析
を行うことができる。
にＸ線吸収の補正を行うことによって、全体のＸ線スペ
クトルについて自己吸収による影響を補正した補正Ｘ線
スペクトルを求めることができる、この補正Ｘ線スペク
トルを用いて波形フィッティングを行うことによって、
Ｘ線の自己吸収による影響を除去して、正確な定量分析
を行うことができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。はじめに、前記ステップ
Ｓ１で求めるＸ線吸収係数のデータベースについて説明
する。このデータベースは、測定対象となる元素につい
て、波長に対するＸ線の質量吸収係数値を関数として求
めて作成するものである。一般に、各元素の特性Ｘ線波
長におけるＸ線の質量吸収係数は、たとえば B.L.Henke
（1966）などの文献に示されている。このＸ線の質量吸
収係数値を用いて、最小二乗近似によって関数近似を行
う。
参照しながら詳細に説明する。はじめに、前記ステップ
Ｓ１で求めるＸ線吸収係数のデータベースについて説明
する。このデータベースは、測定対象となる元素につい
て、波長に対するＸ線の質量吸収係数値を関数として求
めて作成するものである。一般に、各元素の特性Ｘ線波
長におけるＸ線の質量吸収係数は、たとえば B.L.Henke
（1966）などの文献に示されている。このＸ線の質量吸
収係数値を用いて、最小二乗近似によって関数近似を行
う。
【００２４】この近似関数は、一般に波長に対して対数
直線で近似することができ、以下の式で表すことができ
る。 μ＝ａλb …（１） なお、μはＸ線の質量吸収係数、λはＸ線波長、ａ，ｂ
は定数である。式（１）によって、全波長範囲にＸ線の
質量吸収係数を求めることができる。
直線で近似することができ、以下の式で表すことができ
る。 μ＝ａλb …（１） なお、μはＸ線の質量吸収係数、λはＸ線波長、ａ，ｂ
は定数である。式（１）によって、全波長範囲にＸ線の
質量吸収係数を求めることができる。
【００２５】また、Ｘ線の質量吸収係数は全波長範囲に
渡って単調関数ではなく吸収端が存在し、この吸収端の
波長位置ではＸ線の質量吸収係数が急峻に変化する。こ
の変化は、対象となる原子内にある電子軌道のイオン化
エネルギーに対応している。吸収端波長よりわずかにエ
ネルギーの高い（波長の短い）Ｘ線は、非常に効率よく
イオン化を行うためＸ線の質量吸収係数が大きくなる。
電子軌道は、たとえば、Ｋ殻軌道の場合には１種類のエ
ネルギー順位を有し、Ｌ殻軌道の場合には３種類のエネ
ルギー順位を有し、Ｍ殻軌道の場合には５種類のエネル
ギー順位を有する。そこで、吸収端波長におけるＸ線の
質量吸収係数の変化を、軌道毎に以下のように仮定し
て、Ｘ線の質量吸収係数の関数を決定する。
渡って単調関数ではなく吸収端が存在し、この吸収端の
波長位置ではＸ線の質量吸収係数が急峻に変化する。こ
の変化は、対象となる原子内にある電子軌道のイオン化
エネルギーに対応している。吸収端波長よりわずかにエ
ネルギーの高い（波長の短い）Ｘ線は、非常に効率よく
イオン化を行うためＸ線の質量吸収係数が大きくなる。
電子軌道は、たとえば、Ｋ殻軌道の場合には１種類のエ
ネルギー順位を有し、Ｌ殻軌道の場合には３種類のエネ
ルギー順位を有し、Ｍ殻軌道の場合には５種類のエネル
ギー順位を有する。そこで、吸収端波長におけるＸ線の
質量吸収係数の変化を、軌道毎に以下のように仮定し
て、Ｘ線の質量吸収係数の関数を決定する。
【００２６】図２は吸収端を考慮したＸ線の質量吸収係
数を説明するための図である。図２（ａ）は吸収端がな
い場合の前記式（１）で表されるＸ線の質量吸収係数を
示している。図２（ｂ）はＫ殻に対応する吸収端を有す
る場合のＸ線の質量吸収係数を示し、吸収端に対して長
波長側と短波長側でそれぞれ対数近似した関数（式
（１））を計算し、吸収端波長でこの２つの関数が瞬時
に変化するとしたものである。図２（ｃ）はＬ殻に対応
する吸収端を有する場合のＸ線の質量吸収係数を示し、
Ｋ殻の場合と同様に、吸収端に対して長波長側と短波長
側でそれぞれ対数近似した関数（式（１））を計算し、
吸収端波長で関数が瞬時に変化するとしたものであり、
この変化はＬＩ，ＬII，ＬIII の３段階に分ける。それ
ぞれの吸収端での変化量は、ＬＩ，ＬIIはそれぞれ１．
１７，１．３９の固定値とし、ＬIIIはその残り分を分
配する。
数を説明するための図である。図２（ａ）は吸収端がな
い場合の前記式（１）で表されるＸ線の質量吸収係数を
示している。図２（ｂ）はＫ殻に対応する吸収端を有す
る場合のＸ線の質量吸収係数を示し、吸収端に対して長
波長側と短波長側でそれぞれ対数近似した関数（式
（１））を計算し、吸収端波長でこの２つの関数が瞬時
に変化するとしたものである。図２（ｃ）はＬ殻に対応
する吸収端を有する場合のＸ線の質量吸収係数を示し、
Ｋ殻の場合と同様に、吸収端に対して長波長側と短波長
側でそれぞれ対数近似した関数（式（１））を計算し、
吸収端波長で関数が瞬時に変化するとしたものであり、
この変化はＬＩ，ＬII，ＬIII の３段階に分ける。それ
ぞれの吸収端での変化量は、ＬＩ，ＬIIはそれぞれ１．
１７，１．３９の固定値とし、ＬIIIはその残り分を分
配する。
【００２７】また、図２（ｄ）はＭ殻に対応する吸収端
を有する場合のＸ線の質量吸収係数を示し、Ｋ殻、Ｌ殻
の場合と同様に、吸収端に対して長波長側と短波長側で
それぞれ対数近似した関数（式（１））を計算し、吸収
端波長で関数が瞬時に変化するとしたものであり、この
変化はＭＩ，ＭII，ＭIII ，ＭIV，ＭV の５段階に分け
る。それぞれの吸収端での変化量は、ＭＩ，ＭII，ＭII
I はそれぞれ１．１７５，１．１９１，１．１５７の固
定値とし、ＭIV，ＭV はその残り分を等分配する。
を有する場合のＸ線の質量吸収係数を示し、Ｋ殻、Ｌ殻
の場合と同様に、吸収端に対して長波長側と短波長側で
それぞれ対数近似した関数（式（１））を計算し、吸収
端波長で関数が瞬時に変化するとしたものであり、この
変化はＭＩ，ＭII，ＭIII ，ＭIV，ＭV の５段階に分け
る。それぞれの吸収端での変化量は、ＭＩ，ＭII，ＭII
I はそれぞれ１．１７５，１．１９１，１．１５７の固
定値とし、ＭIV，ＭV はその残り分を等分配する。
【００２８】上記のＸ線の質量吸収係数のデータベース
を形成した後（前記ステップＳ１に対応）、未知試料の
概略組成を求め（前記ステップＳ２，３に対応）、吸収
補正を行ってＸ線の自己吸収による影響を除去した組成
を確定する（前記ステップＳ４〜ステップＳ７に対
応）。以下、この手順例を図３のフローチャート及び図
４〜図９を用いて説明する。なお、図３のフローチャー
トにおいて、ステップＳ１１〜ステップＳ１７は前記ス
テップＳ２に対応し、ステップＳ１８はステップＳ３に
対応し、ステップＳ１９〜ステップＳ２０は前記ステッ
プＳ４に対応し、ステップＳ２２は前記ステップＳ５に
対応し、ステップＳ２３は前記ステップＳ６に対応し、
ステップＳ２４は前記ステップＳ７に対応している。ま
た、図４，５はステップＳ１１〜ステップＳ１７に対応
する図であり、図６はステップＳ１９に対応する図であ
り、図７はステップＳ２０に対応する図であり、図８は
ステップＳ２１に対応する図であり、図９はステップＳ
２２に対応する図である。
を形成した後（前記ステップＳ１に対応）、未知試料の
概略組成を求め（前記ステップＳ２，３に対応）、吸収
補正を行ってＸ線の自己吸収による影響を除去した組成
を確定する（前記ステップＳ４〜ステップＳ７に対
応）。以下、この手順例を図３のフローチャート及び図
４〜図９を用いて説明する。なお、図３のフローチャー
トにおいて、ステップＳ１１〜ステップＳ１７は前記ス
テップＳ２に対応し、ステップＳ１８はステップＳ３に
対応し、ステップＳ１９〜ステップＳ２０は前記ステッ
プＳ４に対応し、ステップＳ２２は前記ステップＳ５に
対応し、ステップＳ２３は前記ステップＳ６に対応し、
ステップＳ２４は前記ステップＳ７に対応している。ま
た、図４，５はステップＳ１１〜ステップＳ１７に対応
する図であり、図６はステップＳ１９に対応する図であ
り、図７はステップＳ２０に対応する図であり、図８は
ステップＳ２１に対応する図であり、図９はステップＳ
２２に対応する図である。
【００２９】なお、以下の例では、未知試料がｍ種類の
元素で構成され、そのうちのｉ番目の元素のピークに、
ｋ番目のピークが重なる場合について説明する。なお、
ｋ番目のピークは定量分析を行うピークとは異なるもの
とする。
元素で構成され、そのうちのｉ番目の元素のピークに、
ｋ番目のピークが重なる場合について説明する。なお、
ｋ番目のピークは定量分析を行うピークとは異なるもの
とする。
【００３０】ステップＳ１１〜ステップＳ１６は、ステ
ップＳ１７で波形フィッティングを行うための処理であ
り、ｉ番目の元素についてはステップＳ１３〜ステップ
Ｓ１５の測定で求めたプロファイルを用い、ｉ番目以外
の元素についてはステップＳ１１，１２，１６の処理に
より行う。
ップＳ１７で波形フィッティングを行うための処理であ
り、ｉ番目の元素についてはステップＳ１３〜ステップ
Ｓ１５の測定で求めたプロファイルを用い、ｉ番目以外
の元素についてはステップＳ１１，１２，１６の処理に
より行う。
【００３１】ｉ番目以外の元素について、ｉ番目以外の
（ｍ−１）種類の標準試料及び未知試料のピーク強度を
測定する。図４（ａ）は標準試料のピーク強度（ＩA ，
ＩB，・・・，ＩK ）を示し、図４（ｂ）は未知試料の
ピーク強度（Ｉa ，Ｉb ，・・・，Ｉk ）を示している
（ステップＳ１１，１２）。求めた標準試料のピーク強
度（ＩA ，ＩB ，・・・，ＩK ）と未知試料のピーク強
度（Ｉa ，Ｉb ，・・・，Ｉk ）との比（Ｃa ＝Ｉa/Ｉ
A ，Ｃb ＝Ｉb/ＩB ，・・・，Ｃk ＝Ｉk/ＩK）を求
め、このＸ線強度比を１次測定値とする。したがって、
ここでは（ｍ−１）この１次測定値が求められる（図４
（ｃ）参照）（ステップＳ１６）。
（ｍ−１）種類の標準試料及び未知試料のピーク強度を
測定する。図４（ａ）は標準試料のピーク強度（ＩA ，
ＩB，・・・，ＩK ）を示し、図４（ｂ）は未知試料の
ピーク強度（Ｉa ，Ｉb ，・・・，Ｉk ）を示している
（ステップＳ１１，１２）。求めた標準試料のピーク強
度（ＩA ，ＩB ，・・・，ＩK ）と未知試料のピーク強
度（Ｉa ，Ｉb ，・・・，Ｉk ）との比（Ｃa ＝Ｉa/Ｉ
A ，Ｃb ＝Ｉb/ＩB ，・・・，Ｃk ＝Ｉk/ＩK）を求
め、このＸ線強度比を１次測定値とする。したがって、
ここでは（ｍ−１）この１次測定値が求められる（図４
（ｃ）参照）（ステップＳ１６）。
【００３２】また、ｉ番目の元素について、図４（ｄ）
に示すように、ｉ番目の元素の標準試料のＸ線スペクト
ルからピークプロファイルを求めてプロファイル１とし
（ステップＳ１３）、ｉ番目の元素のピーク波長におけ
るｋ番目の元素の標準試料のＸ線スペクトルからピーク
プロファイルを求めてプロファイル２とし（ステップＳ
１４）、また、図４（ｅ）に示すように、未知試料のｉ
番目の元素のＸ線スペクトルからピークプロファイルを
求めてプロファイル３とする（ステップＳ１５）。
に示すように、ｉ番目の元素の標準試料のＸ線スペクト
ルからピークプロファイルを求めてプロファイル１とし
（ステップＳ１３）、ｉ番目の元素のピーク波長におけ
るｋ番目の元素の標準試料のＸ線スペクトルからピーク
プロファイルを求めてプロファイル２とし（ステップＳ
１４）、また、図４（ｅ）に示すように、未知試料のｉ
番目の元素のＸ線スペクトルからピークプロファイルを
求めてプロファイル３とする（ステップＳ１５）。
【００３３】そして、ステップＳ１３〜１５で求めた標
準試料のｉ番目の元素のプロファイル１と標準試料のｋ
番目の元素のプロファイル２を用いて、未知試料のプロ
ファイル３の波形フィッティングを行う。図５はこの波
形フィッティングの手順を示している。
準試料のｉ番目の元素のプロファイル１と標準試料のｋ
番目の元素のプロファイル２を用いて、未知試料のプロ
ファイル３の波形フィッティングを行う。図５はこの波
形フィッティングの手順を示している。
【００３４】図５（ｆ）中のｅで示される未知試料のプ
ロファイル３に対して、ｄの一点鎖線及び破線で示され
る元素ｉ，ｋの標準試料のプロファイル１，２をあては
めることによって、波形フィッティングを行う。図５
（ｇ）は、波形フィッティングで得られた元素ｉ，ｋの
プロファイル１，２を示しており、このときのフィッテ
ィング係数Ｃｉがｉ番目の元素の１次測定値とする（図
５（ｈ）参照）（ステップＳ１７）。
ロファイル３に対して、ｄの一点鎖線及び破線で示され
る元素ｉ，ｋの標準試料のプロファイル１，２をあては
めることによって、波形フィッティングを行う。図５
（ｇ）は、波形フィッティングで得られた元素ｉ，ｋの
プロファイル１，２を示しており、このときのフィッテ
ィング係数Ｃｉがｉ番目の元素の１次測定値とする（図
５（ｈ）参照）（ステップＳ１７）。
【００３５】したがって、前記ステップＳ１６、１７に
よって、ｍ種の元素の１次測定値が求まる。このｍ種の
元素の１次測定値を用いて定量補正を行って重量濃度を
求め、濃度値Ｃ１とする。定量補正としては、たとえば
ＺＡＦ補正計算を用いることができる（ステップＳ１
８）。
よって、ｍ種の元素の１次測定値が求まる。このｍ種の
元素の１次測定値を用いて定量補正を行って重量濃度を
求め、濃度値Ｃ１とする。定量補正としては、たとえば
ＺＡＦ補正計算を用いることができる（ステップＳ１
８）。
【００３６】次に、標準試料のプロファイル１，２と未
知試料のプロファイル３について吸収補正処理を行い、
吸収補正したプロファイルに基づいて波形フィッティン
グを再度行ってｉ番目の元素の１次測定値を更新し、補
正した濃度値Ｃ２を求める。
知試料のプロファイル３について吸収補正処理を行い、
吸収補正したプロファイルに基づいて波形フィッティン
グを再度行ってｉ番目の元素の１次測定値を更新し、補
正した濃度値Ｃ２を求める。
【００３７】吸収補正はPhilbertの方法やφ（ρｚ）の
方法を適用することができる。Philbertの方法は、Ｘ線
スペクトルのデータを、Ｉλj （なお、ｊはデータ数で
あり、λｊはデータｊにおける波長を示している）とす
ると、吸収補正計算式は、たとえば、 ｆ（χj）＝（１＋ｈ）／ 〔（１＋χj／σ）［１＋ｈ（１＋χj／σ）］〕 …（２） χj＝μjcosecφ …（３） ｈ＝１．２Ａ／Ｚ2 …（４） σ＝４．５×１０5／（ＥO 1.65−ＥC 1.65） …（５） で表される。なお、μjは波長λｊにおける質量吸収係
数（複数元素で構成される試料では重量ので求める平均
値を用いる）、φはＸ線取り出し角度、Ａは平均原子量
（重量濃度から計算される試料における原子量の平均
値）、Ｚは平均原子番号（重量濃度から計算される試料
における原子番号の平均値）、σはレナード常数、ＥO
は加速電圧、ＥC は最小励起電圧である。
方法を適用することができる。Philbertの方法は、Ｘ線
スペクトルのデータを、Ｉλj （なお、ｊはデータ数で
あり、λｊはデータｊにおける波長を示している）とす
ると、吸収補正計算式は、たとえば、 ｆ（χj）＝（１＋ｈ）／ 〔（１＋χj／σ）［１＋ｈ（１＋χj／σ）］〕 …（２） χj＝μjcosecφ …（３） ｈ＝１．２Ａ／Ｚ2 …（４） σ＝４．５×１０5／（ＥO 1.65−ＥC 1.65） …（５） で表される。なお、μjは波長λｊにおける質量吸収係
数（複数元素で構成される試料では重量ので求める平均
値を用いる）、φはＸ線取り出し角度、Ａは平均原子量
（重量濃度から計算される試料における原子量の平均
値）、Ｚは平均原子番号（重量濃度から計算される試料
における原子番号の平均値）、σはレナード常数、ＥO
は加速電圧、ＥC は最小励起電圧である。
【００３８】各Ｘ線スペクトルのデータ列Ｉλjに対し
てｆ（χj）を乗算する計算を行うことによって、吸収
補正したデータ列Ｉλj’を得ることができる。 Ｉλj’＝ｆ（χj）×Ｉλj …（６） 上記式において、質量吸収係数μは波長に対する関数と
して、データ列Ｉλj中のそれぞれの波長に対応するμ
の値を用いて計算を行う。
てｆ（χj）を乗算する計算を行うことによって、吸収
補正したデータ列Ｉλj’を得ることができる。 Ｉλj’＝ｆ（χj）×Ｉλj …（６） 上記式において、質量吸収係数μは波長に対する関数と
して、データ列Ｉλj中のそれぞれの波長に対応するμ
の値を用いて計算を行う。
【００３９】ここで、φは装置固有の値、ＥCは測定す
る特性Ｘ線に固有の値、ＥO，σは分析条件で定まるパ
ラメータであり、データ列Ｉλj において一定とするこ
とができる。また、Ａ，Ｚは繰り返しの計算毎に値は変
化するが、１つのデータ列では一定とすることができ
る。また、μj ，Ａ，Ｚは、標準試料については組成か
ら計算することができ、未知試料については波形フィッ
ティングで得た組成値から計算することができる。
る特性Ｘ線に固有の値、ＥO，σは分析条件で定まるパ
ラメータであり、データ列Ｉλj において一定とするこ
とができる。また、Ａ，Ｚは繰り返しの計算毎に値は変
化するが、１つのデータ列では一定とすることができ
る。また、μj ，Ａ，Ｚは、標準試料については組成か
ら計算することができ、未知試料については波形フィッ
ティングで得た組成値から計算することができる。
【００４０】図６，７は標準試料のプロファイル１，２
の吸収補正を説明する図である。図６（ａ），７（ａ）
のプロファイル１，２に対して、図６（ｂ），７（ｂ）
の質量吸収係数を用いて前記式（２）〜（６）の計算を
行うことによって、吸収補正したプロファイル１−２，
２−２を求める（ステップＳ１９，２０）。
の吸収補正を説明する図である。図６（ａ），７（ａ）
のプロファイル１，２に対して、図６（ｂ），７（ｂ）
の質量吸収係数を用いて前記式（２）〜（６）の計算を
行うことによって、吸収補正したプロファイル１−２，
２−２を求める（ステップＳ１９，２０）。
【００４１】また、図８は未知試料のプロファイル３の
吸収補正を説明する図である。図８（ａ）のプロファイ
ル３に対して、図８（ｂ）の質量吸収係数を用いて前記
式（２）〜（６）の計算を行うことによって、吸収補正
したプロファイル３−２を求める。なお、平均原子量
Ａ、平均原子番号Ｚ、及び質量吸収係数μは、濃度値か
ら求めることができる（ステップＳ２１）。
吸収補正を説明する図である。図８（ａ）のプロファイ
ル３に対して、図８（ｂ）の質量吸収係数を用いて前記
式（２）〜（６）の計算を行うことによって、吸収補正
したプロファイル３−２を求める。なお、平均原子量
Ａ、平均原子番号Ｚ、及び質量吸収係数μは、濃度値か
ら求めることができる（ステップＳ２１）。
【００４２】次に、前記ステップＳ１９〜ステップＳ２
１の吸収補正で得た標準試料のプロファイル１−２，プ
ロファイル２−２を未知試料のプロファイル３−２に適
用して波長フィッティングを行う。
１の吸収補正で得た標準試料のプロファイル１−２，プ
ロファイル２−２を未知試料のプロファイル３−２に適
用して波長フィッティングを行う。
【００４３】図９は本発明の波形フィッティングを説明
するための図である。図９（ａ），（ｂ）は元素Ｉと元
素Ｋについての標準試料の吸収補正後のプロファイル１
−２，２−２を示している。この元素Ｉと元素Ｋのプロ
ファイル１−２，２−２を、図９（ｃ）に示す未知試料
の吸収補正後のプロファイル３−２にあてはめて波形フ
ィッティングを行う。図９（ｄ），（ｅ）は、波形フィ
ッティングを行うために、元素Ｉと元素Ｋの各プロファ
イルの強度比を変更した状態を示しており、この変更の
度合いを示すフィッティング係数が定量分析の測定値と
なる。なお、一点鎖線及び破線は変更後のプロファイル
を示している。なお、図９(f) は、波形フィッティング
後のプロファイルを重ね合わせた状態を示すものであ
り、未知試料のプロファイルに近似したプロファイルを
得ることができる。したがって、吸収補正を行うことに
よって、前記図１０に示した吸収補正を行わない場合の
波長フィッティングよりもより正確な波形フィッティン
グを行うことができる。この波形フィッティングで得た
フィッティング係数によって、ｉ番目の元素の１次測定
値を更新する（ステップＳ２２）。
するための図である。図９（ａ），（ｂ）は元素Ｉと元
素Ｋについての標準試料の吸収補正後のプロファイル１
−２，２−２を示している。この元素Ｉと元素Ｋのプロ
ファイル１−２，２−２を、図９（ｃ）に示す未知試料
の吸収補正後のプロファイル３−２にあてはめて波形フ
ィッティングを行う。図９（ｄ），（ｅ）は、波形フィ
ッティングを行うために、元素Ｉと元素Ｋの各プロファ
イルの強度比を変更した状態を示しており、この変更の
度合いを示すフィッティング係数が定量分析の測定値と
なる。なお、一点鎖線及び破線は変更後のプロファイル
を示している。なお、図９(f) は、波形フィッティング
後のプロファイルを重ね合わせた状態を示すものであ
り、未知試料のプロファイルに近似したプロファイルを
得ることができる。したがって、吸収補正を行うことに
よって、前記図１０に示した吸収補正を行わない場合の
波長フィッティングよりもより正確な波形フィッティン
グを行うことができる。この波形フィッティングで得た
フィッティング係数によって、ｉ番目の元素の１次測定
値を更新する（ステップＳ２２）。
【００４４】上記で求めた１次測定値を用いて定量補正
を行って濃度値を補正し、濃度値Ｃ２とする。未知試料
のＸ線スペクトルの吸収補正をPhilbertの方法で行う場
合、このPhilbertの方法は吸収補正（Ａ）を含んでいる
ため、この吸収補正後に行う定量補正では、原子番号補
正（Ｚ）と蛍光励起補正（Ｆ）の補正を行う（ステップ
Ｓ２３）。ステップＳ１８で求めた濃度値Ｃ１と濃度値
Ｃ２の差を求め、前記ステップＳ１８〜ステップＳ２４
を繰り返して、該差から補正処理が収斂したか否かを判
定する。この判定は、たとえば、濃度値Ｃ１と濃度値Ｃ
２の差が、濃度値Ｃ１（Ｃ２）から所定の比率以下に低
下したか否かで行うことができる。
を行って濃度値を補正し、濃度値Ｃ２とする。未知試料
のＸ線スペクトルの吸収補正をPhilbertの方法で行う場
合、このPhilbertの方法は吸収補正（Ａ）を含んでいる
ため、この吸収補正後に行う定量補正では、原子番号補
正（Ｚ）と蛍光励起補正（Ｆ）の補正を行う（ステップ
Ｓ２３）。ステップＳ１８で求めた濃度値Ｃ１と濃度値
Ｃ２の差を求め、前記ステップＳ１８〜ステップＳ２４
を繰り返して、該差から補正処理が収斂したか否かを判
定する。この判定は、たとえば、濃度値Ｃ１と濃度値Ｃ
２の差が、濃度値Ｃ１（Ｃ２）から所定の比率以下に低
下したか否かで行うことができる。
【００４５】なお、φ（ρｚ）の方法を用いて吸収補正
を行う場合には、 φ（ρｚ）＝γ0exp（−α2（ρｚ）2）・（１−ｑ・exp（−βρｚ）） …（７） の補正式を用いることができる。なお、γ0,α，β，ｑ
は、たとえば、Brown＆Packwood，Bastin＆Heijliger
s，Pouchou＆Pichoir，Merlet などの種々の計算式が提
案されている。
を行う場合には、 φ（ρｚ）＝γ0exp（−α2（ρｚ）2）・（１−ｑ・exp（−βρｚ）） …（７） の補正式を用いることができる。なお、γ0,α，β，ｑ
は、たとえば、Brown＆Packwood，Bastin＆Heijliger
s，Pouchou＆Pichoir，Merlet などの種々の計算式が提
案されている。
【００４６】上記計算式を用いて、各Ｘ線波長に対し
て、それぞれ試料中でのＸ線発生の深さ分布を計算し、
この分布から、ある深さでの試料中でのＸ線吸収量を以
下の式で計算することができる。
て、それぞれ試料中でのＸ線発生の深さ分布を計算し、
この分布から、ある深さでの試料中でのＸ線吸収量を以
下の式で計算することができる。
【００４７】 φ’（ρｚ）＝φ（ρｚ）・exp（−χρｚ） …（８） 全深さで積分して、吸収によって実際に検出されるＸ線
量と全発生量の比をｆ（χj）として求めると、 ｆ（χj）＝∫φ（ρｚ）dρｚ／∫φ（ρｚ）exp（−χρｚ）dρｚ…（９） Philbertの方法に用いた式と同様に計算を行うことがで
きる。
量と全発生量の比をｆ（χj）として求めると、 ｆ（χj）＝∫φ（ρｚ）dρｚ／∫φ（ρｚ）exp（−χρｚ）dρｚ…（９） Philbertの方法に用いた式と同様に計算を行うことがで
きる。
【００４８】なお、未知試料のＸ線スペクトルの吸収補
正をφ（ρｚ）の方法で行う場合、このφ（ρｚ）の方
法は吸収補正（Ａ）と原子番号補正（Ｚ）とを含んでい
るため、このφ（ρｚ）の方法の吸収補正後に行う定量
補正では、蛍光励起補正（Ｆ）の補正を行う。
正をφ（ρｚ）の方法で行う場合、このφ（ρｚ）の方
法は吸収補正（Ａ）と原子番号補正（Ｚ）とを含んでい
るため、このφ（ρｚ）の方法の吸収補正後に行う定量
補正では、蛍光励起補正（Ｆ）の補正を行う。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＸ線スペ
クトルによる定量分析方法によれば、正確な波形フィッ
ティングによって定量誤差を減少させることができる。
クトルによる定量分析方法によれば、正確な波形フィッ
ティングによって定量誤差を減少させることができる。
【図１】本発明のＸ線スペクトルによる定量分析方法を
説明するためのフローチャートである。
説明するためのフローチャートである。
【図２】吸収端を考慮した質量吸収係数を説明するため
の図である。
の図である。
【図３】本発明のＸ線スペクトルによる定量分析方法の
手順を説明するためのフローチャートである。
手順を説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明のＸ線スペクトルによる定量分析方法の
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
【図５】本発明のＸ線スペクトルによる定量分析方法の
手順を説明するための図である。
手順を説明するための図である。
【図６】本発明の波形フィッティングを説明するための
標準試料のプロファイルを説明する図である。
標準試料のプロファイルを説明する図である。
【図７】本発明の波形フィッティングを説明するための
標準試料のプロファイルを説明する図である。
標準試料のプロファイルを説明する図である。
【図８】本発明の波形フィッティングを説明するための
未知試料のプロファイルを説明する図である。
未知試料のプロファイルを説明する図である。
【図９】本発明の波形フィッティングを説明するための
図である。
図である。
【図１０】従来の波形フィッティングを説明するための
図である。
図である。
λ…波長、Ｉ…Ｘ線強度、logμ…質量吸収係数。
Claims (1)
- 【請求項１】 未知試料のＸ線スペクトルに対して標準
試料のＸ線スペクトルを波形フィッティングして未知試
料の定量分析を行う定量分析方法において、 少なくとも未知試料のＸ線スペクトルについて、波長毎
にＸ線吸収によるＸ線強度の減衰を吸収補正して補正Ｘ
線スペクトルを求め、 補正Ｘ線スペクトルを用いた波形フィッティングにより
元素毎のＸ線スペクトルを求め、 前記元素毎のＸ線スペクトルに対して定量補正を行う、
Ｘ線スペクトルによる定量分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10079302A JPH11271244A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | Ｘ線スペクトルによる定量分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10079302A JPH11271244A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | Ｘ線スペクトルによる定量分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271244A true JPH11271244A (ja) | 1999-10-05 |
Family
ID=13686057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10079302A Pending JPH11271244A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | Ｘ線スペクトルによる定量分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271244A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007178445A (ja) * | 2007-03-05 | 2007-07-12 | Jeol Ltd | 試料分析装置における定量分析方法 |
| JP2010107277A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Nippon Paper-Pak Co Ltd | 有機薄膜の膜厚測定方法 |
| CN106383135A (zh) * | 2016-08-18 | 2017-02-08 | 广州市怡文环境科技股份有限公司 | 基于全反射x射线荧光光谱的元素定量分析方法和系统 |
| KR20170114536A (ko) * | 2016-04-05 | 2017-10-16 | 주식회사 엘지화학 | 그래파이트 및 소프트 카본 혼합물의 중량비 분석 방법 및 분석 시스템 |
| JP2019020409A (ja) * | 2017-07-14 | 2019-02-07 | マルバーン パナリティカル ビー ヴィ | フィッティングを使用した複数のｘ線スペクトラムの分析 |
-
1998
- 1998-03-26 JP JP10079302A patent/JPH11271244A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007178445A (ja) * | 2007-03-05 | 2007-07-12 | Jeol Ltd | 試料分析装置における定量分析方法 |
| JP2010107277A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Nippon Paper-Pak Co Ltd | 有機薄膜の膜厚測定方法 |
| KR20170114536A (ko) * | 2016-04-05 | 2017-10-16 | 주식회사 엘지화학 | 그래파이트 및 소프트 카본 혼합물의 중량비 분석 방법 및 분석 시스템 |
| CN106383135A (zh) * | 2016-08-18 | 2017-02-08 | 广州市怡文环境科技股份有限公司 | 基于全反射x射线荧光光谱的元素定量分析方法和系统 |
| JP2019020409A (ja) * | 2017-07-14 | 2019-02-07 | マルバーン パナリティカル ビー ヴィ | フィッティングを使用した複数のｘ線スペクトラムの分析 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040902 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060126 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060330 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A02 | Decision of refusal |
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