WO2021124859A1 - エネルギー分散型蛍光ｘ線分析装置、評価方法及び評価プログラム - Google Patents

エネルギー分散型蛍光ｘ線分析装置、評価方法及び評価プログラム Download PDF

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WO2021124859A1
WO2021124859A1 PCT/JP2020/044556 JP2020044556W WO2021124859A1 WO 2021124859 A1 WO2021124859 A1 WO 2021124859A1 JP 2020044556 W JP2020044556 W JP 2020044556W WO 2021124859 A1 WO2021124859 A1 WO 2021124859A1
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spectrum
evaluation
ray
evaluation value
peak
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PCT/JP2020/044556
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Inventor
真也 菊田
Original Assignee
株式会社リガク
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076—X-ray fluorescence

Definitions

  • the present invention relates to an energy dispersive X-ray fluorescence analyzer, an evaluation method, and an evaluation program.
  • the fluorescent X-ray analyzer can analyze the elements contained in the sample.
  • an energy dispersive X-ray fluorescence analyzer irradiates a sample with primary X-rays and acquires the emitted secondary X-rays as a spectrum having a width in the energy direction. Quantitative analysis of the elements contained in the sample is performed based on the energy position and intensity of the peak contained in the spectrum.
  • Patent Document 1 discloses a point of calculating a peak measurement time at which a specified analysis accuracy can be obtained. Further, Patent Document 2 below discloses that the expected accuracy for a preset measurement time is calculated and displayed.
  • Patent Document 1 cannot evaluate the reliability of a series of processes for performing quantitative analysis.
  • Patent Document 2 merely calculates the expected accuracy with respect to the measurement time, and cannot evaluate the reliability of a series of processes for performing quantitative analysis. Therefore, the user needs to look at the spectrum to judge the reliability of the result.
  • a user who is not familiar with the fluorescent X-ray analysis method cannot verify the reliability of the measurement result even if he / she sees the spectrum, so he / she trusts only the numerical value of the quantitative analysis without confirming the spectrum. .. Therefore, there is a problem that the user does not notice even if there is an abnormality in the analysis process without confirming whether the analysis result can be trusted.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is that even a user who is not familiar with the fluorescent X-ray analysis method can easily judge the reliability of the result of the quantitative analysis, and the measurement conditions.
  • an energy dispersive X-ray fluorescence analyzer, an evaluation method, and an evaluation program that can promptly recognize an abnormality when there is an abnormality in the X-ray fluorescence analyzer, sample, sample pretreatment, etc. ..
  • the energy dispersive fluorescent X-ray analyzer is a spectrum representing the relationship between the intensity and energy of secondary X-rays based on the secondary X-rays emitted from a sample irradiated with primary X-rays.
  • a spectrum acquisition unit that acquires the spectrum, a calculation unit that quantitatively analyzes the elements contained in the sample based on the peak contained in the spectrum, a process in which the spectrum acquisition unit acquires the spectrum, and a quantification performed by the calculation unit. It is characterized by having a process for performing analysis and an evaluation unit for evaluating the reliability of a series of processes.
  • the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 2 is the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 1, wherein the evaluation unit has a plurality of different calculation methods for the series of processes. It is characterized in that the evaluation value of is calculated and the total evaluation value obtained by synthesizing the plurality of evaluation values is calculated.
  • the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 3 is the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 2, and further includes a display unit that individually displays the plurality of evaluation values in a graph. , Characterized by.
  • the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 4 is the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 2 or 3, and the spectrum acquisition unit acquires the spectrum of the plurality of evaluation values. It is characterized in that it includes an evaluation value calculated based on the measurement conditions at the time of the operation.
  • the energy dispersive fluorescent X-ray analyzer according to claim 5 is the energy dispersive fluorescent X-ray analyzer according to any one of claims 2 to 4, wherein the plurality of evaluation values are based on the shape of the spectrum. It is characterized in that it includes the evaluation value calculated by.
  • the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 6 is the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to any one of claims 2 to 5, wherein the plurality of evaluation values are fitted to the spectrum. It is characterized by including an evaluation value calculated based on the fitting parameters obtained as a result.
  • the energy dispersive fluorescent X-ray analyzer according to claim 7 is the energy dispersive fluorescent X-ray analyzer according to claim 4, and the evaluation value is a measurement time which is a time for detecting the secondary X-ray. It is characterized in that it is calculated based on.
  • the energy dispersive fluorescent X-ray analyzer according to claim 8 is the energy dispersive fluorescent X-ray analyzer according to claim 4, and the evaluation value is a measurement time which is a time for detecting the secondary X-ray. Of these, it is characterized in that it is calculated based on the ratio of the time occupied by the dead time that does not contribute to the measurement result.
  • the energy dispersive fluorescent X-ray analyzer according to claim 9 is the energy dispersive fluorescent X-ray analyzer according to claim 4, and the evaluation value is the secondary X-ray when detecting the secondary X-ray. It is characterized in that it is calculated based on whether or not an attenuator that attenuates X-rays is used.
  • the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 10 is the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 5, and the evaluation value is the intensity of the peak included in the spectrum and the peak. It is characterized in that it is calculated based on a matching rate with a correspondingly preset reference strength.
  • the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 11 is the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 5, and the evaluation value is the intensity of the peak included in the spectrum and other than the peak.
  • the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 12 is the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 5, wherein the evaluation value is a measured value of the energy of the peak included in the spectrum.
  • the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 13 is the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 5, wherein the evaluation value is a measured value representing the width of a peak included in the spectrum.
  • the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 14 is the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 6, wherein the evaluation value is a peak included in the spectrum and the peak. It is characterized in that it is calculated based on the matching rate with the profile obtained by the fitting to be performed.
  • the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 15 is the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer according to claim 6, wherein the evaluation value is a quantification of an element to be analyzed by fitting to the spectrum. It is characterized in that it is calculated based on the number of combinations in which peaks caused by different elements are determined to overlap with respect to the peaks used in.
  • the evaluation method according to claim 16 is based on the secondary X-rays emitted from the sample irradiated with the primary X-rays by the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer, and the intensity and energy of the secondary X-rays.
  • the measurement step of acquiring the spectrum representing the relationship the calculation step of quantitatively analyzing the elements contained in the sample based on the peak contained in the spectrum, the process of acquiring the spectrum in the measurement step, and the calculation step. It is characterized by including a process of performing the quantitative analysis and an evaluation step of evaluating the reliability of a series of processes.
  • the evaluation program according to claim 17 is a computer-executed program used in an energy dispersive X-ray fluorescence analyzer, and is based on secondary X-rays emitted from a sample irradiated with primary X-rays.
  • a calculation step of quantitatively analyzing the elements contained in the sample based on the peak contained in the spectrum In the measurement step of acquiring a spectrum representing the relationship between the intensity and energy of the secondary X-ray, a calculation step of quantitatively analyzing the elements contained in the sample based on the peak contained in the spectrum, and the measurement step.
  • An evaluation program characterized by having the computer execute a process of acquiring a spectrum, a process of performing the quantitative analysis in the calculation step, and an evaluation step of evaluating the reliability of a series of processes.
  • the fluorescent X-ray analyzer when there is an abnormality in the measurement conditions, the fluorescent X-ray analyzer, or the like, the probable cause can be recognized at a glance.
  • FIG. 1 is a diagram showing a schematic example of a fluorescent X-ray analyzer 100.
  • the fluorescent X-ray analyzer 100 includes a spectrum acquisition unit 102 and a control unit 104.
  • the spectrum acquisition unit 102 acquires a spectrum showing the relationship between the intensity and energy of the secondary X-rays based on the secondary X-rays emitted from the sample 116 irradiated with the primary X-rays.
  • the spectrum acquisition unit 102 includes an X-ray source 106, a sample table 108, an attenuator 110, a detector 112, and a multi-channel analyzer 114.
  • the sample table 108 is placed with the sample 116 to be analyzed.
  • the X-ray source 106 irradiates the surface of the sample 116 with primary X-rays. Secondary X-rays are emitted from the sample 116 irradiated with the primary X-rays.
  • the attenuator 110 is placed between the sample 116 and the detector 112 to attenuate the intensity of secondary X-rays. By arranging the attenuator 110, the dead time described later can be shortened.
  • the attenuator 110 may be arranged between the X-ray source 106 and the sample 116 to attenuate the primary X-rays.
  • the detector 112 is, for example, a semiconductor detector such as an SDD (Silicon Drift Detector) detector.
  • the detector 112 measures the intensity of secondary X-rays (fluorescent X-rays and scattered rays) and outputs a pulse signal having a peak value corresponding to the energy of the measured secondary X-rays.
  • the multi-channel analyzer 114 counts the pulse signal output from the detector 112 according to the peak value. Specifically, for example, the multi-channel analyzer 114 counts the output pulse signal of the detector 112 for each channel corresponding to energy and outputs it as the intensity of secondary X-rays.
  • the spectrum acquisition unit 102 acquires the output of the multi-channel analyzer 114 as a spectrum.
  • the spectrum acquired by the spectrum acquisition unit 102 is referred to as a measurement spectrum or simply a spectrum.
  • the control unit 104 controls the X-ray source 106, the sample table 108, the presence / absence of the attenuator 110, and the operations of the detector 112 and the multi-channel analyzer 114. Further, the control unit 104 includes a calculation unit 118, an evaluation unit 120, and a display unit 122. Specifically, the control unit 104 is a computer included in the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer 100, and has a storage unit (not shown) in which an evaluation program is stored. The control unit 104 may be a computer provided outside the spectrum acquisition unit 102 and connected to the spectrum acquisition unit 102.
  • the evaluation program is a program executed by a computer used in the energy dispersive X-ray fluorescence analyzer 100, and is a program that causes the computer to execute each step included in the evaluation method described later.
  • the calculation unit 118 quantitatively analyzes the elements contained in the sample 116 based on the peaks contained in the spectrum. Specifically, for example, the calculation unit 118 performs fitting for each peak included in the measurement spectrum acquired by the spectrum acquisition unit 102, and acquires a theoretical profile.
  • the theoretical profile is expressed by adding the approximate functions of each peak.
  • the approximate function of each peak is composed of an appropriate function such as a Gaussian function representing the shape of the peak, and the theoretical intensity calculated by using the content rate of each element contained in the sample 116, the physical constant, and the device constant. Since the theoretical profile is a function with the content of each element as a parameter, the content that best fits the theoretical profile with respect to the spectrum obtained by the measurement is obtained by the least squares method.
  • the calculation unit 118 may perform quantitative analysis without performing peak fitting. For example, the calculation unit 118 may calculate the peak intensity based on the measurement spectrum in the set energy range, and perform quantitative analysis by the calibration curve method based on the calculated peak intensity.
  • the evaluation unit 120 evaluates the reliability of a series of processes, that is, the process in which the spectrum acquisition unit 102 acquires the spectrum and the process in which the calculation unit 118 performs the quantitative analysis. Specifically, for example, the evaluation unit 120 calculates a plurality of evaluation values having different calculation methods for a series of processes, and calculates a comprehensive evaluation value obtained by synthesizing the plurality of evaluation values.
  • the plurality of evaluation values are, for example, an evaluation value calculated based on the measurement conditions when the spectrum acquisition unit 102 acquires the spectrum, an evaluation value calculated based on the shape of the spectrum, or fitting to the spectrum. Includes evaluation values calculated based on the resulting fitting parameters.
  • the display unit 122 individually displays a plurality of evaluation values in a graph. Specifically, for example, the display unit 122 displays each evaluation value calculated by the evaluation unit 120 as a graph such as a radar chart, a bar graph, or a line graph. Further, the display unit 122 may display the comprehensive evaluation value calculated by the evaluation unit 120 by superimposing it on the spectrum.
  • the sample 116 is placed and the measurement conditions are set (S202). Specifically, for example, the sample 116 to be analyzed is placed on the sample table 108, and each measurement condition is set.
  • the measurement condition to be set is, for example, the measurement time, which is the time for detecting the secondary X-ray emitted from the sample 116, and the presence or absence of the attenuator 110 for attenuating the secondary X-ray when detecting the secondary X-ray. ..
  • the measurement conditions to be set may include the magnitude of the current and voltage of the X-ray source 106, the angle at which the primary X-ray is irradiated to the sample 116, the position where the primary X-ray is irradiated, and the like. ..
  • the spectrum acquisition unit 102 acquires the spectrum (S204). Specifically, for example, the X-ray source 106 irradiates the sample 116 with primary X-rays according to the measurement conditions set in S202. The detector 112 measures the intensity of the secondary X-ray and outputs a pulse signal. The counter 114 counts the pulse signal output from the detector 112 according to the peak value. Then, the spectrum acquisition unit 102 acquires the output of the multi-channel analyzer 114 as a spectrum.
  • the spectrum acquisition unit 102 acquires measurement conditions that fluctuate in the process of acquiring the spectrum. For example, the spectrum acquisition unit 102 acquires the ratio of the time occupied by the dead time that does not contribute to the measurement result to the measurement time, which is the time for detecting the secondary X-ray, as the measurement condition.
  • the calculation unit 118 performs a quantitative analysis based on the acquired spectrum (S206). Specifically, for example, the calculation unit 118 performs fitting for each peak included in the spectrum acquired in S204, and performs quantitative analysis by acquiring a theoretical profile that matches the measurement spectrum.
  • the evaluation unit 120 calculates the evaluation value (S208). Specifically, for example, the evaluation unit 120 evaluates the reliability of a series of processes of the process performed by the spectrum acquisition unit 102 in S202 and S204 and the process performed by the calculation unit 118 in S206.
  • the evaluation unit 120 calculates an evaluation value based on the measurement time. Specifically, in the fluorescent X-ray analysis method, the shorter the measurement time for the detector 112 to detect the secondary X-ray, the lower the reliability of the analysis due to the statistical fluctuation. On the other hand, the longer the measurement time, the higher the reliability of the analysis. That is, there is a correlation between the measurement time and the reliability of the series of processes involved in the analysis. Therefore, the evaluation unit 120 calculates the evaluation value so that the longer the measurement time, the larger the value. Specifically, for example, the evaluation unit 120 sets the evaluation value to 100 when the measurement time Tm is 1000 seconds, and the first evaluation value V 1 according to Equation 1 so that the evaluation value becomes smaller as the measurement time Tm becomes shorter. Is calculated.
  • the evaluation unit 120 calculates the evaluation value based on the ratio of the dead time that does not contribute to the measurement result to the measurement time.
  • the detector 112 cannot detect even if the next secondary X-ray is incident between the time when one secondary X-ray is incident and the time when one pulse signal is output. There is a period.
  • the pulse-height analyzer 114 shapes the waveform of the pulse signal output by the detector 112, but if the next pulse signal is input while the waveform is shaped for one pulse signal, the count is dropped. That is, the multi-channel analyzer 114 has a period during which secondary X-rays cannot be detected.
  • the evaluation unit 120 calculates the evaluation value so that the smaller the dead time, the larger the value. Specifically, for example, the evaluation unit 120 sets the evaluation value to 100 when the dead time Td is 0%, and the second evaluation value V 2 according to Equation 2 so that the evaluation value becomes smaller as the dead time Td increases. Is calculated.
  • the evaluation unit 120 calculates the evaluation value based on whether or not the attenuator 110 is used. Specifically, the attenuator 110 has the effect of shortening the dead time, while attenuating the intensity of the secondary X-rays incident on the detector 112. The attenuation of the intensity of the secondary X-ray reduces the reliability of the analysis. Therefore, the evaluation unit 120 calculates the evaluation value so that the value is small when the attenuator 110 is used and the value is large when the attenuator 110 is not used. Specifically, for example, in the evaluation unit 120, the evaluation value becomes 100 when the attenuator 110 is not used, and the evaluation value becomes smaller as the attenuation rate A (%) of the attenuator 110 increases. Calculate the evaluation value V 3.
  • the evaluation unit 120 calculates the evaluation value based on the concordance rate between the intensity of the peak included in the spectrum and the reference intensity set in advance corresponding to the peak. Specifically, for example, when total reflection fluorescent X-ray analysis is performed, the primary X-ray is applied to the sample 116 at an incident angle equal to or less than the total reflection angle with respect to the surface of the sample 116.
  • the sample 116 is a thin disk-shaped substrate such as a wafer and the substrate has bending or warpage, even if the X-ray source 106 is fixed, each position (measurement point) to be measured
  • the incident angle formed by the primary X-ray and the surface of the substrate varies.
  • the incident angle When the incident angle is larger than the total reflection critical angle, the change in the intensity of the secondary X-ray due to the change in the incident angle is small, but the total reflection fluorescent X-ray analysis cannot be performed.
  • the incident angle is smaller than the total reflection critical angle, if the incident angle for each measurement point is slightly different, the intensity of the secondary X-rays counted for each measurement point will be significantly different.
  • the incident angle at the position to be analyzed of the substrate and, for example, the incident angle at the center of the substrate as the reference position are substantially the same. Therefore, the intensity of the peak 302 included in the spectrum acquired when the position to be analyzed on the substrate is irradiated with the primary X-ray and the intensity of the peak 302 acquired in advance by irradiating the center of the substrate with the primary X-ray.
  • the intensity (reference intensity) of the corresponding peak 304 included in the spectrum is substantially the same.
  • the evaluation unit 120 determines the intensity (measurement intensity) of the peak included in the spectrum acquired when the position to be analyzed on the substrate is irradiated with the primary X-ray, and the primary X-ray with respect to the center of the substrate.
  • the evaluation value is calculated based on the concordance rate with the intensity (reference intensity) of the corresponding peak included in the spectrum acquired in advance by irradiating with.
  • the evaluation unit 120 has an evaluation value of 100 when the measurement intensity Im is the same as the reference intensity Is, and the evaluation value decreases as the difference between the measurement intensity Im and the reference intensity Is increases.
  • the fourth evaluation value V 4 is calculated according to the equation 4.
  • the reference intensity may be the intensity obtained for the standard sample instead of the sample to be measured.
  • the evaluation unit 120 calculates an evaluation value based on the ratio of the total intensity of each peak included in the spectrum and the background intensity other than the peak.
  • the secondary X-rays include not only the element-specific fluorescent X-rays used in the elemental analysis but also the background that does not contribute to the elemental analysis such as scattered rays and diffraction lines of the primary X-rays.
  • the evaluation unit 120 when the ratio of the background intensity Ib to the total intensity It of the peaks of each fluorescent X-ray is 1, the evaluation value becomes 0, and the total of the peaks with respect to the background intensity Ib.
  • the fifth evaluation value V 5 is calculated according to Equation 5 so that the evaluation value increases as the ratio of the intensity It increases. According to Equation 5, it is possible to obtain an evaluation value in consideration of the influence of not only fluorescent X-rays but also scattered rays and diffracted rays.
  • the background intensity may be fitted from the entire spectrum or may be the sum of the background intensities corresponding to the peaks of each fluorescent X-ray.
  • FIG. 4 is a diagram showing the peaks and backgrounds separated as a result of fitting the measured spectrum.
  • the evaluation unit 120 calculates the background intensity Ib and the total intensity It of each peak in an appropriately set energy range. For example, the evaluation unit 120 may calculate the fifth evaluation value based on the total intensity, the background intensity, and the equation 5 of each peak in the entire energy range shown in FIG. Further, the evaluation unit 120 may calculate the fifth evaluation value based on the total intensity, the background intensity, and the equation 5 of each peak in the predetermined energy range of FIG.
  • the evaluation unit 120 calculates the evaluation value based on the difference between the measured value of the peak energy included in the spectrum and the theoretical value of the peak energy.
  • the energy of fluorescent X-rays emitted from a specific element is a value (theoretical value) peculiar to the element.
  • the detector 112 or the multi-channel analyzer 114 so that the energy contained in the measured spectrum (measured value of the peak position) and the energy specific to the element corresponding to the peak (theoretical value of the peak position) match. Is set. If a problem occurs in the detector 112 or the multi-channel analyzer 114, there will be a difference between the measured value at the peak position and the theoretical value.
  • FIGS. 5 (a) and 5 (b) are measurement results for the same sample.
  • FIG. 5A is a spectrum measured using a normal detector 112 and a pulse-height analyzer 114.
  • FIG. 5B is a spectrum measured using the problematic detector 112 and the pulse-height analyzer 114.
  • Each peak in FIG. 5 (b) shifts to a higher energy side as the energy is higher than the corresponding peak in FIG. 5 (a).
  • the evaluation unit 120 calculates an evaluation value for at least one peak using the magnitude of the difference. Specifically, in the evaluation unit 120, the smaller the difference between the measured value Em of the peak energy included in the spectrum and the theoretical value Es of the peak energy, the larger the value, and the larger the difference, the smaller the value.
  • the evaluation value is calculated so as to be. For example, the evaluation unit 120 calculates the sixth evaluation value V 6 according to the equation 6.
  • the evaluation unit 120 calculates the evaluation value based on the difference between the measured value representing the width of the peak included in the spectrum and the reference value representing the width preset corresponding to the peak. ..
  • the measured value representing the width of the peak is, for example, the half width.
  • the half-value width of the peak is large due to a failure of the detector 112 or the multi-channel analyzer 114, an abnormality in the primary X-ray spectroscopy (monochromator), and an increase in counting and noise including outside the spectrum display range.
  • the full width at half maximum of the peak included in the measured spectrum may be larger than the full width at half maximum of the peak included in the preset reference spectrum.
  • the half width of the peak included in the reference spectrum (referred to as the reference value) may be appropriately set according to the elements contained in the sample, the form of the sample, and the like. Specifically, the evaluation unit 120 calculates the evaluation value so that the larger the half-value width FWHMm of the peak included in the spectrum than the reference value FWHMs of the half-value width of the peak, the smaller the value. For example, the evaluation unit 120 calculates the seventh evaluation value V 7 according to the equation 7. If the 7th evaluation value V 7 is larger than 100, it is set to 100, and if it is smaller than 0, it is set to 0.
  • the evaluation unit 120 calculates an evaluation value based on a concordance rate between the peak included in the spectrum and the profile acquired by fitting the peak. Specifically, the calculation unit 118 performs fitting for each peak included in the measured spectrum and acquires a theoretical profile. Since the theoretical profile is based on a function that uses the content of each element as a parameter, the higher the concordance rate between the peak contained in the spectrum and the profile obtained by fitting to the peak, the more the analysis is performed. The reliability is high. Therefore, the evaluation unit 120 calculates the evaluation value so that the higher the matching rate, the larger the value, and the lower the matching rate, the smaller the value.
  • the evaluation unit 120 determines that the measurement intensity Im ch of each channel ch of the multi-channel analyzer 114 and the calculation intensity If ch of the theoretical profile at each corresponding channel ch are i. Sum in the range from to n. Then, the evaluation unit 120 follows Equation 8 so that the evaluation value becomes 100 when there is no difference between the total value of the measured intensity Im ch and the total value of the calculated intensity If ch, and the evaluation value decreases as the difference increases.
  • the eighth evaluation value V 8 is calculated.
  • FIG. 7 is a diagram showing the spectrum acquired by the spectrum acquisition unit 102 and the theoretical profile obtained as a result of fitting the spectrum in an superimposed manner.
  • the evaluation value calculated based on Equation 8 is 95.
  • the range of channels (i to n) for calculating the sum in Equation 8 may be all channels of the multi-channel analyzer or may be channels in a specified range. Further, the range of channels (i to n) for which the sum is calculated may be a discontinuous channel range corresponding to the energy range of the full width at half maximum at each of the specified peaks.
  • the evaluation unit 120 calculates an evaluation value based on the number of combinations in which peaks caused by different elements are determined to overlap with respect to peaks used for quantification of the element to be analyzed by fitting to the spectrum. To do. Specifically, as described above, the calculation unit 118 acquires a theoretical profile by performing fitting for each peak included in the measured spectrum. Here, the energy at which peaks caused by different elements overlap (for example, when the range of the half width of both peaks overlaps by a predetermined ratio or more) with respect to the peak used for quantifying the element to be analyzed included in the spectrum. May appear in position.
  • FIG. 8 is a diagram showing the measurement spectrum acquired by the spectrum acquisition unit 102 and the theoretical profile obtained as a result of fitting the spectrum in an superimposed manner. As shown in FIG. 8, the Ti-K ⁇ line and the Ba-L ⁇ 1 line overlap with each other by 50% or more in the half width of the peak.
  • the evaluation unit 120 calculates the evaluation value so that the larger the number of overlapping peaks Dp, the smaller the value of the evaluation value, and the smaller the number of overlapping peaks Dp, the larger the value of the evaluation value.
  • the evaluation unit 120 has a ninth evaluation value according to Equation 9 so that the evaluation value becomes 100 when the number of overlapping peaks Dp is 0, and the evaluation value decreases as the number of overlapping peaks Dp increases.
  • V 9 is the maximum number of overlapping peaks that can be expected. When three or more peaks overlap, the number of overlapping peaks may be added and counted.
  • the evaluation unit 120 calculates a comprehensive evaluation value V all , which is a combination of a plurality of evaluation values, based on the first evaluation value V 1 to the ninth evaluation value V 9 having different calculation methods. For example, the evaluation unit 120 calculates the total evaluation value V all according to the equation 10. Note that i, j, k, l, m, n and o are weighting coefficients for relatively adjusting each evaluation value and are appropriately set. Some of i, j, k, l, m, n and o may be 0. The number 10 is the first evaluation value V 1 , the second evaluation value V 2 , the fourth evaluation value V 4 , the fifth evaluation value V 5 , the sixth evaluation value V 6 , the seventh evaluation value V 7, and the eighth evaluation value.
  • the weighted average is performed on V 8 and the obtained value is multiplied by the ratio of the third evaluation value V 3 and the ninth evaluation value V 9. That is, first, due to the nature of each evaluation value, the influence on other evaluation values is small (for example, even if the measurement conditions are changed so that the first evaluation value V 1 changes, the change in the second evaluation value V 2 is relative. The basic evaluation value is calculated using the evaluation value (smaller). Then, if the measurement conditions are changed so that the presence / absence of the attenuator 110 and the number of combinations of peak overlaps have a large effect on other evaluation values (for example, the third evaluation value V 3 changes, the second evaluation value V ( The change of 2 is relatively large) Multiply the ratio of the evaluation value by the basic evaluation value. As a result, it is possible to calculate the comprehensive evaluation value V all, which has a large correlation with the reliability of a series of processes.
  • the evaluation unit 120 calculates the evaluation value and the comprehensive evaluation value V all.
  • the first evaluation values V 1 to 9 evaluation values V 9 and V all are, for example, a series of a process of acquiring a spectrum by the spectrum acquisition unit 102 and a process of performing a quantitative analysis performed by the calculation unit 118. Other evaluation values that correlate with the reliability of the process may be calculated.
  • the display unit 122 displays the evaluation value calculated in S208 (S210). Specifically, for example, the display unit 122, based on the value of the first evaluation value V 1 to ninth evaluation value V 9, the first evaluation value V 1 to ninth evaluation value V 9 respectively A, B , C and D ranks, and the ranks are shown in a radar chart as shown in FIG. In addition, rank A indicates that it is excellent, rank B indicates that it is good, rank C indicates that it is acceptable, and rank D indicates that it is not possible. Then, when the evaluation value corresponding to the rank D exists, the display unit 122 displays the probable cause in text and recommends the user to remeasure.
  • the fifth evaluation value V 5 since the fifth evaluation value V 5 is low, the possible cause of the low evaluation value is displayed. For example, the reason why the fifth evaluation value V 5 is low is displayed as "If the BG strength is high, the wafer warpage, waviness, and roughness may be large.”
  • the text is preset text according to the value of each evaluation value and the characteristics of each evaluation value.
  • the display unit 122 displays each value of the first evaluation value V 1 to the ninth evaluation value V 9 as a numerical value.
  • FIG. 9 shows a “measurement time” representing the first evaluation value V 1 , a “dead rate ratio” representing the second evaluation value V 2, and a “presence / absence of attenuator 110” representing the third evaluation value V 3.
  • "Match rate with reference strength” representing the 4th evaluation value V 4
  • "Ratio of BG strength” representing the 5th evaluation value V 5
  • “Match rate of peak fit” representing the 8th evaluation value V 8
  • the “overlapping peaks” representing the ninth evaluation value V 9 are displayed respectively.
  • each evaluation value may be a mixture of scored numerical values and specific set values or detected values so that the user can easily instinctively. Further, a value obtained by multiplying each evaluation value by the above-mentioned weighting coefficient may be displayed.
  • a radar chart including a sixth evaluation value V 6 and seventh evaluation value V 7 It may be described.
  • the display unit 122 displays the total evaluation value V all as the total score. For example, in the evaluation result shown in FIG. 9, a total score of 67 points is displayed.
  • the display unit 122 may display the comprehensive evaluation value V all calculated by the evaluation unit 120 by superimposing it on the spectrum or the measurement result. Specifically, for example, as shown in FIG. 10, the comprehensive evaluation value V all may be displayed by superimposing each spectrum acquired by the spectrum acquisition unit 102. A user who is not proficient in the fluorescent X-ray analysis method cannot judge the reliability of the series of processes related to the analysis just by looking at each spectrum in FIG. However, by displaying the comprehensive evaluation value V all as shown in FIG. 10, the user can grasp the rough reliability of the series of processes related to the analysis.
  • each evaluation value, graph, and total score on the display unit 122, the user can grasp the reliability of a series of processes related to the analysis without checking the spectrum. Moreover, when a specific evaluation value is low, the cause can be easily identified. Furthermore, by displaying the total score, the user can grasp the rough reliability of the series of processes related to the analysis even if each evaluation value is not confirmed.
  • the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible.
  • the configuration of the fluorescent X-ray analyzer 100 is an example, and the present invention is not limited to this. It may be replaced with a configuration that is substantially the same as the configuration shown in the above embodiment, a configuration that exhibits the same action and effect, or a configuration that achieves the same purpose.
  • the peak intensity may be calculated by using the ROI method.
  • the fluorescent X-ray analyzer 100 may be a total reflection fluorescent X-ray analyzer.
  • FIG. 11 is a diagram schematically showing a total internal reflection fluorescent X-ray analyzer.
  • the fluorescent X-ray analyzer 100 includes a monochromator 1102 arranged at a position where primary X-rays emitted by the X-ray source 106 are irradiated.
  • the attenuator 110 is arranged between the monochromator 1102 and the sample 116.
  • Primary X-rays are applied to the surface of the monochromator 1102 at an incident angle ⁇ .
  • Primary X-rays that satisfy Bragg's reflection conditions are emitted from the monochromator 1102.
  • the monochromator 1102 extracts primary X-rays having specific energies from primary X-rays having various energies emitted from the X-ray source 106.
  • the extracted primary X-rays having a specific energy are irradiated to the surface of the sample 116 through the attenuator 110 at an incident angle of ⁇ degree or less.
  • ⁇ degree is an angle equal to or less than the total reflection critical angle.
  • Fluorescent X-rays are emitted from the sample 116 irradiated with the primary X-rays.
  • the detector 112 is arranged directly above the position where the primary X-ray is irradiated. According to the total reflection fluorescence X-ray analyzer, it is possible to acquire a spectrum with a small background.

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Abstract

定量分析の結果に対する信頼性を容易に判断でき、測定条件や蛍光Ｘ線分析装置、試料、試料の前処理等に異常がある場合に速やかに異常があったことを認識できるエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置を提供する。　エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置であって、１次Ｘ線を照射された試料から出射される２次Ｘ線に基づいて、２次Ｘ線の強度とエネルギーの関係を表すスペクトルを取得するスペクトル取得部と、前記スペクトルに含まれるピークに基づき、前記試料に含まれる元素を定量分析する演算部と、前記スペクトル取得部が前記スペクトルを取得するプロセスと、前記演算部が行う定量分析を行うプロセスと、の一連のプロセスの信頼性を評価する評価部と、を有する。

Description

エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置、評価方法及び評価プログラム
　本発明は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置、評価方法及び評価プログラムに関する。
　蛍光Ｘ線分析装置は、試料に含まれる元素を分析することができる。例えば、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置は、試料に１次Ｘ線を照射し、出射された２次Ｘ線をエネルギー方向に幅を有するスペクトルとして取得する。当該スペクトルに含まれるピークのエネルギー位置及び強度に基づいて、試料に含まれる元素の定量分析が行われる。
　蛍光Ｘ線分析法に習熟していないユーザが蛍光Ｘ線分析装置を用いる場合、測定結果が信頼できるものか判断することは困難である。そこで、下記特許文献１は、指定された分析精度が得られるピーク測定時間を算出する点を開示している。また、下記特許文献２は、予め設定されている測定時間に対する予想精度を算出して表示する点を開示している。
特開２０００－０６５７６５号公報 特開２００１－１３３４１９号公報
　上記特許文献１は、定量分析を行う一連のプロセスの信頼性を評価することはできない。また、特許文献２は、測定時間に対する予想精度を算出するにすぎず、定量分析を行う一連のプロセスの信頼性を評価することができない。そのため、ユーザは結果の信頼性を判断するために、スペクトルを見て判断する必要がある。また、蛍光Ｘ線分析法に習熟していないユーザは、スペクトルを見たとしても測定結果の信頼性を検証することができないため、スペクトルを確認することなく定量分析の数値のみを信頼してしまう。そのため、ユーザが分析結果を信頼してよいものであるか確認せずに、分析のプロセスに異常があっても気づかないという問題があった。
　本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、蛍光Ｘ線分析法に習熟していないユーザであっても、定量分析の結果に対する信頼性を容易に判断でき、測定条件や蛍光Ｘ線分析装置、試料、試料の前処理等に異常がある場合に速やかに異常があったことを認識できるエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置、評価方法及び評価プログラムを提供することである。
　請求項１に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、１次Ｘ線を照射された試料から出射される２次Ｘ線に基づいて、２次Ｘ線の強度とエネルギーの関係を表すスペクトルを取得するスペクトル取得部と、前記スペクトルに含まれるピークに基づき、前記試料に含まれる元素を定量分析する演算部と、前記スペクトル取得部が前記スペクトルを取得するプロセスと、前記演算部が行う定量分析を行うプロセスと、の一連のプロセスの信頼性を評価する評価部と、を有することを特徴とする。
　請求項２に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項１に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記評価部は、前記一連のプロセスに対して、計算方法の異なる複数の評価値を演算し、該複数の評価値を合成した総合評価値を算出する、ことを特徴とする。
　請求項３に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項２に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、さらに、前記複数の評価値を個別にグラフで表示する表示部を有する、ことを特徴とする。
　請求項４に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項２または３に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記複数の評価値は、前記スペクトル取得部が前記スペクトルを取得する際の測定条件に基づいて算出される評価値を含む、ことを特徴とする。
　請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項２乃至４のいずれかに記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記複数の評価値は、前記スペクトルの形状に基づいて算出される評価値を含む、ことを特徴とする。
　請求項６に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項２乃至５のいずれかに記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記複数の評価値は、前記スペクトルに対するフィッティングを行った結果得られるフィッティングパラメータに基づいて算出される評価値を含む、ことを特徴とする。
　請求項７に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項４に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記評価値は、前記２次Ｘ線を検出する時間である測定時間に基づいて算出される、ことを特徴とする。
　請求項８に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項４に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記評価値は、前記２次Ｘ線を検出する時間である測定時間のうち、測定結果に寄与しないデッドタイムが占める時間の割合に基づいて算出される、ことを特徴とする。
　請求項９に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項４に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記評価値は、前記２次Ｘ線を検出する際に前記２次Ｘ線を減衰させるアッテネータが用いられているか否かに基づいて算出される、ことを特徴とする。
　請求項１０に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記評価値は、前記スペクトルに含まれるピークの強度と、該ピークと対応して予め設定された基準強度と、の一致率に基づいて算出される、ことを特徴とする。
　請求項１１に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記評価値は、前記スペクトルに含まれるピークの強度と、該ピーク以外のバックグラウンド強度と、の比率に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
　請求項１２に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記評価値は、前記スペクトルに含まれるピークのエネルギーの測定値と、該ピークのエネルギーの理論値と、の相違に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
　請求項１３に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記評価値は、前記スペクトルに含まれるピークの幅を表す測定値と、該ピークと対応して予め設定された幅を表す基準値と、の相違に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
　請求項１４に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項６に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記評価値は、前記スペクトルに含まれるピークと、該ピークに対して行うフィッティングによって取得されたプロファイルと、の一致率に基づいて算出される、ことを特徴とする。
　請求項１５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、請求項６に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置において、前記評価値は、前記スペクトルに対するフィッティングによって、分析対象とする元素の定量に用いるピークに対し、異なる元素に起因するピークが重複すると判定される組み合わせの数に基づいて算出される、ことを特徴とする。
　請求項１６に記載の評価方法は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置によって、１次Ｘ線を照射された試料から出射される２次Ｘ線に基づいて、２次Ｘ線の強度とエネルギーの関係を表すスペクトルを取得する測定ステップと、前記スペクトルに含まれるピークに基づき、前記試料に含まれる元素を定量分析する演算ステップと、前記測定ステップにおいて前記スペクトルを取得するプロセスと、前記演算ステップにおいて前記定量分析を行うプロセスと、の一連のプロセスの信頼性を評価する評価ステップと、を含むことを特徴とする。
　請求項１７に記載の評価プログラムは、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置に用いられるコンピュータで実行されるプログラムであって、１次Ｘ線を照射された試料から出射される２次Ｘ線に基づいて、２次Ｘ線の強度とエネルギーの関係を表すスペクトルを取得する測定ステップと、前記スペクトルに含まれるピークに基づき、前記試料に含まれる元素を定量分析する演算ステップと、前記測定ステップにおいて前記スペクトルを取得するプロセスと、前記演算ステップにおいて前記定量分析を行うプロセスと、の一連のプロセスの信頼性を評価する評価ステップと、を前記コンピュータに実行させることを特徴とする評価プログラム。
　請求項１、２、４乃至１７に記載の発明によれば、光Ｘ線分析法に習熟していないユーザであっても、定量分析の結果に対する信頼性を容易に判断でき、測定条件や蛍光Ｘ線分析装置、試料、試料の前処理等に異常がある場合に速やかに異常があったことを認識できる。
　請求項３に記載の発明によれば、測定条件や蛍光Ｘ線分析装置等に異常があった場合に、可能性の高い原因を一見して認識できる。
本発明の実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置を概略的に示す図である。 評価方法のフローを示す図である。 基板の分析対象となる位置の一例を示す図である。 分離されたピークとバックグラウンドの一例を示す図である。 検出器とマルチチャンネルアナライザの相違によるスペクトルの相違を示す図である。 測定スペクトルと基準スペクトルの一例を示す図である。 測定スペクトルと理論プロファイルの一例を示す図である。 測定スペクトルと理論プロファイルの一例を示す図である。 評価結果の一例を示す図である。 評価結果の一例を示す図である。 全反射蛍光Ｘ線分析装置を概略的に示す図である。
　以下、本発明を実施するための好適な実施の形態（以下、実施形態という）を説明する。図１は、蛍光Ｘ線分析装置１００の概略の一例を示す図である。
　図１に示すように、蛍光Ｘ線分析装置１００はスペクトル取得部１０２と、制御部１０４と、を含む。
　スペクトル取得部１０２は、１次Ｘ線を照射された試料１１６から出射される２次Ｘ線に基づいて、２次Ｘ線の強度とエネルギーの関係を表すスペクトルを取得する。具体的には、例えば、スペクトル取得部１０２は、Ｘ線源１０６と、試料台１０８と、アッテネータ１１０と、検出器１１２と、マルチチャンネルアナライザ１１４と、を含む。
　試料台１０８は、分析対象となる試料１１６が載置される。Ｘ線源１０６は、１次Ｘ線を、試料１１６の表面に照射する。１次Ｘ線が照射された試料１１６から、２次Ｘ線が出射される。
　アッテネータ１１０は、試料１１６と検出器１１２の間に配置され、２次Ｘ線の強度を減衰させる。アッテネータ１１０を配置することにより、後述するデッドタイムを短くすることができる。なお、アッテネータ１１０は、Ｘ線源１０６と試料１１６の間に配置され、１次Ｘ線を減衰させてもよい。
　検出器１１２は、例えば、ＳＤＤ(Silicon Drift Detector)検出器等の半導体検出器である。検出器１１２は、２次Ｘ線（蛍光Ｘ線や散乱線）の強度を測定し、測定した２次Ｘ線のエネルギーに応じた波高値を有するパルス信号を出力する。
　マルチチャンネルアナライザ１１４は、検出器１１２から出力されるパルス信号を、波高値に応じて計数する。具体的には、例えば、マルチチャンネルアナライザ１１４は、検出器１１２の出力パルス信号を、エネルギーに対応したチャンネル毎に計数し、２次Ｘ線の強度として出力する。スペクトル取得部１０２は、マルチチャンネルアナライザ１１４の出力をスペクトルとして取得する。以下、スペクトル取得部１０２に取得されたスペクトルは、測定スペクトルまたは単にスペクトルと呼称する。
　制御部１０４は、Ｘ線源１０６、試料台１０８、アッテネータ１１０の有無、検出器１１２及びマルチチャンネルアナライザ１１４の動作を制御する。また、制御部１０４は、演算部１１８と、評価部１２０と、表示部１２２と、を含む。具体的には、制御部１０４は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１００に含まれるコンピュータであって、評価プログラムが記憶された記憶部（図示なし）を有する。なお、制御部１０４は、スペクトル取得部１０２の外部に設けられ、スペクトル取得部１０２と接続されるコンピュータであってもよい。評価プログラムは、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置１００に用いられるコンピュータで実行されるプログラムであって、当該コンピュータに後述する評価方法に含まれる各ステップを実行させるプログラムである。
　演算部１１８は、スペクトルに含まれるピークに基づき、試料１１６に含まれる元素を定量分析する。具体的には、例えば、演算部１１８は、スペクトル取得部１０２で取得された測定スペクトルに含まれるピークごとにフィッティングを行い、理論プロファイルを取得する。ここで、理論プロファイルは、各ピークの近似関数を足し合わせた形で表現される。各ピークの近似関数は、試料１１６に含まれる各元素の含有率と物理定数及び装置定数を用いて計算される理論強度、及びピークの形状を表すガウス関数等の適切な関数で構成される。理論プロファイルは、各元素の含有率をパラメータとする関数であるため、測定によって得られたスペクトルに対して理論プロファイルが最もフィットするような含有率を最小二乗法によって求める。これにより、試料１１６に含まれる元素を定量分析することができる。また、演算部１１８は、ピークフィッティングを行わず、定量分析を行ってもよい。例えば、演算部１１８は、設定されたエネルギー範囲における測定スペクトルに基づいてピーク強度を算出し、算出されたピーク強度に基づいて検量線法で定量分析を行ってもよい。
　評価部１２０は、スペクトル取得部１０２がスペクトルを取得するプロセスと、演算部１１８が行う定量分析を行うプロセスと、の一連のプロセスの信頼性を評価する。具体的には、例えば、評価部１２０は、一連のプロセスに対して、計算方法の異なる複数の評価値を演算し、該複数の評価値を合成した総合評価値を算出する。当該複数の評価値は、例えば、スペクトル取得部１０２がスペクトルを取得する際の測定条件に基づいて算出される評価値や、スペクトルの形状に基づいて算出される評価値や、スペクトルに対するフィッティングを行った結果得られるフィッティングパラメータに基づいて算出される評価値を含む。
　表示部１２２は、複数の評価値を個別にグラフで表示する。具体的には、例えば、表示部１２２は、評価部１２０が算出した各評価値をレーダーチャート、棒グラフ、折れ線グラフ等のグラフで表示する。また、表示部１２２は、評価部１２０が算出した総合評価値を、スペクトルに重ねあわせて表示してもよい。
　続いて、信頼性を評価する一連のプロセスについては、図２を参照しながら説明する。まず、試料１１６の載置と、測定条件の設定が行われる（Ｓ２０２）。具体的には、例えば、分析対象である試料１１６が試料台１０８に載置され、各測定条件が設定される。設定される測定条件は、例えば、試料１１６から出射される２次Ｘ線を検出する時間である測定時間、２次Ｘ線を検出する際に２次Ｘ線を減衰させるアッテネータ１１０の有無である。また、設定される測定条件は、Ｘ線源１０６の電流や電圧の大きさ、試料１１６に対して１次Ｘ線が照射される角度、１次Ｘ線が照射される位置等を含んでもよい。
　次に、スペクトル取得部１０２は、スペクトルを取得する（Ｓ２０４）。具体的には、例えば、Ｘ線源１０６は、Ｓ２０２で設定された測定条件に従って、試料１１６に１次Ｘ線を照射する。検出器１１２は、２次Ｘ線の強度を測定し、パルス信号を出力する。計数器１１４は、検出器１１２から出力されるパルス信号を、波高値に応じて計数する。そして、スペクトル取得部１０２は、マルチチャンネルアナライザ１１４の出力をスペクトルとして取得する。ここで、スペクトル取得部１０２は、スペクトルを取得する過程で変動する測定条件を取得する。例えば、スペクトル取得部１０２は、２次Ｘ線を検出する時間である測定時間のうち、測定結果に寄与しないデッドタイムが占める時間の割合を測定条件として取得する。
　次に、演算部１１８は、取得されたスペクトルに基づき定量分析を行う（Ｓ２０６）。具体的には、例えば、演算部１１８は、Ｓ２０４で取得されたスペクトルに含まれるピークごとにフィッティングを行い、測定スペクトルに合致する理論プロファイルを取得することにより定量分析を行う。
　次に、評価部１２０は、評価値を算出する（Ｓ２０８）。具体的には、例えば、評価部１２０は、Ｓ２０２及びＳ２０４においてスペクトル取得部１０２が行ったプロセスと、Ｓ２０６において演算部１１８が行ったプロセスと、の一連のプロセスの信頼性を評価する。
　例えば、評価部１２０は、測定時間に基づいて、評価値を算出する。具体的には、蛍光Ｘ線分析法では、統計変動を原因として、検出器１１２が２次Ｘ線を検出する測定時間が短いほど分析の信頼性が低下する。一方、測定時間が長いほど分析の信頼性は向上する。すなわち、測定時間と、分析に係る一連のプロセスの信頼性と、は相関がある。従って、評価部１２０は、測定時間が長いほど値が大きくなるように、評価値を算出する。具体的には、例えば、評価部１２０は、測定時間Tmが１０００秒のときに評価値が１００となり、測定時間Tmが短くなるほど評価値が小さくなるように、数１に従って第１評価値V1を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　また、例えば、評価部１２０は、測定時間のうち、測定結果に寄与しないデッドタイムが占める時間の割合に基づいて、評価値を算出する。具体的には、検出器１１２には、１個の２次Ｘ線が入射されてから１個のパルス信号を出力するまでの間に、次の２次Ｘ線が入射されたとしても検出できない期間が存在する。また、マルチチャンネルアナライザ１１４は検出器１１２が出力するパルス信号の波形整形を行うが、１個のパルス信号に対する波形整形を行う間に次のパルス信号が入力されると計数の数え落としが生じる。すなわち、マルチチャンネルアナライザ１１４には２次Ｘ線を検出できない期間が存在する。当該２次Ｘ線が検出されない期間の割合（デッドタイム）が大きいほど、分析の信頼性は低下する。従って、評価部１２０は、デッドタイムが小さいほど値が大きくなるように、評価値を算出する。具体的には、例えば、評価部１２０は、デッドタイムTdが０％のときに評価値が１００となり、デッドタイムTdが大きくなるほど評価値が小さくなるように、数２に従って第２評価値V2を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
　また、例えば、評価部１２０は、アッテネータ１１０が用いられているか否かに基づいて評価値を算出する。具体的には、アッテネータ１１０は、デッドタイムを短くする効果を有するが、一方で、検出器１１２に入射される２次Ｘ線の強度を減衰させる。当該２次Ｘ線の強度の減衰は、分析の信頼性を低下させる。従って、評価部１２０は、アッテネータ１１０を用いる場合に値が小さく、アッテネータ１１０を用いない場合に値が大きくなるように、評価値を算出する。具体的には、例えば、評価部１２０は、アッテネータ１１０を用いない場合に評価値が１００となり、アッテネータ１１０の減衰率A（％）が大きくなるほど評価値が小さくなるように、数３に従って第３評価値V3を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
　また、例えば、評価部１２０は、スペクトルに含まれるピークの強度と、該ピークと対応して予め設定された基準強度と、の一致率に基づいて、評価値を算出する。具体的には、例えば、全反射蛍光Ｘ線分析が行われる場合、１次Ｘ線は、試料１１６の表面に対して全反射角以下の入射角度で試料１１６に照射される。ここで、試料１１６がウェーハ等の薄い円板状の基板であって基板に撓みや反りが存在する場合、Ｘ線源１０６が固定されていたとしても、測定対象となる位置（測定点）ごとに１次Ｘ線と基板表面とのなす入射角度にばらつきが生じる。入射角度が全反射臨界角度より大きいと、入射角度変化による２次Ｘ線の強度変化は小さいが、全反射蛍光Ｘ線分析を行うことはできない。入射角度が全反射臨界角度より小さい場合、測定点ごとの入射角度が僅かに異なると、測定点毎に計数される２次Ｘ線の強度が大きく異なってしまう。
　一方、図３に示すように、基板の表面が平坦である場合、基板の分析対象となる位置における入射角度と、例えば、基準位置とする基板の中心における入射角度はほぼ同じとなる。従って、基板の分析対象となる位置に１次Ｘ線を照射した場合に取得されるスペクトルに含まれるピーク３０２の強度と、当該基板の中心に対して１次Ｘ線を照射することで予め取得されたスペクトルに含まれる対応するピーク３０４の強度（基準強度）と、はほぼ一致する。
　そこで、評価部１２０は、基板の分析対象となる位置に１次Ｘ線を照射した場合に取得されるスペクトルに含まれるピークの強度（測定強度）と、基板の中心に対して１次Ｘ線を照射することで予め取得されたスペクトルに含まれる対応するピークの強度（基準強度）と、の一致率に基づいて、評価値を算出する。具体的には、例えば、評価部１２０は、測定強度Imが基準強度Isと同じ場合に評価値が１００となり、測定強度Imと基準強度Isとの差が大きくなるほど評価値が小さくなるように、数４に従って第４評価値V4を算出する。また、基準強度は、測定対象である試料ではなく標準試料を対象として取得された強度であってもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
　また、例えば、評価部１２０は、スペクトルに含まれる各ピークの合計強度と、該ピーク以外のバックグラウンド強度と、の比率に基づいて、評価値を算出する。具体的には、２次Ｘ線は、元素分析に用いる元素固有の蛍光Ｘ線だけではなく、１次Ｘ線の散乱線や回折線等の元素分析に寄与しないバックグラウンドを含む。当該バックグラウンドの蛍光Ｘ線に対する比率が大きいほどＳ／Ｎ比が低下し、分析の信頼性が低下する。そこで、評価部１２０は、バックグラウンド強度Ibに対する各蛍光Ｘ線のピークの合計強度Itの比率が小さいほど値が小さく、当該比率が大きいほど値が大きくなるように、評価値を算出する。具体的には、例えば、評価部１２０は、バックグラウンド強度Ibと各蛍光Ｘ線のピークの合計強度Itとの比率が１である場合に評価値が０となり、バックグラウンド強度Ibに対するピークの合計強度Itの比率大きくなるほど評価値が大きくなるように、数５に従って第５評価値V5を算出する。数５によれば、蛍光Ｘ線だけでなく、散乱線や回折線等の影響を考慮した評価値を取得できる。なお、バックグラウンド強度は、スペクトル全体からフィッティングしたものでも、各蛍光Ｘ線のピークに対応するバックグラウンド強度を合計したものでもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
　図４は、測定されたスペクトルに対してフィッティングを行った結果、分離されたピークとバックグラウンドを示す図である。評価部１２０は、適宜設定されたエネルギー範囲において、バックグラウンド強度Ib及び各ピークの合計強度Itを算出する。例えば、評価部１２０は、図４に示す全エネルギー範囲の各ピークの合計強度、バックグラウンド強度、及び、数５に基づいて第５評価値を算出してもよい。また、評価部１２０は、図４の所定のエネルギー範囲における各ピークの合計強度、バックグラウンド強度、及び、数５に基づいて第５評価値を算出してもよい。
　また、例えば、評価部１２０は、スペクトルに含まれるピークのエネルギーの測定値と、該ピークのエネルギーの理論値と、の相違に基づいて、評価値を算出する。具体的には、特定の元素から発せられる蛍光Ｘ線のエネルギーは、当該元素に固有の値（理論値）である。測定されたスペクトルに含まれるエネルギー（ピーク位置の測定値）と、当該ピークと対応する元素に固有のエネルギー（ピーク位置の理論値）と、が一致するように、検出器１１２やマルチチャンネルアナライザ１１４は設定される。検出器１１２やマルチチャンネルアナライザ１１４に問題が生じると、ピーク位置の測定値と理論値に相違が生じる。
　例えば、図５(a)及び図５(b)に示すスペクトルは、同一の試料に対する測定結果である。図５(a)は、正常な検出器１１２及びマルチチャンネルアナライザ１１４を用いて測定したスペクトルである。図５(b)は、問題が生じた検出器１１２及びマルチチャンネルアナライザ１１４を用いて測定したスペクトルである。図５(b)の各ピークは、図５(a)の対応する各ピークよりも、エネルギーが高いほど高エネルギー側にシフトしている。
　すなわち、問題が生じた検出器１１２及びマルチチャンネルアナライザ１１４を用いて測定したスペクトルに含まれるピークの位置は、理論値から相違している。そこで、評価部１２０は、少なくとも一つのピークに関して、当該相違の大きさを用いて評価値を算出する。具体的には、評価部１２０は、スペクトルに含まれるピークのエネルギーの測定値Emと、該ピークのエネルギーの理論値Esと、の相違が小さいほど値が大きく、当該相違が大きいほど値が小さくなるように、評価値を算出する。例えば、評価部１２０は、数６に従って第６評価値V6を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
　また、例えば、評価部１２０は、スペクトルに含まれるピークの幅を表す測定値と、該ピークと対応して予め設定された幅を表す基準値と、の相違に基づいて、評価値を算出する。具体的には、ピークの幅を表す測定値は、例えば半値幅である。ピークの半値幅は、検出器１１２やマルチチャンネルアナライザ１１４の故障、１次Ｘ線の分光（モノクロメータ）の異常、スペクトルが表示される範囲外も含む計数やノイズの増大などに起因して大きくなる。例えば図６に示すように、測定したスペクトルに含まれるピークの半値幅は、予め設定された基準スペクトルに含まれるピークの半値幅よりも大きくなる場合がある。基準スペクトルに含まれるピークの半値幅（基準値とする）は、試料に含まれる元素、試料の形態等に応じて、適宜設定されてよい。具体的には、評価部１２０は、スペクトルに含まれるピークの半値幅FWHMmが、該ピークの半値幅の基準値FWHMsよりも大きいほど値が小さくなるように、評価値を算出する。例えば、評価部１２０は、数７に従って第７評価値V7を算出する。なお、第７評価値V7が１００より大きい場合は１００、０より小さい場合は０とする。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
　また、例えば、評価部１２０は、スペクトルに含まれるピークと、該ピークに対して行うフィッティングによって取得されたプロファイルと、の一致率に基づいて評価値を算出する。具体的には、演算部１１８は、測定されたスペクトルに含まれるピークごとにフィッティングを行い、理論プロファイルを取得する。理論プロファイルは、各元素の含有率をパラメータとする関数に基づくものであるため、スペクトルに含まれるピークと、該ピークに対して行うフィッティングによって取得されたプロファイルと、の一致率が高いほど分析の信頼性は高い。そこで、評価部１２０は、一致率が高いほど値が大きく、一致率が低いほど値が小さくなるように、評価値を算出する。具体的には、例えば、評価部１２０は、マルチチャンネルアナライザ１１４の各チャンネルchでの測定強度Imchと、対応する各チャンネルchでの理論プロファイルの計算強度Ifchとを、それぞれチャンネルchがiからｎの範囲で合計する。そして、評価部１２０は、測定強度Imchの合計値と計算強度Ifchの合計値とに差がないときに評価値が１００となり、差が大きくなるほど評価値が小さくなるように、数８に従って第８評価値V8を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000008
　例えば図７は、スペクトル取得部１０２が取得したスペクトルと、該スペクトルにフィッティングを行った結果得られた理論プロファイルを重ね合わせて表した図である。図７に示す例において、数８に基づいて算出された評価値は、９５である。なお、数８における総和を計算するチャンネルの範囲（i～n）は、マルチチャンネルアナライザの全てのチャンネルであってもよいし、指定する範囲のチャンネルであってもよい。また、総和を計算するチャンネルの範囲（i～n）は、全て、もしくは指定する各ピークにおける半値幅のエネルギー範囲と対応する不連続なチャンネル範囲であってもよい。
　また、例えば、評価部１２０は、スペクトルに対するフィッティングによって、分析対象とする元素の定量に用いるピークに対し、異なる元素に起因するピークが重複すると判定される組み合わせの数に基づいて、評価値を算出する。具体的には、上述のように、演算部１１８は、測定されたスペクトルに含まれるピークごとにフィッティングを行うことで理論プロファイルを取得する。ここで、スペクトルに含まれる分析対象とする元素の定量に用いるピークに対し、異なる元素に起因するピークが、重複（例えば、両ピークの半値幅の範囲が所定の割合以上重複する場合）するエネルギー位置に現れる場合がある。
　例えば、図８は、スペクトル取得部１０２が取得した測定スペクトルと、該スペクトルにフィッティングを行った結果得られた理論プロファイルを重ね合わせて表した図である。図８に示すように、Ｔｉ－Ｋα線と、Ｂａ－Ｌα１線は、ピークの半値幅が５０％以上重複する。
　ピークが重複すると、ピーク強度がいずれの元素に起因するか正確に分離することが困難であるため、フィッティングの精度が低下し、分析の信頼性が低下する。また、当該重複するピークの数が多いほど分析の信頼性が低下する。そこで、評価部１２０は、重複ピーク数Dpが多いほど評価値の値が小さく、重複ピーク数Dpが少ないほど評価値の値が大きくなるように、評価値を算出する。具体的には、例えば、評価部１２０は、重複ピーク数Dpが０である場合に評価値が１００となり、重複ピーク数Dpが大きくなるほど評価値が小さくなるように、数９に従って第９評価値V9を算出する。ここで、Dmaxは、想定される最大の重複ピーク数である。なお、３つ以上のピークが重複する場合、重複ピーク数を加算してカウントしてもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000009
　さらに、評価部１２０は、計算方法の異なる第１評価値V1乃至第９評価値V9に基づいて、複数の評価値を合成した総合評価値Vallを算出する。例えば、評価部１２０は、数１０に従って、総合評価値Vallを算出する。なお、i、j、k、l、m、n及びoは、各評価値を相対的に調整する重み係数であって、適宜設定される。i、j、k、l、m、n及びoは、一部が０であってもよい。数１０は、第１評価値V1、第２評価値V2、第４評価値V4、第５評価値V5、第６評価値V6、第７評価値V7及び第８評価値V8に対して重み付き平均を行い、得られた値に対して第３評価値V3及び第９評価値V9の割合を乗算していることを表す。すなわち、まず、各評価値の性質上、他の評価値に対する影響の小さい（例えば、第１評価値V1が変化するように測定条件を変更したとしても第２評価値V2の変化は相対的に小さい）評価値を用いて基礎的な評価値が算出される。そして、アッテネータ１１０の有無やピークの重なりの組み合わせの数などの他の評価値に対する影響の大きい（例えば、第３評価値V3が変化するように測定条件を変更したとすると第２評価値V2の変化は相対的に大きい）評価値の割合を、基礎的な評価値に乗算する。これにより、一連のプロセスに対する信頼性との相関の大きい総合評価値Vallを算出できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000010
　以上のように、Ｓ２０８において、評価部１２０は、評価値及び総合評価値Vallを算出する。上記第１評価値V1乃至第９評価値V9及びVallは、一例であって、スペクトル取得部１０２がスペクトルを取得するプロセスと、演算部１１８が行う定量分析を行うプロセスと、の一連のプロセスの信頼性と相関を有する他の評価値が算出されてもよい。
　次に、表示部１２２は、Ｓ２０８で算出された評価値を表示する（Ｓ２１０）。具体的には、例えば、表示部１２２は、第１評価値V1乃至第９評価値V9の各値に基づいて、それぞれ第１評価値V1乃至第９評価値V9をＡ，Ｂ，Ｃ及びＤランクに分類し、該ランクを図９のようなレーダーチャートで示す。なお、ランクＡは、優良であることを示し、ランクＢは、良であることを表し、ランクＣは可であることを表し、ランクＤは不可であることを表す。そして、表示部１２２は、ランクＤに該当する評価値が存在する場合、想定される原因をテキストで表示し、ユーザに対して再測定を推奨する。
　図９に示す評価結果では、第５評価値V5が低いため、当該評価値が低くなる原因として想定される原因を表示する。例えば、第５評価値V5が低い原因として、「ＢＧ強度が大きい場合、ウェーハの反り、うねり、ラフネスが大きいことが考えられます。」と表示される。当該テキストは、各評価値の値や各評価値の特性に応じて、予め設定されたテキストである。
　また、表示部１２２は、第１評価値V1乃至第９評価値V9の各値を数値として表示する。例えば、図９には、第１評価値V1を表す「測定時間」、第２評価値V2を表す「デッドレートの割合」、第３評価値V3を表す「アッテネータ１１０の有無」、第４評価値V4を表す「基準強度との一致率」、第５評価値V5を表す「ＢＧ強度の割合」、第８評価値V8を表す「ピークフィットの一致率」、及び、第９評価値V9を表す「ピークの重なり」がそれぞれ表示される。各評価値の表示は、ユーザが直感しやすいように、点数化した数値と具体的な設定値や検出値を混在させてもよい。また、各評価値に前述の重み係数を乗じた値を表示させてもよい。なお、図９には、第６評価値V6及び第７評価値V7を記載していないが、表示部１２２は、第６評価値V6及び第７評価値V7を含むレーダーチャートを記載してもよい。
　また、表示部１２２は、総合評価値Vallを総合点数として表示する。例えば、図９に示す評価結果では、６７点の総合点数が表示される。なお、表示部１２２は、評価部１２０が算出した総合評価値Vallを、スペクトルや測定結果に重ねあわせて表示してもよい。具体的には、例えば、図１０に示すように、スペクトル取得部１０２が取得した各スペクトルに重ねて、総合評価値Vallを表示してもよい。蛍光Ｘ線分析法に習熟していないユーザは、図１０の各スペクトルを見ただけでは分析に係る一連のプロセスに対する信頼性がどの程度であるか判断できない。しかし、図１０のように総合評価値Vallが表示されることで、ユーザは分析に係る一連のプロセスに対する大まかな信頼性を把握できる。
　以上のように、表示部１２２が各評価値、グラフ及び総合得点を表示することによって、ユーザはスペクトルを確認することなく、分析に係る一連のプロセスに対する信頼性を把握することができる。また、特定の評価値が低い場合、原因を容易に特定することができる。さらに総合得点が表示されることにより、ユーザは各評価値を確認しない場合であっても、分析に係る一連のプロセスに対する大まかな信頼性を把握できる。
　本発明は、上記の実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。上記蛍光Ｘ線分析装置１００の構成は一例であって、これに限定されるものではない。上記の実施例で示した構成と実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成する構成で置き換えてもよい。例えば、上記においては、ピーク強度を算出する際にフィッティングを行う場合について説明したが、ＲＯＩ法を用いてピーク強度を算出してもよい。
　また、蛍光Ｘ線分析装置１００は全反射蛍光Ｘ線分析装置であってもよい。具体的には、図１１は、全反射蛍光Ｘ線分析装置を概略的に示す図である。図１１に示す例では、蛍光Ｘ線分析装置１００は、図１に示す構成に加えて、Ｘ線源１０６が発する１次Ｘ線が照射される位置に配置されたモノクロメータ１１０２を含む。また、アッテネータ１１０は、モノクロメータ１１０２と試料１１６の間に配置される。１次Ｘ線は、モノクロメータ１１０２の表面に対して入射角度θで照射される。モノクロメータ１１０２から、ブラッグの反射条件を満たす１次Ｘ線が出射する。すなわち、モノクロメータ１１０２は、Ｘ線源１０６から発せられる種々のエネルギーを有する１次Ｘ線からの特定のエネルギーを有する１次Ｘ線を取り出す。取り出された特定のエネルギーを有する１次Ｘ線は、アッテネータ１１０を経て、試料１１６の表面に対して、α度以下の入射角で照射される。α度は、全反射臨界角度以下の角度である。１次Ｘ線が照射された試料１１６から、蛍光Ｘ線が出射される。検出器１１２は、１次Ｘ線が照射される位置の直上に配置される。全反射蛍光Ｘ線分析装置によれば、バックグラウンドの小さいスペクトルを取得することができる。
　１００　蛍光Ｘ線分析装置、１０２　スペクトル取得部、１０４　制御部、１０６　Ｘ線源、１０８　試料台、１１０　アッテネータ、１１２　検出器、１１４　マルチチャンネルアナライザ、１１６　試料、１１８　演算部、１２０　評価部、１２２　表示部、３０２　測定対象のピーク、３０４　中心のピーク、１１０２　モノクロメータ。

Claims (17)

  1. 　１次Ｘ線を照射された試料から出射される２次Ｘ線に基づいて、２次Ｘ線の強度とエネルギーの関係を表すスペクトルを取得するスペクトル取得部と、
    　前記スペクトルに含まれるピークに基づき、前記試料に含まれる元素を定量分析する演算部と、
    　前記スペクトル取得部が前記スペクトルを取得するプロセスと、前記演算部が行う定量分析を行うプロセスと、の一連のプロセスの信頼性を評価する評価部と、
    　を有することを特徴とするエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  2. 　前記評価部は、前記一連のプロセスに対して、計算方法の異なる複数の評価値を演算し、該複数の評価値を合成した総合評価値を算出する、ことを特徴とする請求項１に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  3. 　さらに、前記複数の評価値を個別にグラフで表示する表示部を有する、ことを特徴とする請求項２に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  4. 　前記複数の評価値は、前記スペクトル取得部が前記スペクトルを取得する際の測定条件に基づいて算出される評価値を含む、ことを特徴とする請求項２または３に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  5. 　前記複数の評価値は、前記スペクトルの形状に基づいて算出される評価値を含む、ことを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  6. 　前記複数の評価値は、前記スペクトルに対するフィッティングを行った結果得られるフィッティングパラメータに基づいて算出される評価値を含む、ことを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  7. 　前記評価値は、前記２次Ｘ線を検出する時間である測定時間に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項４に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  8. 　前記評価値は、前記２次Ｘ線を検出する時間である測定時間のうち、測定結果に寄与しないデッドタイムが占める時間の割合に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項４に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  9. 　前記評価値は、前記２次Ｘ線を検出する際に前記２次Ｘ線を減衰させるアッテネータが用いられているか否かに基づいて算出される、ことを特徴とする請求項４に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  10. 　前記評価値は、前記スペクトルに含まれるピークの強度と、該ピークと対応して予め設定された基準強度と、の一致率に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  11. 　前記評価値は、前記スペクトルに含まれるピークの強度と、該ピーク以外のバックグラウンド強度と、の比率に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  12. 　前記評価値は、前記スペクトルに含まれるピークのエネルギーの測定値と、該ピークのエネルギーの理論値と、の相違に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  13. 　前記評価値は、前記スペクトルに含まれるピークの幅を表す測定値と、該ピークと対応して予め設定された幅を表す基準値と、の相違に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項５に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  14. 　前記評価値は、前記スペクトルに含まれるピークと、該ピークに対して行うフィッティングによって取得されたプロファイルと、の一致率に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項６に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  15. 　前記評価値は、前記スペクトルに対するフィッティングによって、分析対象とする元素の定量に用いるピークに対し、異なる元素に起因するピークが重複すると判定される組み合わせの数に基づいて算出される、ことを特徴とする請求項６に記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  16. 　エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置によって、１次Ｘ線を照射された試料から出射される２次Ｘ線に基づいて、２次Ｘ線の強度とエネルギーの関係を表すスペクトルを取得する測定ステップと、
    　前記スペクトルに含まれるピークに基づき、前記試料に含まれる元素を定量分析する演算ステップと、
    　前記測定ステップにおいて前記スペクトルを取得するプロセスと、前記演算ステップにおいて前記定量分析を行うプロセスと、の一連のプロセスの信頼性を評価する評価ステップと、
    　を含むことを特徴とする評価方法。
  17. 　エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置に用いられるコンピュータで実行されるプログラムであって、
    　１次Ｘ線を照射された試料から出射される２次Ｘ線に基づいて、２次Ｘ線の強度とエネルギーの関係を表すスペクトルを取得する測定ステップと、
    　前記スペクトルに含まれるピークに基づき、前記試料に含まれる元素を定量分析する演算ステップと、
    　前記測定ステップにおいて前記スペクトルを取得するプロセスと、前記演算ステップにおいて前記定量分析を行うプロセスと、の一連のプロセスの信頼性を評価する評価ステップと、
    　を前記コンピュータに実行させることを特徴とする評価プログラム。

     
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