JP2508604B2 - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
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- JP2508604B2 JP2508604B2 JP5276568A JP27656893A JP2508604B2 JP 2508604 B2 JP2508604 B2 JP 2508604B2 JP 5276568 A JP5276568 A JP 5276568A JP 27656893 A JP27656893 A JP 27656893A JP 2508604 B2 JP2508604 B2 JP 2508604B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光Ｘ線分析装置に関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来例の蛍光Ｘ線分析装置の試
料近傍を拡大して示す斜視図である。
料近傍を拡大して示す斜視図である。
【０００３】Ｘ線管１からの一次Ｘ線を試料容器３に収
納された試料２に照射し、これに応じて試料２から発生
する蛍光Ｘ線を視野制限用絞り４を通して一次ソーラス
リット５に導いて平行ビームとして取り出し、このＸ線
を分光して図示しないＸ線検出器で検出するものであ
る。
納された試料２に照射し、これに応じて試料２から発生
する蛍光Ｘ線を視野制限用絞り４を通して一次ソーラス
リット５に導いて平行ビームとして取り出し、このＸ線
を分光して図示しないＸ線検出器で検出するものであ
る。
【０００４】試料２は、試料容器３の試料マスク３ａに
よって周囲が覆われて中央部のみが露出している。平板
４ａに複数（この例では３つ）の透孔４ｂ〜４ｄが形成
されてなる視野制限用絞り４は、試料２以外の試料マス
ク３ａから発生した蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線がＸ線検出器に
入射し、本来必要な試料２からの蛍光Ｘ線のスペクトル
に対して、他の蛍光Ｘ線がバックグラウンドとなってＳ
／Ｎ比が劣化するのを改善するためのものである。
よって周囲が覆われて中央部のみが露出している。平板
４ａに複数（この例では３つ）の透孔４ｂ〜４ｄが形成
されてなる視野制限用絞り４は、試料２以外の試料マス
ク３ａから発生した蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線がＸ線検出器に
入射し、本来必要な試料２からの蛍光Ｘ線のスペクトル
に対して、他の蛍光Ｘ線がバックグラウンドとなってＳ
／Ｎ比が劣化するのを改善するためのものである。
【０００５】したがって、分析される試料２の大きさ応
じて試料マスク３ａが、有効内径の異なるマスクに変更
されると、それに応じて視野制限用絞り４を矢符Ａで示
されるようにスライドさせて最適な口径をもつ透孔４ｂ
〜４ｄを、試料２に臨ませるようにして分析対象領域と
なる試料径を制限している。
じて試料マスク３ａが、有効内径の異なるマスクに変更
されると、それに応じて視野制限用絞り４を矢符Ａで示
されるようにスライドさせて最適な口径をもつ透孔４ｂ
〜４ｄを、試料２に臨ませるようにして分析対象領域と
なる試料径を制限している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来例の蛍光Ｘ線分析装置では、例えば、ある有効内径
の試料マスクおよびそれに対応する口径の視野制限用絞
りを使用して試料を分析した後、例えば、同一の材質
（グループ）で小さな直径の未知試料を分析するような
場合には、有効内径の小さな別の試料マスクに変更する
とともに、Ｘ線管の励起条件などの他の測定条件はその
ままで、視野制限用絞りのみをその口径の小さなものに
変更することになる。
従来例の蛍光Ｘ線分析装置では、例えば、ある有効内径
の試料マスクおよびそれに対応する口径の視野制限用絞
りを使用して試料を分析した後、例えば、同一の材質
（グループ）で小さな直径の未知試料を分析するような
場合には、有効内径の小さな別の試料マスクに変更する
とともに、Ｘ線管の励起条件などの他の測定条件はその
ままで、視野制限用絞りのみをその口径の小さなものに
変更することになる。
【０００７】この場合に、その口径の小さな視野制限用
絞りでの各種の分析定数、例えば、検量線法における検
量線係数、あるいは、ファンダメンタルパラメータ法に
おける感度係数等を、改めて標準試料を測定することに
より求め、新しい分析条件を作成した後に、未知試料の
分析を開始するようにしている。
絞りでの各種の分析定数、例えば、検量線法における検
量線係数、あるいは、ファンダメンタルパラメータ法に
おける感度係数等を、改めて標準試料を測定することに
より求め、新しい分析条件を作成した後に、未知試料の
分析を開始するようにしている。
【０００８】このように、従来では、同一の材質であっ
ても、試料マスクや視野制限用絞りを変更して直径が異
なる未知試料を分析するときには、改めて標準試料を測
定して各種の分析定数を求めねばならず、面倒で手間の
かかるものであり、特に、未知試料の直径が小さいとき
には、感度が低下して測定時間が長くなるために、その
傾向が顕著であった。
ても、試料マスクや視野制限用絞りを変更して直径が異
なる未知試料を分析するときには、改めて標準試料を測
定して各種の分析定数を求めねばならず、面倒で手間の
かかるものであり、特に、未知試料の直径が小さいとき
には、感度が低下して測定時間が長くなるために、その
傾向が顕著であった。
【０００９】本発明は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、直径の異なる未知試料を分析する場合に、改
めて標準試料を測定することなく、迅速な分析を行える
ようにすることを目的とする。
であって、直径の異なる未知試料を分析する場合に、改
めて標準試料を測定することなく、迅速な分析を行える
ようにすることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。
を達成するために、次のように構成している。
【００１１】すなわち、本発明は、分析対象領域となる
試料径を、試料マスクの有効内径または視野制限用絞り
の口径で制限する蛍光Ｘ線分析装置において、基準試料
径で標準試料を測定することにより得られた分析定数
を、予め求められた基準試料径に対する各試料径毎の蛍
光Ｘ線強度の変換係数でそれぞれ変換することにより得
られた各試料径毎の分析定数が、保持される保持手段
と、前記標準試料と同一材質の試料を、前記基準試料径
とは異なる試料径で、かつ、標準試料と同一の測定条件
で分析するときに、前記保持手段に保持された該異なる
試料径の分析定数を用いて分析条件を設定する設定手段
と、を備えている。
試料径を、試料マスクの有効内径または視野制限用絞り
の口径で制限する蛍光Ｘ線分析装置において、基準試料
径で標準試料を測定することにより得られた分析定数
を、予め求められた基準試料径に対する各試料径毎の蛍
光Ｘ線強度の変換係数でそれぞれ変換することにより得
られた各試料径毎の分析定数が、保持される保持手段
と、前記標準試料と同一材質の試料を、前記基準試料径
とは異なる試料径で、かつ、標準試料と同一の測定条件
で分析するときに、前記保持手段に保持された該異なる
試料径の分析定数を用いて分析条件を設定する設定手段
と、を備えている。
【００１２】
【作用】上記構成によれば、基準試料径で標準試料を測
定することにより得られた分析定数を、基準試料径に対
する各試料径毎の蛍光Ｘ線強度の変換係数で変換して各
試料径毎の分析定数を求めて保持し、標準試料と同一材
質の試料を、基準試料径とは異なる試料径で、かつ、標
準試料と同一の測定条件で分析するときには、保持され
た該異なる試料径の分析定数を用いて分析条件を設定し
て分析するので、試料マスクまたは視野制限用絞りによ
って制限される試料径が異なる毎に、改めて標準試料を
測定して分析定数を決定するといった必要がない。
定することにより得られた分析定数を、基準試料径に対
する各試料径毎の蛍光Ｘ線強度の変換係数で変換して各
試料径毎の分析定数を求めて保持し、標準試料と同一材
質の試料を、基準試料径とは異なる試料径で、かつ、標
準試料と同一の測定条件で分析するときには、保持され
た該異なる試料径の分析定数を用いて分析条件を設定し
て分析するので、試料マスクまたは視野制限用絞りによ
って制限される試料径が異なる毎に、改めて標準試料を
測定して分析定数を決定するといった必要がない。
【００１３】
【実施例】以下、図面によって本発明の実施例につい
て、詳細に説明する。
て、詳細に説明する。
【００１４】図１は、本発明の一実施例に係る蛍光Ｘ線
分析装置の全体の概略構成図である。
分析装置の全体の概略構成図である。
【００１５】この蛍光Ｘ線分析装置では、Ｘ線管１から
の一次Ｘ線を試料容器３に収納された試料２に照射し、
これに応じて試料２から発生する蛍光Ｘ線を視野制限用
絞り４を通して一次ソーラスリット５に導いて平行ビー
ムとして取り出し、このＸ線を平板分光結晶６によって
各元素に対応する波長成分をもつスペクトルに分光し、
分光されたＸ線を再び二次ソーラスリット７を通じてＸ
線検出器８で検出し、データ処理部９でデータが解析さ
れて分析結果が表示部１０に表示される。なお、１１は
入力部である。
の一次Ｘ線を試料容器３に収納された試料２に照射し、
これに応じて試料２から発生する蛍光Ｘ線を視野制限用
絞り４を通して一次ソーラスリット５に導いて平行ビー
ムとして取り出し、このＸ線を平板分光結晶６によって
各元素に対応する波長成分をもつスペクトルに分光し、
分光されたＸ線を再び二次ソーラスリット７を通じてＸ
線検出器８で検出し、データ処理部９でデータが解析さ
れて分析結果が表示部１０に表示される。なお、１１は
入力部である。
【００１６】試料近傍の構成は、図５の従来例と同様で
あり、試料２は、試料容器３の試料マスク３ａによって
中央部のみが露出しており、視野制限用絞り４は、平板
４ａの３箇所に口径の異なる透孔４ｂ，４ｃ，４ｄを形
成して構成されている。
あり、試料２は、試料容器３の試料マスク３ａによって
中央部のみが露出しており、視野制限用絞り４は、平板
４ａの３箇所に口径の異なる透孔４ｂ，４ｃ，４ｄを形
成して構成されている。
【００１７】この実施例の蛍光Ｘ線分析装置では、例え
ば、使用頻度の最も高い口径（基準口径）の視野制限用
絞りを使用して試料を分析した後に、同一の材質で直径
の小さな未知試料を分析するために、試料マスクを変更
するとともに、Ｘ線管の励起条件などの他の測定条件は
そのままで、視野制限用絞りのみをその口径の小さなも
のに変更した場合に、改めて標準試料を測定して各種の
分析定数を求めるという手間を省いて迅速な分析が行え
るようにするために、次のように構成している。
ば、使用頻度の最も高い口径（基準口径）の視野制限用
絞りを使用して試料を分析した後に、同一の材質で直径
の小さな未知試料を分析するために、試料マスクを変更
するとともに、Ｘ線管の励起条件などの他の測定条件は
そのままで、視野制限用絞りのみをその口径の小さなも
のに変更した場合に、改めて標準試料を測定して各種の
分析定数を求めるという手間を省いて迅速な分析が行え
るようにするために、次のように構成している。
【００１８】すなわち、この実施例では、同一試料を同
一の測定条件で、視野制限用絞りの口径のみを変えて予
め測定し、基準口径の視野制限用絞りで測定された蛍光
Ｘ線強度と、異なる口径の視野制限用絞りで測定された
蛍光Ｘ線強度との間の変換係数を各口径毎に順次演算し
てメモリに格納している。
一の測定条件で、視野制限用絞りの口径のみを変えて予
め測定し、基準口径の視野制限用絞りで測定された蛍光
Ｘ線強度と、異なる口径の視野制限用絞りで測定された
蛍光Ｘ線強度との間の変換係数を各口径毎に順次演算し
てメモリに格納している。
【００１９】この同一試料は、基準口径の視野制限用絞
りと、異なる口径の視野制限用絞りとの蛍光Ｘ線強度の
間の変換係数を求めるものであり、面内で成分が均一で
あれば、成分含有量が確定している必要はない。
りと、異なる口径の視野制限用絞りとの蛍光Ｘ線強度の
間の変換係数を求めるものであり、面内で成分が均一で
あれば、成分含有量が確定している必要はない。
【００２０】この同一試料を同一の測定条件の下で、基
準口径の視野制限用絞りで測定して得られた蛍光Ｘ線強
度と、異なる口径の視野制限用絞りで測定して得られた
蛍光Ｘ線強度との間の変換係数は、次のようにして算出
される。
準口径の視野制限用絞りで測定して得られた蛍光Ｘ線強
度と、異なる口径の視野制限用絞りで測定して得られた
蛍光Ｘ線強度との間の変換係数は、次のようにして算出
される。
【００２１】例えば、変換係数がαだけの１点法では、
基準口径の視野制限用絞りで測定された蛍光Ｘ線強度を
Ｉst、異なる口径の視野制限用絞りで測定された蛍光Ｘ
線強度をＩiとすると、変換係数αは、 α＝Ｉst／Ｉi となる。
基準口径の視野制限用絞りで測定された蛍光Ｘ線強度を
Ｉst、異なる口径の視野制限用絞りで測定された蛍光Ｘ
線強度をＩiとすると、変換係数αは、 α＝Ｉst／Ｉi となる。
【００２２】したがって、基準口径の視野制限用絞りで
測定される蛍光Ｘ線強度Ｉは、異なる口径の視野制限用
絞りで測定される蛍光Ｘ線強度Ｉ’と、前記変換係数α
とによって次式で表される。
測定される蛍光Ｘ線強度Ｉは、異なる口径の視野制限用
絞りで測定される蛍光Ｘ線強度Ｉ’と、前記変換係数α
とによって次式で表される。
【００２３】Ｉ＝αＩ’ このようにして、各口径毎に予め求めた変換係数αをメ
モリに格納している。
モリに格納している。
【００２４】そして、基準口径の視野制限用絞りを使用
して試料を分析した後に、同一の材質で直径の小さな未
知試料を分析するために、試料マスクを変更するととも
に、Ｘ線管の励起条件などの他の測定条件はそのまま
で、視野制限用絞りのみをその口径の小さなものに変更
した場合には、基準口径の視野制限用絞りを使用して予
め標準試料を測定することにより得られている分析定
数、例えば、検量線係数を、変更される口径の小さな視
野制限用絞りに対応する変換係数αを用いて変換し、変
更された視野制限用絞りの口径に対応した検量線係数を
保持し、この検量線係数を用いて分析条件を設定して未
知試料の分析を行うものである。
して試料を分析した後に、同一の材質で直径の小さな未
知試料を分析するために、試料マスクを変更するととも
に、Ｘ線管の励起条件などの他の測定条件はそのまま
で、視野制限用絞りのみをその口径の小さなものに変更
した場合には、基準口径の視野制限用絞りを使用して予
め標準試料を測定することにより得られている分析定
数、例えば、検量線係数を、変更される口径の小さな視
野制限用絞りに対応する変換係数αを用いて変換し、変
更された視野制限用絞りの口径に対応した検量線係数を
保持し、この検量線係数を用いて分析条件を設定して未
知試料の分析を行うものである。
【００２５】この検量線係数の変換は、次のようにして
行われる。
行われる。
【００２６】今、基準口径の視野制限用絞りを使用した
ときの検量線係数をａ，ｂ，ｃ、基準口径の視野制限用
絞りを使用したときの蛍光Ｘ線強度をＩ、口径の小さな
視野制限用絞りを使用したときの検量線係数をＡ，Ｂ，
Ｃ、含有量をＷｔとすると、基準口径の視野制限用絞り
を使用したときの検量線は、 Ｗｔ＝ａＩ2＋ｂＩ＋ｃ となる。
ときの検量線係数をａ，ｂ，ｃ、基準口径の視野制限用
絞りを使用したときの蛍光Ｘ線強度をＩ、口径の小さな
視野制限用絞りを使用したときの検量線係数をＡ，Ｂ，
Ｃ、含有量をＷｔとすると、基準口径の視野制限用絞り
を使用したときの検量線は、 Ｗｔ＝ａＩ2＋ｂＩ＋ｃ となる。
【００２７】一方、基準口径の視野制限用絞りを使用し
たときの蛍光Ｘ線強度Ｉは、上述のように、Ｉ＝αＩ’
であるから、前記検量線は、 Ｗｔ＝ａＩ2＋ｂＩ＋ｃ ＝ａ（αＩ’）2＋ｂ（αＩ’）＋ｃ ＝ａα2Ｉ’2＋ｂαＩ’＋ｃ となる。
たときの蛍光Ｘ線強度Ｉは、上述のように、Ｉ＝αＩ’
であるから、前記検量線は、 Ｗｔ＝ａＩ2＋ｂＩ＋ｃ ＝ａ（αＩ’）2＋ｂ（αＩ’）＋ｃ ＝ａα2Ｉ’2＋ｂαＩ’＋ｃ となる。
【００２８】したがって、口径の小さな視野制限用絞り
を使用したときの検量線係数Ａ，Ｂ，Ｃは、基準口径の
視野制限用絞りを使用したときの検量線係数をａ，ｂ，
ｃおよび変換係数αを用いて次式で示されることにな
る。
を使用したときの検量線係数Ａ，Ｂ，Ｃは、基準口径の
視野制限用絞りを使用したときの検量線係数をａ，ｂ，
ｃおよび変換係数αを用いて次式で示されることにな
る。
【００２９】Ａ＝ａα2 Ｂ＝ｂα Ｃ＝ｃ このようにして、口径の小さな視野制限用絞りに対応す
るように検量線係数が変換されて新たな検量線が得ら
れ、この検量線に従って、未知試料の分析が行われる。
るように検量線係数が変換されて新たな検量線が得ら
れ、この検量線に従って、未知試料の分析が行われる。
【００３０】なお、図２は、基準口径の蛍光Ｘ線強度Ｉ
と口径の小さいときの蛍光Ｘ線強度Ｉ’との関係を示し
ている。
と口径の小さいときの蛍光Ｘ線強度Ｉ’との関係を示し
ている。
【００３１】このようにして検量線が得られるので、従
来例のように、口径の小さな視野制限用絞りに変更した
ときに、改めて標準試料を測定して検量線係数を決定す
る必要がなく、迅速な分析が可能となる。
来例のように、口径の小さな視野制限用絞りに変更した
ときに、改めて標準試料を測定して検量線係数を決定す
る必要がなく、迅速な分析が可能となる。
【００３２】特に、測定によって得られる蛍光Ｘ線強度
は、視野制限用絞りの口径の２乗に比例して小さくなる
ために、口径の小さな視野制限用絞りで同一の精度を得
ようとする場合には、測定時間が長時間となり、したが
って、かかる場合には、本発明の効果が顕著となる。
は、視野制限用絞りの口径の２乗に比例して小さくなる
ために、口径の小さな視野制限用絞りで同一の精度を得
ようとする場合には、測定時間が長時間となり、したが
って、かかる場合には、本発明の効果が顕著となる。
【００３３】図３は、以上の処理手順を説明するための
フローチャートであり、先ず、同一試料を同一の測定条
件の下で、視野制限用絞りの口径を異ならせて順次実測
して変換係数を各口径毎に演算してメモリに予め格納し
ておき（ステップｎ１）、視野制限用絞りの口径を変更
するキー入力があると（ステップｎ２）、その変更され
た口径の視野制限用絞りに対応するように、変換係数を
用いて検量線係数の変換処理が行われて新たな分析条件
が作成され（ステップｎ３）、この分析条件に従って変
更された視野制限用絞りによる分析が実行される（ステ
ップｎ４）。以降の処理は、従来例と同様である。
フローチャートであり、先ず、同一試料を同一の測定条
件の下で、視野制限用絞りの口径を異ならせて順次実測
して変換係数を各口径毎に演算してメモリに予め格納し
ておき（ステップｎ１）、視野制限用絞りの口径を変更
するキー入力があると（ステップｎ２）、その変更され
た口径の視野制限用絞りに対応するように、変換係数を
用いて検量線係数の変換処理が行われて新たな分析条件
が作成され（ステップｎ３）、この分析条件に従って変
更された視野制限用絞りによる分析が実行される（ステ
ップｎ４）。以降の処理は、従来例と同様である。
【００３４】かかる変換係数および分析定数の算出、保
持および分析条件の設定といった処理は、データ処理部
９によって行われるものであり、このデータ処理部９
は、保持手段および設定手段としての機能を有する。
持および分析条件の設定といった処理は、データ処理部
９によって行われるものであり、このデータ処理部９
は、保持手段および設定手段としての機能を有する。
【００３５】また、分析しようとする未知試料は、標準
試料とまったく同一の材質である必要はない。
試料とまったく同一の材質である必要はない。
【００３６】上述の実施例では、１点法による変換係数
の算出について説明したけれども、本発明の他の実施例
として、２点法を用いてもよい。
の算出について説明したけれども、本発明の他の実施例
として、２点法を用いてもよい。
【００３７】すなわち、変換係数をα，βとすると、含
有量が異なる２種類の試料について、同一の測定条件の
下で、視野制限用絞りの口径を異ならせて蛍光Ｘ線強度
を測定する。
有量が異なる２種類の試料について、同一の測定条件の
下で、視野制限用絞りの口径を異ならせて蛍光Ｘ線強度
を測定する。
【００３８】このとき、基準口径の視野制限用絞りで含
有量の高い方の試料および含有量の低い方の試料をそれ
ぞれ測定して得られた蛍光Ｘ線強度をＩst H，Ｉst L、同
じく異なる口径の視野制限用絞りで前記２種類の試料を
それぞれ測定して得られた蛍光Ｘ線強度をＩi H，Ｉi Lと
すると、変換係数α，βは、 α＝（Ｉst H−Ｉst L）／（Ｉi H−Ｉi L） β＝Ｉst H−Ｉi L×α となり、基準口径の視野制限用絞りで測定される蛍光Ｘ
線強度Ｉは、異なる口径の視野制限用絞りで測定される
蛍光Ｘ線強度Ｉ’と、前記変換係数α，βとによって次
式で示される。
有量の高い方の試料および含有量の低い方の試料をそれ
ぞれ測定して得られた蛍光Ｘ線強度をＩst H，Ｉst L、同
じく異なる口径の視野制限用絞りで前記２種類の試料を
それぞれ測定して得られた蛍光Ｘ線強度をＩi H，Ｉi Lと
すると、変換係数α，βは、 α＝（Ｉst H−Ｉst L）／（Ｉi H−Ｉi L） β＝Ｉst H−Ｉi L×α となり、基準口径の視野制限用絞りで測定される蛍光Ｘ
線強度Ｉは、異なる口径の視野制限用絞りで測定される
蛍光Ｘ線強度Ｉ’と、前記変換係数α，βとによって次
式で示される。
【００３９】Ｉ＝αＩ’＋β このようにして、２点法によって変換係数α，βを算出
した後の検量線係数の変換は、上述の実施例と同様であ
る。なお、この２点法によって変換する場合の基準口径
の蛍光Ｘ線強度Ｉと口径が小さいときの蛍光Ｘ線強度
Ｉ’との関係を図４に示す。
した後の検量線係数の変換は、上述の実施例と同様であ
る。なお、この２点法によって変換する場合の基準口径
の蛍光Ｘ線強度Ｉと口径が小さいときの蛍光Ｘ線強度
Ｉ’との関係を図４に示す。
【００４０】また、上述の実施例では、基準口径を、最
も使用頻度の高い口径の視野制限用絞りとしたけれど
も、これに限ることはなく、分析しようとする未知試料
と同一の材質について、標準試料の測定によって分析定
数が既にに決定されている口径の視野制限用絞りとすれ
ばよい。
も使用頻度の高い口径の視野制限用絞りとしたけれど
も、これに限ることはなく、分析しようとする未知試料
と同一の材質について、標準試料の測定によって分析定
数が既にに決定されている口径の視野制限用絞りとすれ
ばよい。
【００４１】上述の各実施例においては、逐次形の蛍光
Ｘ線分析装置の視野制限用絞りに適用して説明したけれ
ども、本発明の他の実施例として、視野制限用絞りを備
えていない同時分析形蛍光Ｘ線分析装置の試料マスクに
適用してもよい。
Ｘ線分析装置の視野制限用絞りに適用して説明したけれ
ども、本発明の他の実施例として、視野制限用絞りを備
えていない同時分析形蛍光Ｘ線分析装置の試料マスクに
適用してもよい。
【００４２】すなわち、同時分析形蛍光Ｘ線分析装置で
は、分析対象元素を含まない材質からなる試料マスクの
有効内径によって、試料径が制限されるものである。し
たがって、この場合には、上述の実施例と同様に、有効
内径が異なる試料マスク毎に、予め同一試料を同一の測
定条件で測定し、基準有効内径の試料マスクに対する蛍
光Ｘ線強度の変換係数を演算してメモリに格納してお
き、同一材質の未知試料を同一の測定条件で試料マスク
のみを変更して分析するときには、基準有効内径の試料
マスクで標準試料を測定して得られている分析定数を、
前記変換係数で変換し、この分析定数で分析条件を設定
して分析すればよい。
は、分析対象元素を含まない材質からなる試料マスクの
有効内径によって、試料径が制限されるものである。し
たがって、この場合には、上述の実施例と同様に、有効
内径が異なる試料マスク毎に、予め同一試料を同一の測
定条件で測定し、基準有効内径の試料マスクに対する蛍
光Ｘ線強度の変換係数を演算してメモリに格納してお
き、同一材質の未知試料を同一の測定条件で試料マスク
のみを変更して分析するときには、基準有効内径の試料
マスクで標準試料を測定して得られている分析定数を、
前記変換係数で変換し、この分析定数で分析条件を設定
して分析すればよい。
【００４３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、基準試料
径で標準試料を測定することにより得られた分析定数
を、基準試料径に対する各試料径毎の蛍光Ｘ線強度の変
換係数でそれぞれ変換することにより求められた各試料
径毎の分析定数を保持し、前記標準試料と同一材質の試
料を、前記基準試料径とは異なる試料径で、かつ、標準
試料と同一の測定条件で分析するときには、保持された
該異なる試料径の分析定数を用いて分析するので、試料
径が異なる毎に、改めて標準試料を測定して分析定数を
決定するといった必要がなく、迅速な分析が行える。
径で標準試料を測定することにより得られた分析定数
を、基準試料径に対する各試料径毎の蛍光Ｘ線強度の変
換係数でそれぞれ変換することにより求められた各試料
径毎の分析定数を保持し、前記標準試料と同一材質の試
料を、前記基準試料径とは異なる試料径で、かつ、標準
試料と同一の測定条件で分析するときには、保持された
該異なる試料径の分析定数を用いて分析するので、試料
径が異なる毎に、改めて標準試料を測定して分析定数を
決定するといった必要がなく、迅速な分析が行える。
【図１】本発明の一実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図２】１点法による検量線の変換を説明するための図
である。
である。
【図３】図１の実施例の動作手順を説明するためのフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図４】２点法による検量線の変換を説明するための図
である。
である。
【図５】試料近傍を示す斜視図である。
１ Ｘ線管 ２ 試料 ３ａ 試料マスク ４ 視野制限用絞り ９ データ処理部
Claims (1)
- 【請求項１】 分析対象領域となる試料径を、試料マス
クの有効内径または視野制限用絞りの口径で制限する蛍
光Ｘ線分析装置において、 基準試料径で標準試料を測定することにより得られた分
析定数を、予め求められた基準試料径に対する各試料径
毎の蛍光Ｘ線強度の変換係数でそれぞれ変換することに
より得られた各試料径毎の分析定数が、保持される保持
手段と、 前記標準試料と同一材質の試料を、前記基準試料径とは
異なる試料径で、かつ、標準試料と同一の測定条件で分
析するときに、前記保持手段に保持された該異なる試料
径の分析定数を用いて分析条件を設定する設定手段と、 を備えることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5276568A JP2508604B2 (ja) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5276568A JP2508604B2 (ja) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07128261A JPH07128261A (ja) | 1995-05-19 |
| JP2508604B2 true JP2508604B2 (ja) | 1996-06-19 |
Family
ID=17571299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5276568A Expired - Lifetime JP2508604B2 (ja) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2508604B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2636982B2 (ja) * | 1991-06-19 | 1997-08-06 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光ｘ線分析装置の視野制限装置 |
-
1993
- 1993-11-05 JP JP5276568A patent/JP2508604B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07128261A (ja) | 1995-05-19 |
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