JP3949850B2 - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、蛍光X線分析装置において、定性分析の結果から定量分析値を求める装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、いわゆる波長分散型の蛍光X線分析においては、試料にX線管等のX線源から1次X線を照射し、試料から発生した蛍光X線を分光素子で回折(分光)し、分光素子で回折された蛍光X線を検出器で検出する。ここで、定性分析においては、検出器に入射する蛍光X線の波長が変わるように、ゴニオメータと呼ばれる連動手段で分光素子と検出器を連続的に連動させることにより、試料に含まれる各元素から発生した蛍光X線をそれぞれの波長に分光し、検出している。
【0003】
これにより得られる各分光角における蛍光X線の強度を示すスペクトルに対しピーク検索、同定解析を行い、この定性分析の結果から、定量分析値を求めることがよく行われるようになった。この際、代表的な試料を用いた実験における感度(検出される強度)や近接する蛍光X線の重なり等を考慮して、定量分析する元素について、一律に、原子番号が4〜55のBe〜Csの元素ではK系列の特性X線を用い、原子番号が56〜92のBa〜Uの元素ではL系列の特性X線を用いて計算していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような系列の選択は、必ずしも適切でなく、例えば、軽元素を主成分とする試料においてセシウム(Cs,原子番号55)の定量分析を行う場合に、Cs−Kα線を用いると、そのバックグラウンドの強度が大きいため、SN比が低く(悪く)、検出限界も高くなり、正確な分析ができない。このような場合には、強度はやや小さくても、バックグラウンドの強度が小さい、すなわち、SN比の高いCs−Lα線を用いるべきである。
【0005】
このような問題は、軽元素を主成分とする試料においては、特に短波長側でコンプトン散乱線および連続X線の散乱線が強く発生してバックグラウンドの強度が大きくなることに起因しているが、そのような事情を考慮して、定量分析する元素について用いるべき特性X線の系列を適切に判断するのは、オペレータにとって容易でない場合が多い。
【0006】
本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされたもので、定性分析の結果から、定量分析する元素について用いるべき特性X線の系列を、SN比を考慮して自動的に適切に選択できる蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本願第1の発明は、試料に1次X線を照射して発生する2次X線の強度を測定する装置であって、試料によって散乱される1次X線の散乱線の測定強度と所定の基準値との比較に基づいて、定量分析する元素について用いるべき特性X線の系列を判断する判断手段を備えている。
【0008】
本願第1の発明によれば、判断手段により、定量分析する元素について用いるべき特性X線の系列がSN比を考慮して適切に選択されて、検出限界が低くなるので、簡単に正確な分析ができる。また、軽元素を主成分とする試料中の重元素についても、判断手段により、X線的に飽和厚さに達しやすい系列の特性X線が選択されて、試料の厚さによる誤差が発生しにくいので、この点においても簡単に正確な分析ができる。ここで、前記散乱線としてコンプトン散乱線を用いることができる。
【0009】
本願第2の発明は、試料に1次X線を照射して発生する2次X線の強度を測定する蛍光X線分析装置であって、定量分析する元素についての系列の異なる特性X線とそれぞれのバックグラウンドとの測定強度の比に基づいて、定量分析する元素について用いるべき特性X線の系列を判断する判断手段を備えている。本願第2の発明によっても、前記第1の発明と同様の作用効果がある。
【0010】
本願発明においては、前記判断手段の判断の対象となる元素の原子番号が48以上58以下の範囲内であることが好ましい。その範囲外の元素については、通常、判断が不要だからである。また、前記判断手段の判断の対象となる特性X線の系列がK系列およびL系列であることが好ましい。M系列やN系列の特性X線は、通常、強度がきわめて小さく、定量分析に用いるのは不適切だからである。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態の装置について説明する。まず、この装置の構成について、図1にしたがって説明する。この装置は、試料1が載置される試料台2と、試料1に1次X線3を照射するX線管等のX線源4と、試料1から発生した2次X線5を分光する分光素子6と、分光素子6で分光された2次X線7の強度を測定する検出器8とを備えている。なお、2次X線5,7には、試料1から発生する蛍光X線のほか、1次X線3の連続X線の散乱線および1次X線3の特性X線の散乱線が含まれる。
【0012】
また、検出器8に入射する2次X線7の波長が変わるように、分光素子6と検出器8を連動させる連動手段10、すなわちいわゆるゴニオメータを備えている。2次X線5がある入射角θで分光素子6へ入射すると、その2次X線5の延長線9と分光素子6で分光(回折)された2次X線7は入射角θの2倍の分光角2θをなすが、連動手段10は、分光角2θを変化させて分光される2次X線7の波長を変化させつつ、その分光された2次X線7が検出器8に入射するように、分光素子6を、その表面の中心を通る紙面に垂直な軸Oを中心に回転させ、その回転角の2倍だけ、検出器8を、軸Oを中心に円11に沿って回転させる。連動手段10において、例えば、前記軸Oに取り付けたポテンショメータ等により、分光素子6および検出器8が回転した結果形成される入射角θ、分光角2θが確認される。
【0013】
さらに、この装置は、以下の定性分析手段12、判断手段13および定量分析手段14を含む制御処理手段15を備えている。定性分析手段12は、前記連動手段10を用いて得られる各分光角2θにおける2次X線7の強度を示すスペクトルに対しピーク検索、同定解析を行い、この定性分析の結果を記憶する。
【0014】
前記判断手段13は、試料1によって散乱される1次X線3の散乱線、具体的には、1次X線3の特性X線の散乱線の測定強度と所定の基準値との比較に基づいて、定量分析する元素(定性分析において含有が認められた元素)について用いるべき特性X線の系列を判断する。この所定の基準値は、後述するように実験によりあらかじめ求めておくことができる。ここで、1次X線3の特性X線とは、例えばX線源4がロジウムをターゲットとするX線管の場合、ロジウムから発生する蛍光X線のうち強度の大きいRh−Kα線を指す。また、1次X線3の特性X線の散乱線としては、試料1の密度の影響を受けて強度が大きく変わるRh−Kα線のコンプトン散乱線を用いるが、前記判断が可能ならRh−Kα線のトムソン散乱線を用いてもよく、また、1次X線3の連続X線の散乱線を用いてもよい。
【0015】
前記判断の対象となる特性X線の系列としては、K系列およびL系列を採用する。M系列やN系列の特性X線は、通常、強度がきわめて小さく、定量分析に用いるのは不適切だからである。なお、K系列およびL系列の特性X線として、Kβ線やLβ線に比べて強度の大きいKα線やLα線を用いるが、Kβ線やLβ線を用いてもよい。また、前記判断は、定量分析する元素の原子番号が48以上58以下の範囲(Cd〜Ce)にある場合に限って行われる。それ以外の原子番号の元素については、通常、判断が不要なので、従来と同じように一律に系列が決定される。すなわち、原子番号が4〜47のBe〜Agの元素についてはK系列のKα線を用い、原子番号が59〜92のPr〜Uの元素についてはL系列のLα線を用いる。ただし、判断の対象となる元素の原子番号の範囲は、48以上58以下の範囲内で、より限定して、例えば49以上55以下の範囲とすることもできる。この場合は、原子番号が48,56〜58の元素についても従来と同じように一律に系列が決定される。
【0016】
前記定量分析手段14は、定量分析する元素について、前記判断手段13によって選択された系列の特性X線の測定強度、または一律に決定される系列の特性X線の測定強度を、前記定性分析手段12から呼び出して用い、ファンダメンタルパラメータ法により、各元素の定量分析値(含有率)を算出する。なお、各蛍光X線の測定強度は、それぞれに対応するバックグラウンドの強度を差し引いたネット強度を用いる。
【0017】
次に、この装置の動作について説明する。試料台2に試料1が載置され、試料1にX線源4から1次X線3が照射されると、試料1から発生した2次X線5が分光素子6で分光され、分光された2次X線7の強度が検出器8で測定される。ここで、定性分析手段12が、分光素子6と検出器8を連動手段10で連続的に連動させることにより、試料1から発生した2次X線5をそれぞれの波長に分光し、検出して、各分光角2θにおける2次X線7の強度を示すスペクトルが得られる。定性分析手段12は、これに対しピーク検索、同定解析を行い、その定性分析の結果を記憶する。今、試料1がセメントやポリマー等のように軽元素を主成分とするものであれば、定性分析の結果は、例えば図2に実線で示すようになる。ここで、横軸には波長を用いている。なお、図2においては、簡単のため、定性分析において含有が認められる元素、すなわち、定量分析する元素のうち、セシウムのスペクトルのみを記載しており、他の含有元素のスペクトルは記載を省略している。
【0018】
さて、試料1の定量分析にあたり、従来であれば前述したように、感度(強度)等の観点から、セシウム(原子番号55)について一律にCs−Kα線を用いていたが、軽元素を主成分とする試料1においては、Cs−Kα線のバックグラウンド(1次X線の連続X線の散乱線)の強度が大きいため、SN比が低く(悪く)、検出限界も高くなり、正確な分析ができない。
【0019】
これに対し、この装置では、判断手段13が、図2に実線で示すようにRh−Kα線のコンプトン散乱線の測定強度(ピークのグロス強度)が所定の基準値Rを超えることから、定量分析に用いるセシウムの特性X線としてCs−Lα線を選択する。基準値Rは、Rh−Kα線のコンプトン散乱線の測定強度がこれを超える場合に、原子番号が48以上58以下の各元素において、K系列のKα線よりもL系列のLα線の方がSN比が高くなるように、あらかじめ実験により求め、設定しておけばよい。判断手段13は、原子番号が48以上58以下の範囲において、他の定量分析する元素においても、用いるべき特性X線としてLα線を選択する。
【0020】
そして、定量分析手段14が、定量分析する元素について、原子番号が48〜58の範囲においては判断手段13によって選択されたL系列のLα線の測定強度を、原子番号が4〜47の範囲においては従来と同様に一律に決定されるK系列のKα線の測定強度を、原子番号が59〜92の範囲においても従来と同様に一律に決定されるL系列のLα線の測定強度を、定性分析手段12から呼び出して用い、ファンダメンタルパラメータ法により、各元素の定量分析値(含有率)を算出する。
【0021】
一方、試料1が重元素を主成分とするものであれば、定性分析の結果は、例えば図2に破線で示すようになる。この場合、判断手段13は、Rh−Kα線のコンプトン散乱線の測定強度が所定の基準値R以下であることから、定量分析に用いるセシウムの特性X線としてCs−Kα線を選択する。原子番号が48以上58以下の範囲において、他の定量分析する元素においても、用いるべき特性X線としてKα線を選択する。
【0022】
そして、定量分析手段14が、定量分析する元素について、原子番号が48〜58の範囲においては判断手段13によって選択されたK系列のKα線の測定強度を、原子番号が4〜47の範囲においては従来と同様に一律に決定されるK系列のKα線の測定強度を、原子番号が59〜92の範囲においても従来と同様に一律に決定されるL系列のLα線の測定強度を、定性分析手段12から呼び出して用い、ファンダメンタルパラメータ法により、各元素の定量分析値(含有率)を算出する。
【0023】
このように、本実施形態の装置によれば、判断手段13により、定量分析する元素について用いるべき特性X線の系列がSN比を考慮して適切に選択されて、検出限界が低くなるので、簡単に正確な分析ができる。また、軽元素を主成分とする試料1において、従来のように、定量分析にあたり、セシウムの特性X線として一律にCs−Kα線を用いると、試料1が例えば厚さ1cmで外観上バルク試料として十分な厚さを有するように見えても、X線的には飽和厚さに達していない場合があり、そのような場合には、厚さが測定強度に影響するので、薄膜試料として扱わないと正しく分析ができない。これに対し、本実施形態の装置によれば、判断手段13により、Cs−Lα線のようにX線的に飽和厚さに達しやすい系列の特性X線が選択されて、試料1の厚さによる誤差が発生しにくいので、この点においても簡単に正確な分析ができる。
【0024】
なお、本実施形態では、判断手段13が、1次X線の特性X線の散乱線(Rh−Kα線のコンプトン散乱線)の測定強度を所定の基準値Rと比較して選択すべき特性X線の系列を判断したが、これとは別に以下のようにして系列を判断してもよい。すなわち、判断手段は、定量分析対象の元素のK系列の特性X線の測定強度(ピークのグロス強度)と、対応するバックグラウンドの測定強度との比を求めるとともに、同じ元素のL系列の特性X線の測定強度(ピークのグロス強度)と、対応するバックグラウンドの測定強度との比を求め、SN比が高い方の系列の特性X線を選択してもよい。この場合には、元素ごとに判断するので、判断手段における手順は増すが、より正確な分析ができる。
【0025】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、判断手段により、定量分析する元素について用いるべき特性X線の系列がSN比を考慮して適切に選択されて、検出限界が低くなるので、簡単に正確な分析ができる。また、軽元素を主成分とする試料中の重元素についても、判断手段により、X線的に飽和厚さに達しやすい系列の特性X線が選択されて、試料の厚さによる誤差が発生しにくいので、この点においても簡単に正確な分析ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の蛍光X線分析装置を示す概略図である。
【図2】同装置による定性分析の結果の例を示す図である。
【符号の説明】
1…試料、3…1次X線、4…X線源、5,7…2次X線、13…判断手段、R…基準値。
Claims (4)
- 試料に1次X線を照射して発生する2次X線の強度を測定する蛍光X線分析装置において、
試料によって散乱される1次X線の散乱線の測定強度と所定の基準値との比較に基づいて、定量分析する元素について用いるべき特性X線の系列を判断する判断手段を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 請求項1において、
前記散乱線がコンプトン散乱線である蛍光X線分析装置。 - 試料に1次X線を照射して発生する2次X線の強度を測定する蛍光X線分析装置において、
定量分析する元素についての系列の異なる特性X線とそれぞれのバックグラウンドとの測定強度の比に基づいて、定量分析する元素について用いるべき特性X線の系列を判断する判断手段を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 請求項1ないし3のいずれかにおいて、
前記判断手段の判断の対象となる元素の原子番号が48以上58以下の範囲内であり、
前記判断手段の判断の対象となる特性X線の系列がK系列およびL系列である蛍光X線分析装置。
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