JPH0763711A - 蛍光ｘ線分析方法および装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析方法および装置Info
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- JPH0763711A JPH0763711A JP23548693A JP23548693A JPH0763711A JP H0763711 A JPH0763711 A JP H0763711A JP 23548693 A JP23548693 A JP 23548693A JP 23548693 A JP23548693 A JP 23548693A JP H0763711 A JPH0763711 A JP H0763711A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 蛍光Ｘ線分析において、オペレータは試料の
品種やキーコードを知る必要がなく、しかも、キーコー
ドを入力する必要をなくして、つまり、試料の品種を自
動的に分別してオペレータの負担を軽くする。 【構成】 試料の品種を判定するための品種判定元素に
ついての蛍光Ｘ線の分別用強度範囲を予め定め、仮測定
を行うことで品種判定元素についての蛍光Ｘ線の強度を
測定し、この仮測定強度と分別用強度範囲に基づいて試
料の品種を決定する。つづいて、品種に応じた本測定の
条件で、試料の定量分析を行う。
品種やキーコードを知る必要がなく、しかも、キーコー
ドを入力する必要をなくして、つまり、試料の品種を自
動的に分別してオペレータの負担を軽くする。 【構成】 試料の品種を判定するための品種判定元素に
ついての蛍光Ｘ線の分別用強度範囲を予め定め、仮測定
を行うことで品種判定元素についての蛍光Ｘ線の強度を
測定し、この仮測定強度と分別用強度範囲に基づいて試
料の品種を決定する。つづいて、品種に応じた本測定の
条件で、試料の定量分析を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、一次Ｘ線のような放
射線を試料に照射して、試料から発生した蛍光Ｘ線に基
づいて試料の定量分析を行う蛍光Ｘ線分析方法および装
置に関するものである。
射線を試料に照射して、試料から発生した蛍光Ｘ線に基
づいて試料の定量分析を行う蛍光Ｘ線分析方法および装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術およびその課題】従来より、蛍光Ｘ線分析
法には、互いに組成が異なる複数個の標準試料から検量
線を予め作成し、未知試料についての蛍光Ｘ線を測定
し、この測定強度と上記検量線に基づいて試料の定量分
析を行う検量線法が知られている。かかる検量線法によ
って、複数の品種（ステンレス鋼、鉄鋼、めっき鋼板）
の試料を分析するには、図６のように、各品種ごとに、
異なる分析条件で各元素の検量線を用意する。したがっ
て、検量線法によって試料を分析するには、まず、試料
の品種、つまり、おおよその組成を知る必要がある。そ
のため、従来は、試料に品種を表示し、オペレータが品
種に対応したキーコードを憶え、かつ、このキーコード
をコンピュータに入力していた。したがって、オペレー
タ等の負担が大きくなる。
法には、互いに組成が異なる複数個の標準試料から検量
線を予め作成し、未知試料についての蛍光Ｘ線を測定
し、この測定強度と上記検量線に基づいて試料の定量分
析を行う検量線法が知られている。かかる検量線法によ
って、複数の品種（ステンレス鋼、鉄鋼、めっき鋼板）
の試料を分析するには、図６のように、各品種ごとに、
異なる分析条件で各元素の検量線を用意する。したがっ
て、検量線法によって試料を分析するには、まず、試料
の品種、つまり、おおよその組成を知る必要がある。そ
のため、従来は、試料に品種を表示し、オペレータが品
種に対応したキーコードを憶え、かつ、このキーコード
をコンピュータに入力していた。したがって、オペレー
タ等の負担が大きくなる。
【０００３】この発明は、上記従来の問題に鑑みてなさ
れたもので、試料の品種を自動的に分別することで、オ
ペレータの負担を軽減し得る蛍光Ｘ線分析方法および装
置を提供することを目的とする。
れたもので、試料の品種を自動的に分別することで、オ
ペレータの負担を軽減し得る蛍光Ｘ線分析方法および装
置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の構成の説明に先立って、この発明の原理
について説明する。図４において、ある測定条件におけ
る品種Ａ，Ｂ，Ｃについての第１〜第４元素の濃度範囲
がわかっている場合、これらの濃度範囲に基づいて、品
種が未知な試料の品種を知ることができる。つまり、図
５において、品種Ａであるか否かは、第１元素について
の蛍光Ｘ線の強度を知ることにより、品種Ａか否かが分
かる。また、品種Ｂ，Ｃについては、第１元素の範囲が
部分的に重複しているので、第１元素の濃度だけでは判
別できないが、第３元素の濃度を知ることにより、品種
Ｂか品種Ｃかが分かる。
に、この発明の構成の説明に先立って、この発明の原理
について説明する。図４において、ある測定条件におけ
る品種Ａ，Ｂ，Ｃについての第１〜第４元素の濃度範囲
がわかっている場合、これらの濃度範囲に基づいて、品
種が未知な試料の品種を知ることができる。つまり、図
５において、品種Ａであるか否かは、第１元素について
の蛍光Ｘ線の強度を知ることにより、品種Ａか否かが分
かる。また、品種Ｂ，Ｃについては、第１元素の範囲が
部分的に重複しているので、第１元素の濃度だけでは判
別できないが、第３元素の濃度を知ることにより、品種
Ｂか品種Ｃかが分かる。
【０００５】そこで、この発明方法は、試料の品種を判
定するための仮測定条件と、試料の分析対象の元素の濃
度を求めるための複数の本測定条件とを予め定め、試料
の品種を判定するための品種判定元素についての蛍光Ｘ
線の分別用強度範囲を予め求め、試料の品種ごとに当該
試料に含まれる分析対象の元素についての検量線を予め
求めておく。分析するには、まず、仮測定を行うことで
品種判定元素についての蛍光Ｘ線の強度を測定し、この
仮測定強度と上記分別用強度範囲に基づいて試料の品種
を決定し、つづいて、当該品種の試料に応じた本測定を
行うことで試料からの蛍光Ｘ線の強度を測定し、この本
測定強度と当該品種の検量線に基づいて試料の定量分析
を行う。
定するための仮測定条件と、試料の分析対象の元素の濃
度を求めるための複数の本測定条件とを予め定め、試料
の品種を判定するための品種判定元素についての蛍光Ｘ
線の分別用強度範囲を予め求め、試料の品種ごとに当該
試料に含まれる分析対象の元素についての検量線を予め
求めておく。分析するには、まず、仮測定を行うことで
品種判定元素についての蛍光Ｘ線の強度を測定し、この
仮測定強度と上記分別用強度範囲に基づいて試料の品種
を決定し、つづいて、当該品種の試料に応じた本測定を
行うことで試料からの蛍光Ｘ線の強度を測定し、この本
測定強度と当該品種の検量線に基づいて試料の定量分析
を行う。
【０００６】この発明装置は、分析条件、分別情報およ
び検量線の記憶手段と、品種決定手段と、定量手段とを
備えている。上記分析条件記憶手段は、仮測定条件およ
び複数の本測定条件を記憶する。上記分別情報記憶手段
は、試料の品種を判定するための品種判定元素について
の蛍光Ｘ線の分別用強度範囲を記憶する。上記検量線記
憶手段は、試料の品種ごとに当該試料に含まれる分析対
象の元素についての検量線を記憶する。上記品種決定手
段は、仮測定条件における蛍光Ｘ線の仮測定強度および
上記分別用強度範囲に基づいて試料の品種を決定する。
上記定量手段は、本測定条件における蛍光Ｘ線の本測定
強度および上記当該試料の品種の検量線に基づいて試料
の定量分析を行う。
び検量線の記憶手段と、品種決定手段と、定量手段とを
備えている。上記分析条件記憶手段は、仮測定条件およ
び複数の本測定条件を記憶する。上記分別情報記憶手段
は、試料の品種を判定するための品種判定元素について
の蛍光Ｘ線の分別用強度範囲を記憶する。上記検量線記
憶手段は、試料の品種ごとに当該試料に含まれる分析対
象の元素についての検量線を記憶する。上記品種決定手
段は、仮測定条件における蛍光Ｘ線の仮測定強度および
上記分別用強度範囲に基づいて試料の品種を決定する。
上記定量手段は、本測定条件における蛍光Ｘ線の本測定
強度および上記当該試料の品種の検量線に基づいて試料
の定量分析を行う。
【０００７】
【作用】この発明によれば、仮測定を行うことで、試料
の品種を判別し得るので、オペレータは試料の品種やキ
ーコードを知る必要がない。
の品種を判別し得るので、オペレータは試料の品種やキ
ーコードを知る必要がない。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面にしたがっ
て説明する。まず、分析装置の概略について説明する。
図２において、Ｘ線管１は、一次Ｘ線（放射線）Ｂ１を
出射して、試料２に一次Ｘ線Ｂ１を照射する。照射され
た一次Ｘ線Ｂ１は試料２の原子を励起して、その元素固
有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生させる。試料２からの蛍光Ｘ線
Ｂ２は、複数個の分光結晶３1 〜３n に、それぞれ、入
射角θ1 〜θn で入射し、下記のブラッグの式を満足す
る所定の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが、入射角θ1 〜θn
と同一の角度の回折角θ1 〜θn で回折される。 ２ｄsin θ＝ｎλ ｄ：結晶の面間隔 λ：蛍光Ｘ線の波長 ｎ：反射の次数
て説明する。まず、分析装置の概略について説明する。
図２において、Ｘ線管１は、一次Ｘ線（放射線）Ｂ１を
出射して、試料２に一次Ｘ線Ｂ１を照射する。照射され
た一次Ｘ線Ｂ１は試料２の原子を励起して、その元素固
有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生させる。試料２からの蛍光Ｘ線
Ｂ２は、複数個の分光結晶３1 〜３n に、それぞれ、入
射角θ1 〜θn で入射し、下記のブラッグの式を満足す
る所定の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが、入射角θ1 〜θn
と同一の角度の回折角θ1 〜θn で回折される。 ２ｄsin θ＝ｎλ ｄ：結晶の面間隔 λ：蛍光Ｘ線の波長 ｎ：反射の次数
【０００９】上記回折された蛍光Ｘ線Ｂ３は、それぞれ
対応するＸ線検出器４1 〜４n に入射して検出され、こ
れらのＸ線検出器４1 〜４n は、図示しないアンプを介
して、それぞれ、検出出力ｅを図１の波高分析器５1 〜
５n に出力する。各検出出力ｅは、波高分析器５1 〜５
n で波高分析されて、ノイズなどが除去された後、パル
ス信号ｐとして計数回路６1 〜６n に入力される。各計
数回路６1 〜６n はパルス信号ｐをカウントして、Ｘ線
の強度信号ｘを測定制御手段１０の定量手段１１に出力
する。定量手段１１は、後述するように、検量線記憶手
段１２から所定の検量線を読み出して、この検量線と上
記強度信号ｘに基づいて、当該波長に対応する元素の濃
度を算出する。算出された濃度は、濃度信号として、Ｃ
ＲＴやプリンタなどの出力装置１３に入力され、出力装
置１３は濃度を出力する。
対応するＸ線検出器４1 〜４n に入射して検出され、こ
れらのＸ線検出器４1 〜４n は、図示しないアンプを介
して、それぞれ、検出出力ｅを図１の波高分析器５1 〜
５n に出力する。各検出出力ｅは、波高分析器５1 〜５
n で波高分析されて、ノイズなどが除去された後、パル
ス信号ｐとして計数回路６1 〜６n に入力される。各計
数回路６1 〜６n はパルス信号ｐをカウントして、Ｘ線
の強度信号ｘを測定制御手段１０の定量手段１１に出力
する。定量手段１１は、後述するように、検量線記憶手
段１２から所定の検量線を読み出して、この検量線と上
記強度信号ｘに基づいて、当該波長に対応する元素の濃
度を算出する。算出された濃度は、濃度信号として、Ｃ
ＲＴやプリンタなどの出力装置１３に入力され、出力装
置１３は濃度を出力する。
【００１０】この分析装置は、複数の品種について分析
を行うことができ、仮測定および本測定の測定条件が、
分析条件記憶手段１５に記憶されている。両測定条件
は、それぞれ、図３に示すように、Ｘ線管１（図２）に
印加する管電圧、管電流や、用いる検出器４1 〜４n が
定まっており、また、本測定条件も、分析する試料２
（図２）の種類によって、測定条件が異なっている。図
１の上記測定制御手段１０は、分析条件記憶手段１５か
らの分析条件（測定条件）に従って、Ｘ線発生装置１６
を制御して、Ｘ線管１（図２）に所定の管電圧および管
電流を印加する。
を行うことができ、仮測定および本測定の測定条件が、
分析条件記憶手段１５に記憶されている。両測定条件
は、それぞれ、図３に示すように、Ｘ線管１（図２）に
印加する管電圧、管電流や、用いる検出器４1 〜４n が
定まっており、また、本測定条件も、分析する試料２
（図２）の種類によって、測定条件が異なっている。図
１の上記測定制御手段１０は、分析条件記憶手段１５か
らの分析条件（測定条件）に従って、Ｘ線発生装置１６
を制御して、Ｘ線管１（図２）に所定の管電圧および管
電流を印加する。
【００１１】上記測定制御手段１０はマイクロコンピュ
ータおよび外部コンピュータからなり、品種決定手段１
７を備えている。この品種決定手段１７は、仮測定条件
における蛍光Ｘ線の仮測定強度および分別用強度範囲に
基づいて試料２（図２）の品種を決定するものである。
上記分別用強度範囲は、分別情報記憶手段１８に記憶さ
れており、図５に示すように、試料２（図２）の品種を
判定するための品種判定元素である第１元素、第３元素
についての蛍光Ｘ線の強度の下限値と上限値によって定
められる。
ータおよび外部コンピュータからなり、品種決定手段１
７を備えている。この品種決定手段１７は、仮測定条件
における蛍光Ｘ線の仮測定強度および分別用強度範囲に
基づいて試料２（図２）の品種を決定するものである。
上記分別用強度範囲は、分別情報記憶手段１８に記憶さ
れており、図５に示すように、試料２（図２）の品種を
判定するための品種判定元素である第１元素、第３元素
についての蛍光Ｘ線の強度の下限値と上限値によって定
められる。
【００１２】つぎに、分析方法について説明する。ま
ず、品種および組成が未知の試料の分析を行う前に、各
測定条件、分別用強度範囲および検量線を作成する。す
なわち、図３のように、試料の品種を判定するための仮
測定条件である管電圧、管電流および用いるＸ線検出器
４1 〜４n のＮｏ．を定め、図１の分析条件記憶手段１
５に記憶させる。つづいて、試料の分析対象の元素の濃
度を定めるための本測定条件である管電圧、管電流およ
びＸ線検出器４1 〜４n のＮｏ．を定め、分析条件記憶
手段１５に記憶させる。
ず、品種および組成が未知の試料の分析を行う前に、各
測定条件、分別用強度範囲および検量線を作成する。す
なわち、図３のように、試料の品種を判定するための仮
測定条件である管電圧、管電流および用いるＸ線検出器
４1 〜４n のＮｏ．を定め、図１の分析条件記憶手段１
５に記憶させる。つづいて、試料の分析対象の元素の濃
度を定めるための本測定条件である管電圧、管電流およ
びＸ線検出器４1 〜４n のＮｏ．を定め、分析条件記憶
手段１５に記憶させる。
【００１３】一方、図５のように、試料の品種を判定す
るための品種判定元素（第１元素、第３元素）について
の蛍光Ｘ線の分別用強度範囲を予め定め、これを図１の
分別情報記憶手段１８に記憶させる。なお、上記分別用
強度範囲は、仮測定条件において測定される蛍光Ｘ線の
強度により定められている。
るための品種判定元素（第１元素、第３元素）について
の蛍光Ｘ線の分別用強度範囲を予め定め、これを図１の
分別情報記憶手段１８に記憶させる。なお、上記分別用
強度範囲は、仮測定条件において測定される蛍光Ｘ線の
強度により定められている。
【００１４】また、図６のように、試料の品種ごとに当
該試料に含まれる分析対象の元素についての検量線を予
め求め、これを図１の検量線記憶手段１２に記憶させ
る。この検量線は、当該品種ごとに用意された組成が既
知の複数の標準試料について本測定条件で蛍光Ｘ線の強
度を測定し、この測定された蛍光Ｘ線の強度と元素濃度
から求められる。
該試料に含まれる分析対象の元素についての検量線を予
め求め、これを図１の検量線記憶手段１２に記憶させ
る。この検量線は、当該品種ごとに用意された組成が既
知の複数の標準試料について本測定条件で蛍光Ｘ線の強
度を測定し、この測定された蛍光Ｘ線の強度と元素濃度
から求められる。
【００１５】つぎに、品種および組成が未知の試料を実
際に分析する方法について説明する。未知の試料を分析
する場合には、まず、測定制御手段１０が分析条件記憶
手段１５から仮測定条件を読み出し、Ｘ線発生装置１６
に仮測定条件を出力する。これにより、Ｘ線発生装置１
６が、仮測定条件の管電圧、管電流でＸ線管１（図２）
を作動させる。つづいて、測定制御手段１０の品種決定
手段１７は、仮測定条件に応じた、つまり、品種判定元
素（第１元素、第３元素）に対応するＸ線検出器４1 〜
４n の計数回路６1 〜６n から蛍光Ｘ線の仮測定強度を
取り込み、一方、分別情報記憶手段１８から分別用強度
範囲を読み出し、当該試料の品種を決定する。したがっ
て、試料の品種やキーコードを知る必要もないし、ま
た、キーコードを入力する必要もない。
際に分析する方法について説明する。未知の試料を分析
する場合には、まず、測定制御手段１０が分析条件記憶
手段１５から仮測定条件を読み出し、Ｘ線発生装置１６
に仮測定条件を出力する。これにより、Ｘ線発生装置１
６が、仮測定条件の管電圧、管電流でＸ線管１（図２）
を作動させる。つづいて、測定制御手段１０の品種決定
手段１７は、仮測定条件に応じた、つまり、品種判定元
素（第１元素、第３元素）に対応するＸ線検出器４1 〜
４n の計数回路６1 〜６n から蛍光Ｘ線の仮測定強度を
取り込み、一方、分別情報記憶手段１８から分別用強度
範囲を読み出し、当該試料の品種を決定する。したがっ
て、試料の品種やキーコードを知る必要もないし、ま
た、キーコードを入力する必要もない。
【００１６】この品種決定後、測定制御手段１０は、分
析条件記憶手段１５から当該品種に応じた本測定条件の
管電圧、管電流などを読み出し、これらの条件に従って
Ｘ線管１（図２）を作動させる。つづいて、測定制御手
段１０の定量手段１１は、当該試料の品種に応じた計数
回路６1 〜６n から蛍光Ｘ線の本測定強度を取り込み、
一方、検量線記憶手段１２から当該品種の検量線を読み
出し、当該品種の試料について、必要な種類の元素の濃
度を求める。
析条件記憶手段１５から当該品種に応じた本測定条件の
管電圧、管電流などを読み出し、これらの条件に従って
Ｘ線管１（図２）を作動させる。つづいて、測定制御手
段１０の定量手段１１は、当該試料の品種に応じた計数
回路６1 〜６n から蛍光Ｘ線の本測定強度を取り込み、
一方、検量線記憶手段１２から当該品種の検量線を読み
出し、当該品種の試料について、必要な種類の元素の濃
度を求める。
【００１７】なお、この発明において、仮測定条件にお
いて測定する元素と、本測定条件において測定する元素
とは、必ずしも一致する必要はない。
いて測定する元素と、本測定条件において測定する元素
とは、必ずしも一致する必要はない。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、試料の品種を判定するための品種判定元素について
の蛍光Ｘ線の分別用強度範囲を予め定め、仮測定を行う
ことで品種判定元素についての蛍光Ｘ線の強度を測定
し、この仮測定強度と分別用強度範囲に基づいて試料の
品種を決定するから、オペレータは試料の品種やキーコ
ードを知る必要がなく、しかも、キーコードを入力する
必要もない。つまり、試料の品種が自動的に分別される
ので、オペレータの負担が軽くなる。
ば、試料の品種を判定するための品種判定元素について
の蛍光Ｘ線の分別用強度範囲を予め定め、仮測定を行う
ことで品種判定元素についての蛍光Ｘ線の強度を測定
し、この仮測定強度と分別用強度範囲に基づいて試料の
品種を決定するから、オペレータは試料の品種やキーコ
ードを知る必要がなく、しかも、キーコードを入力する
必要もない。つまり、試料の品種が自動的に分別される
ので、オペレータの負担が軽くなる。
【図１】この発明の一実施例を示す蛍光Ｘ線分析装置の
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】同測定装置を示す概略構成図である。
【図３】分析条件記憶手段の記憶内容を示す概念図であ
る。
る。
【図４】試料の品種と各元素についての蛍光Ｘ線の強度
を示す図表である。
を示す図表である。
【図５】分別用強度範囲を示す図表である。
【図６】検量線記憶手段の記憶内容を示す図表である。
２…試料、１１…定量手段、１２…検量線記憶手段、１
５…分析条件記憶手段、１７…品種決定手段、１８…分
別情報記憶手段、Ｂ１…一次Ｘ線（放射線）、Ｂ２…蛍
光Ｘ線。
５…分析条件記憶手段、１７…品種決定手段、１８…分
別情報記憶手段、Ｂ１…一次Ｘ線（放射線）、Ｂ２…蛍
光Ｘ線。
Claims (2)
- 【請求項１】 試料に放射線を照射して、試料から発生
した蛍光Ｘ線に基づいて試料の定量分析を行う蛍光Ｘ線
分析方法において、 試料の品種を判定するための仮測定条件と、試料の分析
対象の元素の濃度を求めるための複数の本測定条件とを
予め定め、 試料の品種を判定するための品種判定元素についての蛍
光Ｘ線の分別用強度範囲を予め求め、 試料の品種ごとに当該試料に含まれる分析対象の元素に
ついての検量線を予め求め、 仮測定を行うことで品種判定元素についての蛍光Ｘ線の
強度を測定し、この仮測定強度と上記分別用強度範囲に
基づいて試料の品種を決定し、 つづいて、当該品種の試料に応じた本測定を行うことで
試料からの蛍光Ｘ線の強度を測定し、この本測定強度と
当該品種の検量線に基づいて試料の定量分析を行う蛍光
Ｘ線分析方法。 - 【請求項２】 試料に放射線を照射して、試料から発生
した蛍光Ｘ線に基づいて試料の定量分析を行う蛍光Ｘ線
分析装置であって、 仮測定条件および複数の本測定条件を記憶する分析条件
記憶手段と、 試料の品種を判定するための品種判定元素についての蛍
光Ｘ線の分別用強度範囲を記憶する分別情報記憶手段
と、 試料の品種ごとに当該試料に含まれる分析対象の元素に
ついての検量線を記憶する検量線記憶手段と、 仮測定条件における蛍光Ｘ線の仮測定強度および上記分
別用強度範囲に基づいて試料の品種を決定する品種決定
手段と、 本測定条件における蛍光Ｘ線の本測定強度および上記当
該試料の品種の検量線に基づいて試料の定量分析を行う
定量手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23548693A JPH0763711A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23548693A JPH0763711A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0763711A true JPH0763711A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=16986772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23548693A Pending JPH0763711A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 蛍光ｘ線分析方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0763711A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006038757A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Fujitsu Ltd | 分析装置及び記憶媒体並びに分析方法 |
| WO2006013728A1 (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 蛍光ｘ線分析方法および蛍光ｘ線分析装置 |
-
1993
- 1993-08-27 JP JP23548693A patent/JPH0763711A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006038757A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Fujitsu Ltd | 分析装置及び記憶媒体並びに分析方法 |
| WO2006013728A1 (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 蛍光ｘ線分析方法および蛍光ｘ線分析装置 |
| US7170970B2 (en) | 2004-08-06 | 2007-01-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Fluorescent X-ray analysis method and fluorescent X-ray analysis apparatus |
| JPWO2006013728A1 (ja) * | 2004-08-06 | 2008-05-01 | 松下電器産業株式会社 | 蛍光ｘ線分析方法および蛍光ｘ線分析装置 |
| JP4755594B2 (ja) * | 2004-08-06 | 2011-08-24 | パナソニック株式会社 | 蛍光ｘ線分析方法および蛍光ｘ線分析装置 |
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