JPH0738843Y2 - エネルギー分散型蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents

エネルギー分散型蛍光ｘ線分析装置

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JPH0738843Y2
JPH0738843Y2 JP14883988U JP14883988U JPH0738843Y2 JP H0738843 Y2 JPH0738843 Y2 JP H0738843Y2 JP 14883988 U JP14883988 U JP 14883988U JP 14883988 U JP14883988 U JP 14883988U JP H0738843 Y2 JPH0738843 Y2 JP H0738843Y2
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JP
Japan
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sample
energy dispersive
fluorescence analyzer
ray fluorescence
rotary table
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JP14883988U
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正則 高橋
光男 内藤
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セイコー電子工業株式会社
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は元素分析で使用される、エネルギー分散型蛍光
Ｘ線分析装置のうち、試料室内に試料交換テーブルを有
する装置に関するものである。
〔従来の技術〕
従来のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、比較的小
型の試料室を備えた、試料を一個ずつ手で交換するもの
と、大型の試料室に回転テーブルを備えた、自動試料交
換機能を持ったものとに分けられる。従来の回転テーブ
ルは、試料室の側壁に接する程度にまで大きく作られ、
従って被測定試料の位置すなわち一次Ｘ線の照射位置は
試料室の中心から大きくずれ、側壁に近い位置にあり、
さらに回転テーブルの上部には取付のための部品等突起
があった。この配置および構造は小型の試料を自動交換
する目的のためだけであった。
〔考案が解決しようとする課題〕
従来の技術の項で述べた自動試料交換用回転テーブルを
備えた装置を用いて大型の試料の分析を試みた場合、試
料室は大きくても回転テーフル上の突起物に妨げられて
うまく置けなかったり、もし試料室に入ったとしても一
次Ｘ線の照射位置が試料室の側壁近くにまでいっている
ため、試料の周辺部しか分析が行えないという問題があ
った。
〔課題を解決するための手段〕
本考案に係る蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線管球からの一次
Ｘ線の照射位置が、回転テーブル式試料交換機構を備え
た試料室の中心になるように、Ｘ線管球、半導体検出
器、試料室、上部に突起のない回転テーブルを配置した
ことを主たる手段とするものである。
〔作用〕
上記の構成により、大型の試料を分析する時、試料が矩
形と仮定した場合、試料の長さが回転テーブルの直径、
巾が回転テーブルの半径の大きさ以下であれば、試料の
いかなる位置でも任意に分析することができる。
〔実施例〕
以下、図面に従って本考案の実施例を説明する。
第１図は正面断面図、第２図は上面図である。
図において、１はＸ線管球で、発生した一次Ｘ線10は試
料室２の中心に向けて照射される。試料３から発生した
蛍光Ｘ線11は半導体検出器４によって検出される。回転
テーブル５は通常の小型試料の場合は自動試料交換機構
として働く。大型試料（図中に示される。）の場合は単
なる試料台として使われる。大型試料は回転テーブル５
と補助テーブル６によって作られる試料室内の大きな平
面上のどこにでも置くことができ、任意の場所の分析が
可能となる。
〔考案の効果〕
以上説明してきたように、本考案を使用すれば自動試料
交換機能を持ち、かつ大型の試料も容易に全面を分析で
きるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例を示す正面断面図、第２図は上
面図である。 １……Ｘ線管球 ２……試料室 ３……試料 ４……半導体検出器 ５……回転テーブル ６……補助テーブル ７……回転テーブル用モータ ８……試料室ふた 10……一次Ｘ線 11……蛍光Ｘ線

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】試料に一次Ｘ線を照射するためのＸ線管球
    と、試料より発せられた蛍光Ｘ線を検出するための半導
    体検出器と、前記試料を自動交換するための回転テーブ
    ルと、前記回転テーブルを収める試料室よりなる蛍光Ｘ
    線分析装置において、 被測定試料の位置、あるいは一次Ｘ線の照射位置が試料
    室の中心になるように配置されたことを特徴とするエネ
    ルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
  2. 【請求項２】前記回転テーブルの上部にはいかなる突起
    物もないことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
    項記載のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置。
JP14883988U 1988-11-15 1988-11-15 エネルギー分散型蛍光ｘ線分析装置 Expired - Lifetime JPH0738843Y2 (ja)

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JPH0269751U JPH0269751U (ja) 1990-05-28
JPH0738843Y2 true JPH0738843Y2 (ja) 1995-09-06

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