JPS59106057U - 電子分光装置 - Google Patents

電子分光装置

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JPS59106057U
JPS59106057U JP19992482U JP19992482U JPS59106057U JP S59106057 U JPS59106057 U JP S59106057U JP 19992482 U JP19992482 U JP 19992482U JP 19992482 U JP19992482 U JP 19992482U JP S59106057 U JPS59106057 U JP S59106057U
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JP
Japan
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electron
electron spectrometer
spectrometer
detector
background
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JP19992482U
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Inventor
住友　征二
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株式会社島津製作所
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例装置の側面図、第２図は電子
検出器りの出力の記録グラフ、第３図は電子検出器ＢＤ
の出力の記録グラフ、第４図は本考案の他の実施例装置
の側面図、第５図は本考案の効果を説明するグラフであ
る。 １．１′・・・電子エネルギー分析器、Ｄ・・・電子分
光用電子検出器、ＢＤ・・・バックグランド検出用電子
検出器、Ｓｌ・・・入口スリット、Ｓ２・・・出口スリ
ット、ｇｌ・・・入口グリッド、ｇ２・・・出口グリッ
ド、２・・・試料、３・・・電子レンズ系、５・・・減
衰用ポテンショメータ、Ｍｌ、Ｍ２・・・メモリ、’Ｃ
ＰＵ・・・コンピュータ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子分光器の入口の後方に電子分光器の入口を通過した
    電子の一部を検出するバックグラウンド検出器を配置し
    、電子分光器の出口に設けられた電子分光スペクトル測
    定用電子検出器によって得られる電子分光スペクトル信
    号から、上記バックグラウンド検出器によって得られる
    信号に適当な係数を掛けた信号を引算することによりバ
    ックグラウンドを除去するようにした電子分光装置。
JP19992482U 1982-12-30 1982-12-30 電子分光装置 Granted JPS59106057U (ja)

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JP19992482U JPS59106057U (ja) 1982-12-30 1982-12-30 電子分光装置

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JP19992482U JPS59106057U (ja) 1982-12-30 1982-12-30 電子分光装置

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Publication Number Publication Date
JPS59106057U true JPS59106057U (ja) 1984-07-17
JPH0125319Y2 JPH0125319Y2 (ja) 1989-07-28

Family

ID=30425451

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JP19992482U Granted JPS59106057U (ja) 1982-12-30 1982-12-30 電子分光装置

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JPH0125319Y2 (ja) 1989-07-28

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