JPS6113456U - 線形カソ−ド形電子線照射装置 - Google Patents
線形カソ−ド形電子線照射装置Info
- Publication number
- JPS6113456U JPS6113456U JP9826384U JP9826384U JPS6113456U JP S6113456 U JPS6113456 U JP S6113456U JP 9826384 U JP9826384 U JP 9826384U JP 9826384 U JP9826384 U JP 9826384U JP S6113456 U JPS6113456 U JP S6113456U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- linear cathode
- beam irradiation
- irradiation device
- type electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図および第２図はこの考案のそれぞれ異なる実施例
を示す要部断面図、第３図はこの種装置の要部斜視図、
第４図は従来例を示す要部断面図である。 １：線形カソード、２：真空チャンバー、５：分岐管、
６：開口部、７：電界緩和用の電極。
を示す要部断面図、第３図はこの種装置の要部斜視図、
第４図は従来例を示す要部断面図である。 １：線形カソード、２：真空チャンバー、５：分岐管、
６：開口部、７：電界緩和用の電極。
Claims (1)
- 線形カソードを内部に配設してなる真空チャンバーの壁
面に設けられた真空引き用の開口部近傍に、前記壁面と
同電位にあり、しかも通気口を有する電界緩和用の電極
を附設したことを特徴とする線形カソード形電子線照射
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9826384U JPS6113456U (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | 線形カソ−ド形電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9826384U JPS6113456U (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | 線形カソ−ド形電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6113456U true JPS6113456U (ja) | 1986-01-25 |
Family
ID=30657813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9826384U Pending JPS6113456U (ja) | 1984-06-28 | 1984-06-28 | 線形カソ−ド形電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6113456U (ja) |
-
1984
- 1984-06-28 JP JP9826384U patent/JPS6113456U/ja active Pending
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