JPS5986654U - 電界放射型イオン源 - Google Patents

電界放射型イオン源

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JPS5986654U
JPS5986654U JP18333182U JP18333182U JPS5986654U JP S5986654 U JPS5986654 U JP S5986654U JP 18333182 U JP18333182 U JP 18333182U JP 18333182 U JP18333182 U JP 18333182U JP S5986654 U JPS5986654 U JP S5986654U
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JP
Japan
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ion source
field emission
emission ion
cathode
emission type
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JP18333182U
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孝 皆藤
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セイコーインスツルメンツ株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の電界放射型イオン源の断面図、第2図
は、本考案の一実施例を示す電界放射型イ1ン源である
。 1はアノード、2は液体金属、3はリザーバ、4はエミ
ッタニードル、5は引出し電極、6はカソード、8は金
属付着膜である。′

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 絶縁板上に取付けられたアノードと、それをとり囲む引
    出し電極と、カソードとからなる電界放射型イオン源に
    −おいて、引出し電極あるいはカソードからスパッタさ
    れる金属が絶縁板に付着するのを防止するように、アノ
    ードにシールド板を設けたことを特徴とする電界放射型
    イオン源。
JP18333182U 1982-12-03 1982-12-03 電界放射型イオン源 Granted JPS5986654U (ja)

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JP18333182U JPS5986654U (ja) 1982-12-03 1982-12-03 電界放射型イオン源

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JPS5986654U true JPS5986654U (ja) 1984-06-12
JPS6345733Y2 JPS6345733Y2 (ja) 1988-11-28

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