JPS58110949U - イオン銃 - Google Patents
イオン銃Info
- Publication number
- JPS58110949U JPS58110949U JP858582U JP858582U JPS58110949U JP S58110949 U JPS58110949 U JP S58110949U JP 858582 U JP858582 U JP 858582U JP 858582 U JP858582 U JP 858582U JP S58110949 U JPS58110949 U JP S58110949U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion gun
- ion
- insulator
- gun chamber
- ion source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のイオン銃の構造を示す略図、第２図は本
考案の実施例を説明するための略図、第３図は本考案の
原理を説明するための略図である。 １：イオン銃室、２：カソード、３：絶縁碍子、４：イ
オン源、４ａ：制御電極、５：イオンビーム、３ｂ：バ
リヤ一部。 １図
考案の実施例を説明するための略図、第３図は本考案の
原理を説明するための略図である。 １：イオン銃室、２：カソード、３：絶縁碍子、４：イ
オン源、４ａ：制御電極、５：イオンビーム、３ｂ：バ
リヤ一部。 １図
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 接地電位に保なれたイオン銃室内に絶縁硝子によって保
持されたイオン源に正の高電圧を印加することによりイ
オン源からのイオンビームを加速するようにした装置に
ｉいて、前記絶縁碍子の接地側と接するイオン銃室の内
壁部分が前記絶縁碍子によって空間を隔てて覆われるよ
うに構成したことを特徴とするイオン銃。 オ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP858582U JPS58110949U (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | イオン銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP858582U JPS58110949U (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | イオン銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58110949U true JPS58110949U (ja) | 1983-07-28 |
| JPS6323876Y2 JPS6323876Y2 (ja) | 1988-06-30 |
Family
ID=30021270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP858582U Granted JPS58110949U (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | イオン銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58110949U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63190300A (ja) * | 1987-01-31 | 1988-08-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 電子ビーム式プラズマ装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5439974U (ja) * | 1977-08-24 | 1979-03-16 |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP858582U patent/JPS58110949U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5439974U (ja) * | 1977-08-24 | 1979-03-16 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63190300A (ja) * | 1987-01-31 | 1988-08-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 電子ビーム式プラズマ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6323876Y2 (ja) | 1988-06-30 |
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