JPS59152555U - イオン源装置 - Google Patents
イオン源装置Info
- Publication number
- JPS59152555U JPS59152555U JP4797283U JP4797283U JPS59152555U JP S59152555 U JPS59152555 U JP S59152555U JP 4797283 U JP4797283 U JP 4797283U JP 4797283 U JP4797283 U JP 4797283U JP S59152555 U JPS59152555 U JP S59152555U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- source device
- ion source
- ion
- ion extraction
- insulating material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示すＰＩＧ型イオン源装置
の縦断面図、第２図はその■−■断面図である。 １・・・イオン源、２・・・引出電極、３・・・陰極、
４・・・陽極、Ｒ・・・プラズマ室、６・・・電気絶縁
物質、６ａ・・・引出口。 畷
の縦断面図、第２図はその■−■断面図である。 １・・・イオン源、２・・・引出電極、３・・・陰極、
４・・・陽極、Ｒ・・・プラズマ室、６・・・電気絶縁
物質、６ａ・・・引出口。 畷
Claims (1)
- イオン引出電極が対向するプラズマ室の壁体のイオン引
出口のまわりが電気絶縁物質よりなることを特徴とする
イオン源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4797283U JPS59152555U (ja) | 1983-03-30 | 1983-03-30 | イオン源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4797283U JPS59152555U (ja) | 1983-03-30 | 1983-03-30 | イオン源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59152555U true JPS59152555U (ja) | 1984-10-12 |
| JPH0228598Y2 JPH0228598Y2 (ja) | 1990-07-31 |
Family
ID=30178512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4797283U Granted JPS59152555U (ja) | 1983-03-30 | 1983-03-30 | イオン源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59152555U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58216339A (ja) * | 1982-06-09 | 1983-12-16 | Hitachi Ltd | イオンビ−ム発生装置 |
-
1983
- 1983-03-30 JP JP4797283U patent/JPS59152555U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58216339A (ja) * | 1982-06-09 | 1983-12-16 | Hitachi Ltd | イオンビ−ム発生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0228598Y2 (ja) | 1990-07-31 |
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