JPS60126966U - ウイ−ンフイルタ装置 - Google Patents

ウイ−ンフイルタ装置

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Publication number
JPS60126966U
JPS60126966U JP1395284U JP1395284U JPS60126966U JP S60126966 U JPS60126966 U JP S60126966U JP 1395284 U JP1395284 U JP 1395284U JP 1395284 U JP1395284 U JP 1395284U JP S60126966 U JPS60126966 U JP S60126966U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
duct
filter device
pair
beam duct
wien filter
Prior art date
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Pending
Application number
JP1395284U
Other languages
English (en)
Inventor
和男 相田
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図、第３図はそれぞれ他の従来例を示す横
断面図。第４図は本考案によるウィーンフィルタ装置の
基本構成概念図を示す横断面図である。 ４０・・・ビーム中心軌道、４１・・・円筒状ビームダ
クト、４２・・・電極、４３・・・ビームダクト内磁極
、４３ａ・・・外周面、４４・・・絶縁シート、４５・
・・ビームダクト外磁極、４５ａ・・・半円柱状の凹部
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオン源より発したイオンビームに含まれる異なるイオ
    ン種、異なる荷電数のイオン、同位体等を除くため、電
    場と磁場とが重畳した構成のウィーンフィルタ装置に於
    いて、はぼ真円状をなす円筒形状のビームダクトと、こ
    のダクト内に設けられ該ダクト内径に一致するような外
    周面を有する一対の半円柱形のビームダクト内磁極と、
    この磁極間に絶縁シートを介して設けられた一対の電極
    と、前記ビームダクト内磁極と共に一対の磁極を構成す
    る、前記ビームダクトの外周に設けられ半円柱状の凹部
    を有するビームダクト外磁極とから成るウィーンフィル
    タ装置。
JP1395284U 1984-02-02 1984-02-02 ウイ−ンフイルタ装置 Pending JPS60126966U (ja)

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JP1395284U JPS60126966U (ja) 1984-02-02 1984-02-02 ウイ−ンフイルタ装置

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JP1395284U JPS60126966U (ja) 1984-02-02 1984-02-02 ウイ−ンフイルタ装置

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JPS60126966U true JPS60126966U (ja) 1985-08-26

Family

ID=30498431

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1395284U Pending JPS60126966U (ja) 1984-02-02 1984-02-02 ウイ−ンフイルタ装置

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JP (1) JPS60126966U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01258354A (ja) * 1988-04-08 1989-10-16 Hitachi Ltd 荷電粒子線用電界磁界形分離器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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