JPS5984799U - プラズマ装置用放電々極 - Google Patents

プラズマ装置用放電々極

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Publication number
JPS5984799U
JPS5984799U JP18038182U JP18038182U JPS5984799U JP S5984799 U JPS5984799 U JP S5984799U JP 18038182 U JP18038182 U JP 18038182U JP 18038182 U JP18038182 U JP 18038182U JP S5984799 U JPS5984799 U JP S5984799U
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JP
Japan
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tube
discharge electrode
wheel
plasma equipment
curvature
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Pending
Application number
JP18038182U
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English (en)
Inventor
大竹　勉
Original Assignee
セイコーエプソン株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図と第２図は従来のプラズマ装置用放電々極である
。□第３図は従来の放電々極をチューブにそう人したと
き、チューブの入口から見た図である。また、第４図は
本考案の車輪の部分を示した図、第５図は本考案の放電
々極をチューブ内にそう大したとき、チューブの入口か
ら見た図である。　　　−４１・・・車輪、４２・・・
車輪固定治具、４３・・・電極板、４４・・・車輪の軸
、５１・・・車輪、５２・・・車輪固定治具、５３・・
・電極板、５４・・・車輪の軸、５５・・・車輪の接触
面、５６・・・チューブ。 第３図 第５図

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）対向する複数個の電極とチューブ内を移動させる
    ための車輪とを備えたプラズマ装置用放電電極において
    放電々捲の下側に、チューブの軸方向に１列に車を配置
    したことを特徴とするプラズマ装置用放電電極。
  2. （２）　　車輪の軸を通る面で車輪を切断したときの車
    輪のチューブに対する接触面の曲率半径がチューブの曲
    率半径より小さいことを特徴とする実用新案登録請求範
    囲第１項記載のプラズマ装置、　　　　　用放電々極。 　　　　　　−
JP18038182U 1982-11-29 1982-11-29 プラズマ装置用放電々極 Pending JPS5984799U (ja)

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JP18038182U JPS5984799U (ja) 1982-11-29 1982-11-29 プラズマ装置用放電々極

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JP18038182U JPS5984799U (ja) 1982-11-29 1982-11-29 プラズマ装置用放電々極

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JPS5984799U true JPS5984799U (ja) 1984-06-08

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ID=30391124

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