JPS5986700U - プラズマ装置用放電々極 - Google Patents
プラズマ装置用放電々極Info
- Publication number
- JPS5986700U JPS5986700U JP18299482U JP18299482U JPS5986700U JP S5986700 U JPS5986700 U JP S5986700U JP 18299482 U JP18299482 U JP 18299482U JP 18299482 U JP18299482 U JP 18299482U JP S5986700 U JPS5986700 U JP S5986700U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge electrode
- plasma equipment
- electrode plate
- notch
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Plasma Technology (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のプラズマ装置用放電々極、第2−
図は本考案の放電々極である。また第3図は本考案の電
極板の構造を示した図、第4図は電極板固定治具の図で
ある。 21a・・・・・・m・・・・・・電極板、22・・・
・・・基板、23a・・・・・・b・・・・・・電極連
結棒、24・・・・・・電極板固定治具、 。 25・・・・・・車輪、31・・・・・・電極部分、3
2.33・・・・・・切り込み、41a・・・・・・b
・・・・・・電極連結棒を通ず溝、42・・・・・・絶
縁物、43・・・・・・電極板をさし込む溝。
図は本考案の放電々極である。また第3図は本考案の電
極板の構造を示した図、第4図は電極板固定治具の図で
ある。 21a・・・・・・m・・・・・・電極板、22・・・
・・・基板、23a・・・・・・b・・・・・・電極連
結棒、24・・・・・・電極板固定治具、 。 25・・・・・・車輪、31・・・・・・電極部分、3
2.33・・・・・・切り込み、41a・・・・・・b
・・・・・・電極連結棒を通ず溝、42・・・・・・絶
縁物、43・・・・・・電極板をさし込む溝。
Claims (1)
- 複数個の電極を有するプラズマ装置用放電々極において
、電極板の一部が切り込みを看し、該切り込みに高周波
電力の供給導体をはめ込むことにより、電極板と高周波
電源との電気的接続をなしたことを特徴とするプラズマ
装置用放電々極。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18299482U JPS5986700U (ja) | 1982-12-02 | 1982-12-02 | プラズマ装置用放電々極 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18299482U JPS5986700U (ja) | 1982-12-02 | 1982-12-02 | プラズマ装置用放電々極 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5986700U true JPS5986700U (ja) | 1984-06-12 |
Family
ID=30396156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18299482U Pending JPS5986700U (ja) | 1982-12-02 | 1982-12-02 | プラズマ装置用放電々極 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5986700U (ja) |
-
1982
- 1982-12-02 JP JP18299482U patent/JPS5986700U/ja active Pending
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