JPS59166442U - 光照射装置のランプ結線構造 - Google Patents
光照射装置のランプ結線構造Info
- Publication number
- JPS59166442U JPS59166442U JP5950683U JP5950683U JPS59166442U JP S59166442 U JPS59166442 U JP S59166442U JP 5950683 U JP5950683 U JP 5950683U JP 5950683 U JP5950683 U JP 5950683U JP S59166442 U JPS59166442 U JP S59166442U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connection structure
- irradiation device
- light irradiation
- lamp connection
- lamps
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Discharge-Lamp Control Circuits And Pulse- Feed Circuits (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は断面図、第２図は要部の平面図、第３図は要部
の断面図である。 １・・・装置箱、２・・・試料（ウェハー）、５・・・
閃光放電灯、６パ・・ミラー、７・・・端子台、１１・
・・導線、１２・・・導線束。
の断面図である。 １・・・装置箱、２・・・試料（ウェハー）、５・・・
閃光放電灯、６パ・・ミラー、７・・・端子台、１１・
・・導線、１２・・・導線束。
Claims (1)
- 並列に密接配置されて面状光源を構成する多数本の直管
状放電灯のうちの２本づつを１組とし、この２本を相互
に電極方向が逆向きになるように配置して直列に結線し
、陽極と陰極の両端子台を″ 放電灯に対して同一側に
設けたことを特徴とする光照射装置のランプ結線構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5950683U JPS59166442U (ja) | 1983-04-22 | 1983-04-22 | 光照射装置のランプ結線構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5950683U JPS59166442U (ja) | 1983-04-22 | 1983-04-22 | 光照射装置のランプ結線構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59166442U true JPS59166442U (ja) | 1984-11-08 |
| JPS645878Y2 JPS645878Y2 (ja) | 1989-02-14 |
Family
ID=30189754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5950683U Granted JPS59166442U (ja) | 1983-04-22 | 1983-04-22 | 光照射装置のランプ結線構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59166442U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010247576A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Nec Lighting Ltd | 閃光灯システム及びその配線方法 |
| JP2012068002A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Ulvac-Riko Inc | 加熱装置 |
-
1983
- 1983-04-22 JP JP5950683U patent/JPS59166442U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010247576A (ja) * | 2009-04-13 | 2010-11-04 | Nec Lighting Ltd | 閃光灯システム及びその配線方法 |
| JP2012068002A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Ulvac-Riko Inc | 加熱装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS645878Y2 (ja) | 1989-02-14 |
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