JPS5951072U - 赤外線ランプ炉 - Google Patents

赤外線ランプ炉

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Publication number
JPS5951072U
JPS5951072U JP14777282U JP14777282U JPS5951072U JP S5951072 U JPS5951072 U JP S5951072U JP 14777282 U JP14777282 U JP 14777282U JP 14777282 U JP14777282 U JP 14777282U JP S5951072 U JPS5951072 U JP S5951072U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
infrared lamp
lamp furnace
furnace
infrared
infrared lamps
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14777282U
Other languages
English (en)
Inventor
下田　春夫
幹夫 高木
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP14777282U priority Critical patent/JPS5951072U/ja
Publication of JPS5951072U publication Critical patent/JPS5951072U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は赤外線ランプ炉の構成を示す斜視図、第２図は
従来の赤外線ランプを示す側面図、第３図は本考案の一
実施例である赤外線ランプを示す側面図、第４図は本考
案の赤外線ランプ炉を示す構成図、第５図は本考案の一
実施例である基板ステージ構造を示す平面図である。 図において、１１はフィラメント、１２は石英管、１３
は赤外線ランプ、１４は半導体基板、１５は基板ステー
ジ、１６は石英反応部、１７は突起を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 複数の赤外線ランプを熱源とする加熱炉において、該赤
    外線ランプの螺旋形フィラメントが該赤外線ランプの両
    端で密となるよう捲回されてなることを特徴とする赤外
    線ランプ炉。
JP14777282U 1982-09-29 1982-09-29 赤外線ランプ炉 Pending JPS5951072U (ja)

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JP14777282U JPS5951072U (ja) 1982-09-29 1982-09-29 赤外線ランプ炉

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JP14777282U JPS5951072U (ja) 1982-09-29 1982-09-29 赤外線ランプ炉

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JPS5951072U true JPS5951072U (ja) 1984-04-04

Family

ID=30328518

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14777282U Pending JPS5951072U (ja) 1982-09-29 1982-09-29 赤外線ランプ炉

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62153681A (ja) * 1985-12-24 1987-07-08 株式会社八光電機製作所 乾燥炉
JP2016145658A (ja) * 2015-02-06 2016-08-12 シャープ株式会社 除霜ヒータおよび冷却庫

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5529010B1 (ja) * 1971-06-11 1980-07-31

Patent Citations (1)

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