JPS58162634U - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS58162634U JPS58162634U JP6038282U JP6038282U JPS58162634U JP S58162634 U JPS58162634 U JP S58162634U JP 6038282 U JP6038282 U JP 6038282U JP 6038282 U JP6038282 U JP 6038282U JP S58162634 U JPS58162634 U JP S58162634U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- manufacturing equipment
- furnace core
- core tube
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体装置の一例を示す炉心管断面図、
第２図は本考案の一実施例を示す炉心管断面図である。 １７・・・・・・被熱処理物（半導体ウェーハ）、１１
゜１２・・・・・・炉心管。
第２図は本考案の一実施例を示す炉心管断面図である。 １７・・・・・・被熱処理物（半導体ウェーハ）、１１
゜１２・・・・・・炉心管。
Claims (1)
- 炉心管内部の被熱処理物を外部から高周波誘導加熱する
装置において、前記炉心管を異なる材質で二重管構造に
したことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6038282U JPS58162634U (ja) | 1982-04-24 | 1982-04-24 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6038282U JPS58162634U (ja) | 1982-04-24 | 1982-04-24 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58162634U true JPS58162634U (ja) | 1983-10-29 |
Family
ID=30070633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6038282U Pending JPS58162634U (ja) | 1982-04-24 | 1982-04-24 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58162634U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61111992A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-30 | Rohm Co Ltd | 減圧気相成長装置 |
-
1982
- 1982-04-24 JP JP6038282U patent/JPS58162634U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61111992A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-30 | Rohm Co Ltd | 減圧気相成長装置 |
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