JPS6092819U - 高温・高真空熱処理装置 - Google Patents
高温・高真空熱処理装置Info
- Publication number
- JPS6092819U JPS6092819U JP1983184972U JP18497283U JPS6092819U JP S6092819 U JPS6092819 U JP S6092819U JP 1983184972 U JP1983184972 U JP 1983184972U JP 18497283 U JP18497283 U JP 18497283U JP S6092819 U JPS6092819 U JP S6092819U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- vacuum heat
- treatment equipment
- high temperature
- high vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来例の熱処理装置の内部構造の断面図、第2
図は本考案による間接発熱体を有する熱処理装置の内部
構造の斜視図、第3図は、従来例と本考案実施例におけ
る被熱処理物上での温度分布状態を示すグラフである。 1・・・・・・発熱体、2・・・・・・間接発熱体、3
・・・・・・被熱処理体、A・・・・・・従来例におけ
る被熱処理体上での温度分布線、B・・・・・・本考案
実施例における被熱処理体上での温度分布線。
図は本考案による間接発熱体を有する熱処理装置の内部
構造の斜視図、第3図は、従来例と本考案実施例におけ
る被熱処理物上での温度分布状態を示すグラフである。 1・・・・・・発熱体、2・・・・・・間接発熱体、3
・・・・・・被熱処理体、A・・・・・・従来例におけ
る被熱処理体上での温度分布線、B・・・・・・本考案
実施例における被熱処理体上での温度分布線。
Claims (1)
- ペルジャー内に半円筒状の発熱体を配置してなる高温・
高真空熱処理装置において、前記発熱体と被熱処理体と
の間に間接発熱体を被熱処理体と近接離間させて被覆配
置したことを特徴とする高温・高真空熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1983184972U JPS6092819U (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 高温・高真空熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1983184972U JPS6092819U (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 高温・高真空熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6092819U true JPS6092819U (ja) | 1985-06-25 |
JPH0414928Y2 JPH0414928Y2 (ja) | 1992-04-03 |
Family
ID=30399921
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1983184972U Granted JPS6092819U (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 高温・高真空熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6092819U (ja) |
-
1983
- 1983-11-30 JP JP1983184972U patent/JPS6092819U/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0414928Y2 (ja) | 1992-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6092819U (ja) | 高温・高真空熱処理装置 | |
JPS5851184U (ja) | 冷蔵庫 | |
JPS5820898U (ja) | 乾燥装置 | |
JPS58113762U (ja) | 真空炉 | |
JPS5837696U (ja) | 高周波加熱装置 | |
JPS6076032U (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS59109136U (ja) | 赤外線加熱処理装置 | |
JPS5812267U (ja) | 真空蒸着装置における支持体 | |
JPS58162634U (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS585353U (ja) | 冷却装置 | |
JPS5822599U (ja) | スチ−ムトラツプ | |
JPS59101391U (ja) | パネルヒ−タ | |
JPS59148509U (ja) | 電気暖房器 | |
JPS59148506U (ja) | 電子レンジ | |
JPS60133971U (ja) | 電気冷却枕 | |
JPS6077927U (ja) | 暖房器具のカバ− | |
JPS6024348U (ja) | ベ−キング装置 | |
JPS6027239U (ja) | 排気筒のドレン処理装置 | |
JPS5991693U (ja) | 赤外線加熱処理装置 | |
JPS6060638U (ja) | 吸熱器具のドレン処理装置 | |
JPS59126440U (ja) | サ−モスタツト | |
JPS59145028U (ja) | 半導体熱処理装置 | |
JPS602264U (ja) | 冷凍装置 | |
JPS59178328U (ja) | 搬送台 | |
JPS5991694U (ja) | 赤外線加熱処理装置 |