JPS59145028U - 半導体熱処理装置 - Google Patents

半導体熱処理装置

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Publication number
JPS59145028U
JPS59145028U JP3884083U JP3884083U JPS59145028U JP S59145028 U JPS59145028 U JP S59145028U JP 3884083 U JP3884083 U JP 3884083U JP 3884083 U JP3884083 U JP 3884083U JP S59145028 U JPS59145028 U JP S59145028U
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JP
Japan
Prior art keywords
heat treatment
semiconductor heat
treatment equipment
furnace body
abstract
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Application number
JP3884083U
Other languages
English (en)
Inventor
木村　富彦
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の熱処理装置の概略断面図と、その温度分
布曲線を示す。第２図はこの考案の一実施例の熱処理装
置の概略断面図と、その温度分布線を示す。 １・・・炉芯管、４・・・炉体、８・・・ボート、９ａ
。 ９ｂ・・・半導体ウェーハ、１０．１１・・・ヒータブ
ロック、１２．１５・・・主ヒータ、１３，１４，１５
゜１６．１７・・・補助ヒータ、Ｃ・・・無負荷時の温
度分布曲線、′ｄ・・・負荷時の温度分布曲線。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 炉体内に炉芯管を挿通してなる半導体熱処理装置におい
    て、前記炉体に複数の異なる温度フラットゾーンを設定
    するための複数個のヒータブロックを設けたことを特徴
    とする半導体熱処理装置。
JP3884083U 1983-03-17 1983-03-17 半導体熱処理装置 Pending JPS59145028U (ja)

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JP3884083U JPS59145028U (ja) 1983-03-17 1983-03-17 半導体熱処理装置

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JP3884083U JPS59145028U (ja) 1983-03-17 1983-03-17 半導体熱処理装置

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JPS59145028U true JPS59145028U (ja) 1984-09-28

Family

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JP3884083U Pending JPS59145028U (ja) 1983-03-17 1983-03-17 半導体熱処理装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4947077A (ja) * 1972-09-13 1974-05-07

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4947077A (ja) * 1972-09-13 1974-05-07

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