JPS58418U - 半導体熱処理装置 - Google Patents
半導体熱処理装置Info
- Publication number
- JPS58418U JPS58418U JP9229281U JP9229281U JPS58418U JP S58418 U JPS58418 U JP S58418U JP 9229281 U JP9229281 U JP 9229281U JP 9229281 U JP9229281 U JP 9229281U JP S58418 U JPS58418 U JP S58418U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- treatment equipment
- semiconductor heat
- furnace core
- core tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は炉芯管後部の形態を示す従来の構成図、第２図
は本考案の第１．の実施例、第３図は本考案の第２の実
施例をそれぞれ示す構成図である。 １・・・炉芯管、２・・・ガス導入管、？、 ８．
１０・・・冷却フィン。
は本考案の第１．の実施例、第３図は本考案の第２の実
施例をそれぞれ示す構成図である。 １・・・炉芯管、２・・・ガス導入管、？、 ８．
１０・・・冷却フィン。
Claims (1)
- 炉芯管内に半導体ウェハを配置して熱処理を行う装置に
於て、前記炉芯管の後部に取付けられたガス導入管の外
周に冷却フィンを設＆テた事を特徴とする半導体熱処理
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9229281U JPS58418U (ja) | 1981-06-24 | 1981-06-24 | 半導体熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9229281U JPS58418U (ja) | 1981-06-24 | 1981-06-24 | 半導体熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58418U true JPS58418U (ja) | 1983-01-05 |
Family
ID=29887330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9229281U Pending JPS58418U (ja) | 1981-06-24 | 1981-06-24 | 半導体熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58418U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0332020A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-12 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 縦型拡散炉 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5648130A (en) * | 1979-09-26 | 1981-05-01 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Structure of furnace core tube for semiconductor diffusion |
-
1981
- 1981-06-24 JP JP9229281U patent/JPS58418U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5648130A (en) * | 1979-09-26 | 1981-05-01 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Structure of furnace core tube for semiconductor diffusion |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0332020A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-12 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 縦型拡散炉 |
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