JPS60136136U - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS60136136U JPS60136136U JP2402884U JP2402884U JPS60136136U JP S60136136 U JPS60136136 U JP S60136136U JP 2402884 U JP2402884 U JP 2402884U JP 2402884 U JP2402884 U JP 2402884U JP S60136136 U JPS60136136 U JP S60136136U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- manufacturing equipment
- open end
- core tube
- outside
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体製造装置（拡散炉）の具体例を示
す断面図、第２図は本考案に係る半導体 ・製造装置
の一実施例を示す断面図、第３図は他の実施例を示す断
面図である。 １・・・炉心管、１ｂ・・・開口端部、６・・・半導体
ウェー・・、８，８′・・・チキンバー、８ａ、８ａ’
・・・内部空間・
す断面図、第２図は本考案に係る半導体 ・製造装置
の一実施例を示す断面図、第３図は他の実施例を示す断
面図である。 １・・・炉心管、１ｂ・・・開口端部、６・・・半導体
ウェー・・、８，８′・・・チキンバー、８ａ、８ａ’
・・・内部空間・
Claims (1)
- 炉心管内部の半導体ウェーハを外部から加熱して処理す
るものにおいて、上記半導体ウェーハを搬出入する炉心
管の開口端部に、その開口端部を外部から被うチャンバ
ーを装着し、該チャンバーの内部空間に不活性ガスを充
満させるようになしたことを特徴とする半導体製造装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402884U JPS60136136U (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402884U JPS60136136U (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60136136U true JPS60136136U (ja) | 1985-09-10 |
Family
ID=30517801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2402884U Pending JPS60136136U (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60136136U (ja) |
-
1984
- 1984-02-21 JP JP2402884U patent/JPS60136136U/ja active Pending
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