JPS5981029U - 炉芯管 - Google Patents

炉芯管

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Publication number
JPS5981029U
JPS5981029U JP17796382U JP17796382U JPS5981029U JP S5981029 U JPS5981029 U JP S5981029U JP 17796382 U JP17796382 U JP 17796382U JP 17796382 U JP17796382 U JP 17796382U JP S5981029 U JPS5981029 U JP S5981029U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hearth tube
core tube
tube
furnace core
hearth
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Pending
Application number
JP17796382U
Other languages
English (en)
Inventor
五郎 池上
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の不純物拡散装置の概略断面図である。第
２図は従来の炉芯管による高濃度拡散の問題点を説明す
るための要部拡大断面図である。 第３図は上記炉心管による拡散済み半導体ウェー　。 ハの正面図である。第４図はこの考案の一実施例の炉芯
管の要部であるガス出口側の斜視図である。 １・・・・・・炉芯管、１ｂ・・・・・・カス出口、Ｉ
Ｃ・・・・・・内径か大きくなった部分（内径径大化部
分）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. カス出口側に内径か大きくなった部分を設けてなる炉芯
    管。
JP17796382U 1982-11-25 1982-11-25 炉芯管 Pending JPS5981029U (ja)

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JP17796382U JPS5981029U (ja) 1982-11-25 1982-11-25 炉芯管

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17796382U JPS5981029U (ja) 1982-11-25 1982-11-25 炉芯管

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5981029U true JPS5981029U (ja) 1984-05-31

Family

ID=30386501

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17796382U Pending JPS5981029U (ja) 1982-11-25 1982-11-25 炉芯管

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5981029U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62230901A (ja) * 1986-03-31 1987-10-09 Tohoku Metal Ind Ltd 希土類磁石合金の焼結炉

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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