JPS6111773U - 拡散炉 - Google Patents
拡散炉Info
- Publication number
- JPS6111773U JPS6111773U JP9544784U JP9544784U JPS6111773U JP S6111773 U JPS6111773 U JP S6111773U JP 9544784 U JP9544784 U JP 9544784U JP 9544784 U JP9544784 U JP 9544784U JP S6111773 U JPS6111773 U JP S6111773U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion furnace
- quartz tube
- inlet
- wafer
- inlet side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す図で、ａは縦断面図
、ｂは横断面図である。 第２図は従来例を示す図で、ａは縦断面図、ｂは側面図
である。 ３・・・ソースガス、４・・・空気。
、ｂは横断面図である。 第２図は従来例を示す図で、ａは縦断面図、ｂは側面図
である。 ３・・・ソースガス、４・・・空気。
Claims (1)
- 、水平に配した石英管１のウエハーの入口側を開閉自在
に蓋し、該石英管１の反入口側（奥側）にソースガスの
吹込口７を設け、かつ該石英管１のウエハーの入口側の
下部に加熱ヒーター５を配して成ることを特徴とする拡
散炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9544784U JPS6111773U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 拡散炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9544784U JPS6111773U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 拡散炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6111773U true JPS6111773U (ja) | 1986-01-23 |
Family
ID=30654575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9544784U Pending JPS6111773U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 拡散炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6111773U (ja) |
-
1984
- 1984-06-25 JP JP9544784U patent/JPS6111773U/ja active Pending
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