JPS5844834U - 半導体製造装置 - Google Patents

半導体製造装置

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JPS5844834U
JPS5844834U JP13928481U JP13928481U JPS5844834U JP S5844834 U JPS5844834 U JP S5844834U JP 13928481 U JP13928481 U JP 13928481U JP 13928481 U JP13928481 U JP 13928481U JP S5844834 U JPS5844834 U JP S5844834U
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JP
Japan
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semiconductor manufacturing
core tube
furnace core
manufacturing equipment
boat
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Pending
Application number
JP13928481U
Other languages
English (en)
Inventor
正博 中嶋
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の半導体製造装置の断面図、第２図はこの
考案の背景となる半導体製造装置の断面図、第３図は第
２図のボート駆動棒を除いた右側面図、第４図は第２図
の装置で起る状態を示す要部拡大側面図、第５図はこの
考案の一実施例の半導体製造装置の断面図、第６図は第
５図のボート駆動棒を除いた要部拡大右側面図である。 １・・・・・・炉心管、６・・・・・・ヒータ、８・・
・・・・半導体ウェーハ、１１・・・・・・内管、１２
・・・・・・案内部（スリット）、７０・・・・・・ボ
ート、７１・・・・・・マザーボート、７２・・・・・
・コロ、７３・・・・・・キャリヤボート。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 炉心管と、炉心管を囲むヒータと番有し、前記炉心管内
    に半導体ウェーハを゛支持したボートを収納して半導体
    ウェーハに熱処理を施す半導体製造装置において、前記
    炉心管の内部にボートの案内部を設けたことを特徴とす
    る半導体製造装置。
JP13928481U 1981-09-18 1981-09-18 半導体製造装置 Pending JPS5844834U (ja)

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JP13928481U JPS5844834U (ja) 1981-09-18 1981-09-18 半導体製造装置

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JP13928481U JPS5844834U (ja) 1981-09-18 1981-09-18 半導体製造装置

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JPS5844834U true JPS5844834U (ja) 1983-03-25

Family

ID=29932481

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JP13928481U Pending JPS5844834U (ja) 1981-09-18 1981-09-18 半導体製造装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60129133U (ja) * 1984-02-07 1985-08-30 株式会社日立国際電気 酸化膜生成用石英ボ−ト
JPH02137317A (ja) * 1988-11-18 1990-05-25 Nec Corp 抵抗線加熱炉

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5610920A (en) * 1979-07-06 1981-02-03 Mitsubishi Electric Corp Device for treating reaction of semiconductor wafer

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPH02137317A (ja) * 1988-11-18 1990-05-25 Nec Corp 抵抗線加熱炉

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