JPS5844834U - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS5844834U JPS5844834U JP13928481U JP13928481U JPS5844834U JP S5844834 U JPS5844834 U JP S5844834U JP 13928481 U JP13928481 U JP 13928481U JP 13928481 U JP13928481 U JP 13928481U JP S5844834 U JPS5844834 U JP S5844834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- core tube
- furnace core
- manufacturing equipment
- boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の半導体製造装置の断面図、第2図はこの
考案の背景となる半導体製造装置の断面図、第3図は第
2図のボート駆動棒を除いた右側面図、第4図は第2図
の装置で起る状態を示す要部拡大側面図、第5図はこの
考案の一実施例の半導体製造装置の断面図、第6図は第
5図のボート駆動棒を除いた要部拡大右側面図である。 1・・・・・・炉心管、6・・・・・・ヒータ、8・・
・・・・半導体ウェーハ、11・・・・・・内管、12
・・・・・・案内部(スリット)、70・・・・・・ボ
ート、71・・・・・・マザーボート、72・・・・・
・コロ、73・・・・・・キャリヤボート。
考案の背景となる半導体製造装置の断面図、第3図は第
2図のボート駆動棒を除いた右側面図、第4図は第2図
の装置で起る状態を示す要部拡大側面図、第5図はこの
考案の一実施例の半導体製造装置の断面図、第6図は第
5図のボート駆動棒を除いた要部拡大右側面図である。 1・・・・・・炉心管、6・・・・・・ヒータ、8・・
・・・・半導体ウェーハ、11・・・・・・内管、12
・・・・・・案内部(スリット)、70・・・・・・ボ
ート、71・・・・・・マザーボート、72・・・・・
・コロ、73・・・・・・キャリヤボート。
Claims (1)
- 炉心管と、炉心管を囲むヒータと番有し、前記炉心管内
に半導体ウェーハを゛支持したボートを収納して半導体
ウェーハに熱処理を施す半導体製造装置において、前記
炉心管の内部にボートの案内部を設けたことを特徴とす
る半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13928481U JPS5844834U (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13928481U JPS5844834U (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5844834U true JPS5844834U (ja) | 1983-03-25 |
Family
ID=29932481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13928481U Pending JPS5844834U (ja) | 1981-09-18 | 1981-09-18 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5844834U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60129133U (ja) * | 1984-02-07 | 1985-08-30 | 株式会社日立国際電気 | 酸化膜生成用石英ボ−ト |
JPH02137317A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-25 | Nec Corp | 抵抗線加熱炉 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5610920A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-03 | Mitsubishi Electric Corp | Device for treating reaction of semiconductor wafer |
-
1981
- 1981-09-18 JP JP13928481U patent/JPS5844834U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5610920A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-03 | Mitsubishi Electric Corp | Device for treating reaction of semiconductor wafer |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60129133U (ja) * | 1984-02-07 | 1985-08-30 | 株式会社日立国際電気 | 酸化膜生成用石英ボ−ト |
JPH02137317A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-25 | Nec Corp | 抵抗線加熱炉 |
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