JPS60149130U - 半導体熱処理炉 - Google Patents
半導体熱処理炉Info
- Publication number
- JPS60149130U JPS60149130U JP3686684U JP3686684U JPS60149130U JP S60149130 U JPS60149130 U JP S60149130U JP 3686684 U JP3686684 U JP 3686684U JP 3686684 U JP3686684 U JP 3686684U JP S60149130 U JPS60149130 U JP S60149130U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- furnace
- heating device
- treatment furnace
- semiconductor heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案による半導体熱処理炉を説明する断面図
、第２図は従来の半導体熱処理炉を説明 −するた
めの断面図である。 １・・・炉心管、６，１１・・・加熱装置、８・・・半
導体 ５ウエハ、１２・・・移動装置。
、第２図は従来の半導体熱処理炉を説明 −するた
めの断面図である。 １・・・炉心管、６，１１・・・加熱装置、８・・・半
導体 ５ウエハ、１２・・・移動装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 内部に半導体ウェハが配置される炉心管を、炉心管の周
囲に配設した加熱装置で加熱する半導体。 熱処理炉であって、前記加熱装置を炉心管に対して移動
自在に配設し、前記加熱装置を移動せしめる移動手段に
て、熱処理時には加熱装置を炉心管−を加熱する位置に
、熱処理が終了すると炉心管から加熱装置を退避せしめ
φことを特徴とする半導体熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3686684U JPS60149130U (ja) | 1984-03-14 | 1984-03-14 | 半導体熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3686684U JPS60149130U (ja) | 1984-03-14 | 1984-03-14 | 半導体熱処理炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60149130U true JPS60149130U (ja) | 1985-10-03 |
Family
ID=30542446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3686684U Pending JPS60149130U (ja) | 1984-03-14 | 1984-03-14 | 半導体熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60149130U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62245623A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-26 | Hitachi Ltd | 熱処理装置 |
| JPH02138728A (ja) * | 1988-02-26 | 1990-05-28 | Tel Sagami Ltd | 熱処理方法及びその装置 |
-
1984
- 1984-03-14 JP JP3686684U patent/JPS60149130U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62245623A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-26 | Hitachi Ltd | 熱処理装置 |
| JPH02138728A (ja) * | 1988-02-26 | 1990-05-28 | Tel Sagami Ltd | 熱処理方法及びその装置 |
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