JPS58417U - 半導体熱処理装置 - Google Patents
半導体熱処理装置Info
- Publication number
- JPS58417U JPS58417U JP9229181U JP9229181U JPS58417U JP S58417 U JPS58417 U JP S58417U JP 9229181 U JP9229181 U JP 9229181U JP 9229181 U JP9229181 U JP 9229181U JP S58417 U JPS58417 U JP S58417U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- treatment equipment
- semiconductor heat
- furnace core
- core tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の一般的な炉芯管後部の形態を表わす構造
図、第２図は炉芯管後部に熱しゃへい板をつけた従来型
の熱処理装置の構造図、第３図は本考案による改良され
た炉芯管構造の一実施＄Ｊ壱示す構造図である。 １１・・・炉芯管、１２・・・ガス導入管、１３・・・
ガス配管、１４・・・接合部。
図、第２図は炉芯管後部に熱しゃへい板をつけた従来型
の熱処理装置の構造図、第３図は本考案による改良され
た炉芯管構造の一実施＄Ｊ壱示す構造図である。 １１・・・炉芯管、１２・・・ガス導入管、１３・・・
ガス配管、１４・・・接合部。
Claims (1)
- 炉芯管内に半導体ウェハを配置１て熱処理を行う装置に
於て、前記炉芯管の後部に取付けられたガス導入管の終
端部が、この炉芯管の外径を越えて位置するように屈曲
して成る事を特徴とする半導体熱処理装置。 ″
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9229181U JPS58417U (ja) | 1981-06-24 | 1981-06-24 | 半導体熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9229181U JPS58417U (ja) | 1981-06-24 | 1981-06-24 | 半導体熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58417U true JPS58417U (ja) | 1983-01-05 |
Family
ID=29887329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9229181U Pending JPS58417U (ja) | 1981-06-24 | 1981-06-24 | 半導体熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58417U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6362021U (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-25 |
-
1981
- 1981-06-24 JP JP9229181U patent/JPS58417U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6362021U (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS58417U (ja) | 半導体熱処理装置 | |
| JPS5926238U (ja) | Ｃｖｄ装置 | |
| JPS58418U (ja) | 半導体熱処理装置 | |
| JPS58129635U (ja) | 熱処理装置 | |
| JPS58162634U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS5995625U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS59145699U (ja) | 熱処理装置 | |
| JPS60115529U (ja) | 排気ガスの処理装置 | |
| JPS5995626U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS6066028U (ja) | 炉芯管 | |
| JPS6085837U (ja) | 炉芯管用断熱キヤツプ | |
| JPS6092826U (ja) | 熱処理炉 | |
| JPS60149130U (ja) | 半導体熱処理炉 | |
| JPS5965280U (ja) | 熱交換器における伝熱管装置 | |
| JPS5916650U (ja) | 治療器 | |
| JPS59166440U (ja) | 均熱管 | |
| JPS59121193U (ja) | ヒ−タ装置 | |
| JPS6124629U (ja) | 温度測定装置 | |
| JPS58159736U (ja) | 炉芯管 | |
| JPS6071794U (ja) | 断熱配管 | |
| JPS5914309U (ja) | 超電導マグネツト装置 | |
| JPS6013433U (ja) | 高温用の熱電対 | |
| JPS59133088U (ja) | マイクロ波加熱装置 | |
| JPS5812777U (ja) | 配管支持装置 | |
| JPS58128982U (ja) | 半導体結晶成長装置 |