JPS60115529U - 排気ガスの処理装置 - Google Patents
排気ガスの処理装置Info
- Publication number
- JPS60115529U JPS60115529U JP315184U JP315184U JPS60115529U JP S60115529 U JPS60115529 U JP S60115529U JP 315184 U JP315184 U JP 315184U JP 315184 U JP315184 U JP 315184U JP S60115529 U JPS60115529 U JP S60115529U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust gas
- gas treatment
- treatment equipment
- exhaust treatment
- treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の排気処理方法、第2図は本考案4 の
実施例の排気処理装置による処理方法を示す。
実施例の排気処理装置による処理方法を示す。
Claims (1)
- BCl3ガスの排気処理において、処理部より前の配管
において大気と遮断する手段と、処理部において水蒸気
を導入して排気処理を行う手段とを有することを特徴と
する排気処理装置。 ゛
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP315184U JPS60115529U (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 排気ガスの処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP315184U JPS60115529U (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 排気ガスの処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60115529U true JPS60115529U (ja) | 1985-08-05 |
Family
ID=30477506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP315184U Pending JPS60115529U (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 排気ガスの処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60115529U (ja) |
-
1984
- 1984-01-13 JP JP315184U patent/JPS60115529U/ja active Pending
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