JPS60115529U - 排気ガスの処理装置 - Google Patents

排気ガスの処理装置

Info

Publication number
JPS60115529U
JPS60115529U JP315184U JP315184U JPS60115529U JP S60115529 U JPS60115529 U JP S60115529U JP 315184 U JP315184 U JP 315184U JP 315184 U JP315184 U JP 315184U JP S60115529 U JPS60115529 U JP S60115529U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exhaust gas
gas treatment
treatment equipment
exhaust treatment
treatment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP315184U
Other languages
English (en)
Inventor
成富 康夫
Original Assignee
日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP315184U priority Critical patent/JPS60115529U/ja
Publication of JPS60115529U publication Critical patent/JPS60115529U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来の排気処理方法、第2図は本考案4  の
実施例の排気処理装置による処理方法を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. BCl3ガスの排気処理において、処理部より前の配管
    において大気と遮断する手段と、処理部において水蒸気
    を導入して排気処理を行う手段とを有することを特徴と
    する排気処理装置。  ゛
JP315184U 1984-01-13 1984-01-13 排気ガスの処理装置 Pending JPS60115529U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP315184U JPS60115529U (ja) 1984-01-13 1984-01-13 排気ガスの処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP315184U JPS60115529U (ja) 1984-01-13 1984-01-13 排気ガスの処理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60115529U true JPS60115529U (ja) 1985-08-05

Family

ID=30477506

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP315184U Pending JPS60115529U (ja) 1984-01-13 1984-01-13 排気ガスの処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60115529U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60115529U (ja) 排気ガスの処理装置
JPS5926238U (ja) Cvd装置
JPS6021843U (ja) 排ガス管装置
JPS6142831U (ja) 半導体製造装置
JPS60195982U (ja) 真空ポンプ装置
JPS5922972U (ja) 吸排気管装置
JPS58114865U (ja) ガスエンジンの吸気冷却装置
JPS5815533U (ja) 排気装置
JPS6080400U (ja) オフガス処理装置
JPS60150391U (ja) 不等辺エルボ
JPS6092720U (ja) 二次空気供給制御装置
JPS5914918U (ja) 排気管の振動低減装置
JPS58417U (ja) 半導体熱処理装置
JPS5952085U (ja) 真空装置
JPS58158442U (ja) 熱処理炉
JPS58102710U (ja) 機関室
JPS60187319U (ja) 消音器
JPS5993627U (ja) 乾式排ガス処理装置
JPS5831500U (ja) ガスバルブ
JPS5947400U (ja) 真空保持装置
JPS5974897U (ja) 導水管用給気装置
JPS6014434U (ja) ピツトインタンク周辺部の換気装置
JPS59191051U (ja) 給排気装置
JPS6074847U (ja) 吸煙器付きはんだごて
JPS5987594U (ja) 排ガス用熱交換器