JPS5947400U - 真空保持装置 - Google Patents
真空保持装置Info
- Publication number
- JPS5947400U JPS5947400U JP14256682U JP14256682U JPS5947400U JP S5947400 U JPS5947400 U JP S5947400U JP 14256682 U JP14256682 U JP 14256682U JP 14256682 U JP14256682 U JP 14256682U JP S5947400 U JPS5947400 U JP S5947400U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding device
- vacuum holding
- vacuum
- recorded
- electronic filing
- Prior art date
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- Pending
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- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置の一例の略示的説明図、第２図は本考
案の一実施例の概略説明図、第３図は本考案の他の実施
例の概略説明図である。 １：配管、２：有害ガス捕集用トラップ、３：真空ポン
プ、４：電源、５ニスチームエゼクタ−１６：ボイラ。
案の一実施例の概略説明図、第３図は本考案の他の実施
例の概略説明図である。 １：配管、２：有害ガス捕集用トラップ、３：真空ポン
プ、４：電源、５ニスチームエゼクタ−１６：ボイラ。
Claims (1)
- 装置内部を、スチームエゼクタ−に接続してなることを
特徴とする真空保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14256682U JPS5947400U (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 真空保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14256682U JPS5947400U (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 真空保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5947400U true JPS5947400U (ja) | 1984-03-29 |
Family
ID=30318516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14256682U Pending JPS5947400U (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 真空保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5947400U (ja) |
-
1982
- 1982-09-22 JP JP14256682U patent/JPS5947400U/ja active Pending
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