JPS59166440U - 均熱管 - Google Patents

均熱管

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Publication number
JPS59166440U
JPS59166440U JP5944383U JP5944383U JPS59166440U JP S59166440 U JPS59166440 U JP S59166440U JP 5944383 U JP5944383 U JP 5944383U JP 5944383 U JP5944383 U JP 5944383U JP S59166440 U JPS59166440 U JP S59166440U
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JP
Japan
Prior art keywords
soaking tube
tube
soaking
furnace core
longitudinal direction
Prior art date
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Pending
Application number
JP5944383U
Other languages
English (en)
Inventor
冨永　之廣
武田　長夫
Original Assignee
沖電気工業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 沖電気工業株式会社 filed Critical 沖電気工業株式会社
Priority to JP5944383U priority Critical patent/JPS59166440U/ja
Publication of JPS59166440U publication Critical patent/JPS59166440U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の均熱管を使用した半導体製造装置の横断
面図、第２図は第１図におけるＸｌ−Ｘ２断面図、第３
図は従来の均熱管を使用したウェハー熱処理装置を高温
で長期間使用した場合の横断面図、第４図は、第３図に
おけるＹｌ−Ｙ２断面図、第５図は本考案にがかる一実
施例の均熱管を使用した半導体熱処理装置の横断面図、
第６図は第５図におけるｚｌ−７２断面図、第７図、第
１０図は本考案にかかる均熱管の分割の状態を説明する
図、第８図、第９図は本考案にかかる均熱管のずれ防止
の処置を説明する図。 １・・・炉芯管、５・・・均熱管、５ａ〜５ｅ・・・均
熱管の分割片、６・・・リング。 第３図 第５図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウェハー熱処理装置に使用する円筒状に形成され
    た均熱管において、該均熱管は、内径が該均熱管内側に
    挿入されるべき炉芯管の外径とほぼ同一であって、前記
    均熱管の長手方向に対し直角方向から前記炉芯管を出し
    入れできる様に長手方向に沿って複数に分割されている
    ことを特徴とする均熱管。
JP5944383U 1983-04-22 1983-04-22 均熱管 Pending JPS59166440U (ja)

Priority Applications (1)

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JP5944383U JPS59166440U (ja) 1983-04-22 1983-04-22 均熱管

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JP5944383U JPS59166440U (ja) 1983-04-22 1983-04-22 均熱管

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59166440U true JPS59166440U (ja) 1984-11-08

Family

ID=30189691

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5944383U Pending JPS59166440U (ja) 1983-04-22 1983-04-22 均熱管

Country Status (1)

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JP (1) JPS59166440U (ja)

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