JPS6117734U - ウエハ熱処理装置の炉心管 - Google Patents
ウエハ熱処理装置の炉心管Info
- Publication number
- JPS6117734U JPS6117734U JP10072284U JP10072284U JPS6117734U JP S6117734 U JPS6117734 U JP S6117734U JP 10072284 U JP10072284 U JP 10072284U JP 10072284 U JP10072284 U JP 10072284U JP S6117734 U JPS6117734 U JP S6117734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- heat treatment
- wafer heat
- treatment equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は考案の一実施例を示す図、第2図は従来の技術
を示す図である。 1′:炉芯管、1′a:炉芯管1′の炉口、1′b:炉
芯管1′の内周面下部、1′c:炉芯管1′の内周面下
部の平面部、2:ボート、2a:ポート2の車輪。
を示す図である。 1′:炉芯管、1′a:炉芯管1′の炉口、1′b:炉
芯管1′の内周面下部、1′c:炉芯管1′の内周面下
部の平面部、2:ボート、2a:ポート2の車輪。
Claims (1)
- 半導体製造における熱処理工程を行うウエハ熱処理装置
の円筒形の炉芯管において、該炉芯管内に挿入されるウ
エハ搬入用のボートの前記炉芯管と接する部位の幅より
大きな幅を有する平面部を、前記炉芯管の長手方向に沿
って該炉芯管の内周面下部の少なくとも炉口近傍に形設
したことを特徴とするウエハ熱処理装置の炉芯管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10072284U JPS6117734U (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | ウエハ熱処理装置の炉心管 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10072284U JPS6117734U (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | ウエハ熱処理装置の炉心管 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6117734U true JPS6117734U (ja) | 1986-02-01 |
Family
ID=30660169
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10072284U Pending JPS6117734U (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | ウエハ熱処理装置の炉心管 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6117734U (ja) |
-
1984
- 1984-07-05 JP JP10072284U patent/JPS6117734U/ja active Pending
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