JPS6117734U - ウエハ熱処理装置の炉心管 - Google Patents
ウエハ熱処理装置の炉心管Info
- Publication number
- JPS6117734U JPS6117734U JP10072284U JP10072284U JPS6117734U JP S6117734 U JPS6117734 U JP S6117734U JP 10072284 U JP10072284 U JP 10072284U JP 10072284 U JP10072284 U JP 10072284U JP S6117734 U JPS6117734 U JP S6117734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- heat treatment
- wafer heat
- treatment equipment
- Prior art date
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- Pending
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- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は考案の一実施例を示す図、第２図は従来の技術
を示す図である。 １′：炉芯管、１′ａ：炉芯管１′の炉口、１′ｂ：炉
芯管１′の内周面下部、１′ｃ：炉芯管１′の内周面下
部の平面部、２：ボート、２ａ：ポート２の車輪。
を示す図である。 １′：炉芯管、１′ａ：炉芯管１′の炉口、１′ｂ：炉
芯管１′の内周面下部、１′ｃ：炉芯管１′の内周面下
部の平面部、２：ボート、２ａ：ポート２の車輪。
Claims (1)
- 半導体製造における熱処理工程を行うウエハ熱処理装置
の円筒形の炉芯管において、該炉芯管内に挿入されるウ
エハ搬入用のボートの前記炉芯管と接する部位の幅より
大きな幅を有する平面部を、前記炉芯管の長手方向に沿
って該炉芯管の内周面下部の少なくとも炉口近傍に形設
したことを特徴とするウエハ熱処理装置の炉芯管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10072284U JPS6117734U (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | ウエハ熱処理装置の炉心管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10072284U JPS6117734U (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | ウエハ熱処理装置の炉心管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6117734U true JPS6117734U (ja) | 1986-02-01 |
Family
ID=30660169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10072284U Pending JPS6117734U (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | ウエハ熱処理装置の炉心管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6117734U (ja) |
-
1984
- 1984-07-05 JP JP10072284U patent/JPS6117734U/ja active Pending
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