JPS6124629U - 温度測定装置 - Google Patents

温度測定装置

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JPS6124629U
JPS6124629U JP10764484U JP10764484U JPS6124629U JP S6124629 U JPS6124629 U JP S6124629U JP 10764484 U JP10764484 U JP 10764484U JP 10764484 U JP10764484 U JP 10764484U JP S6124629 U JPS6124629 U JP S6124629U
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JP
Japan
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measuring device
temperature measuring
thermocouples
insulating
tube
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Pending
Application number
JP10764484U
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English (en)
Inventor
之廣 冨永
Original Assignee
沖電気工業株式会社
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Publication date
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  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の温度測定装置の一実施例の構造図、第
２図は拡散炉の構造図、第３図は従来め温度測定装置の
構造図、第４図は熱電対の絶縁管による離隔の構造図、
第５図は熱電対の短絡、断線を示す説明図である。 １・・・ヒーター、２・・・プロセスチューブ、３，３
ａｔ ３ ｂｅ ３ ｃ・・・熱電対、４・・・絶縁管
、５・・・保護管、６・・・短絡点、７・・・断線点。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 半導体の熱処理に用いる炉の温度を測定する複数対の熱
    電対と、 該熱電対を離隔する絶縁管と、該勢電対及び絶縁管を収
    納する保護管とから温度測定装置において、 ′ 前記保護管内に絶縁性を有する粉末を充填し、・前
    記熱電対及び絶縁管を固定したことを特徴．とする温度
    測定装置。
JP10764484U 1984-07-18 1984-07-18 温度測定装置 Pending JPS6124629U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019150622A1 (ja) * 2018-01-30 2019-08-08 株式会社フルヤ金属 熱電対構造及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019150622A1 (ja) * 2018-01-30 2019-08-08 株式会社フルヤ金属 熱電対構造及びその製造方法
JPWO2019150622A1 (ja) * 2018-01-30 2020-02-06 株式会社フルヤ金属 熱電対構造及びその製造方法
TWI779089B (zh) * 2018-01-30 2022-10-01 日商古屋金屬股份有限公司 熱電偶構造及其製造方法

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