TWI779089B - 熱電偶構造及其製造方法 - Google Patents

Abstract

本揭示之目的在於提供一種不易產生因漂移現象所致之測定溫度之偏移，不易產生因堆積物對保護管或保護膜表面附著所致之保護管或保護膜之龜裂破壞，進而具有防止因熱電偶之振動等所致之測溫接點移動之構造之熱電偶構造及其製造方法。本揭示之熱電偶構造100具有經接合正極素線1a之一端與負極素線1b之一端之熱電偶1、與1根柱狀玻璃體2，包含熱電偶之接點1c之正極素線1a與負極素線1b係除熱電偶之接點1c以外未彼此接觸而成並列地沿著柱狀玻璃體2之長度方向嵌入之狀態，且，正極素線1a之另一端側與負極素線1b之另一端側被引出至柱狀玻璃體2之外側。

Description

熱電偶構造及其製造方法

本揭示係關於一種使用於例如半導體裝置之熱處理成膜裝置之熱電偶構造及其製造方法。

熱電偶大多採用直接暴露於測定環境之構造。若熱電偶直接裸露暴露於測定環境，則由於熱電偶之氧化或腐蝕而產生測定精度之降低或斷線等，使用壽命變短。又，於半導體製造步驟等之要求製造環境為極其潔淨之環境中，因來自熱電偶之構成金屬之揮發所致之污染或因保護管所含有之金屬雜質之揮發所致之污染成為問題。

因此，為了保護熱電偶或抑制測定環境之污染，而揭示有下述形態：將熱電偶置入潔淨保護管之形態 (例如參照專利文獻1～3)；將熱電偶以接點為中心使正極素線與負極素線延伸為一直線狀之後置入石英玻璃管，且於接點之部位彎折石英玻璃管，並回折石英玻璃管之構造之形態(例如參照專利文獻4)；及將熱電偶之素線以具有特定熱膨脹係數之玻璃被覆之形態(例如參照專利文獻5)。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開平9‐113372號公報 [專利文獻2]日本專利特開2015-215220號公報 [專利文獻3]日本實用新型註冊3014093號公報 [專利文獻4]日本專利特開2009‐749978號公報 [專利文獻5]日本特開昭59-58882號公報

[非專利文獻1]浜田 登喜夫、工業加熱Vol.44, No.5, 36-42（2007）、"鉑系熱電偶之校正與漂移・不均質"

[發明所欲解決之問題]

於專利文獻1至3所揭示之發明，即於高溫長時間使用熱電偶之情形時，有產生熱電偶之素線成分揮發，正極素線之構成元素附著於負極素線表面，或負極素線之構成元素附著於正極素線表面，產生因漂移現象所致之測定溫度偏移(電動勢之偏移)之虞。例如，報告有於Pt-Pt-Rh熱電偶中，Rh之揮發與對純Pt線之附著係漂移現象之主要原因(例如，參照非專利文獻1)。

於專利文獻4揭示之發明，即將置入有延伸為一直線狀之熱電偶之石英玻璃管回折之構造的形態中，於熱電偶之接點以外之部分，由於素線與石英玻璃管之間具有空間，故石英玻璃管易龜裂，易產生素線之污染。又，由於具有使石英玻璃管回折之構造，故因回折而使接近之石英玻璃管之端部彼此接近，或遠離，而於回折部應力易集中，易破損。再者，構造上熱電偶之接點限定於回折部之一點，無法對應於複數點之測定。

於專利文獻5所揭示之發明，即以具有特定熱膨脹係數之玻璃覆蓋熱電偶之素線之形態中，熱電偶之接點緊密連接於玻璃，不易產生熱電偶之素線成分之揮發，故亦不易產生因漂移現象所致之測定溫度偏移。然而，於專利文獻5之發明，以結晶化玻璃逐個覆蓋熱電偶，由於正線與負線未一體化，故於熱電偶之接點中應力易集中，玻璃被膜易因外力而破損。又，若玻璃被膜較薄，則由於附著於玻璃被膜表面之堆積物，有產生膜應力起因之保護膜龜裂破壞之虞。

再者，於專利文獻1、2及4中，揭示多點測溫元件。然而，較佳為完全地防止因振動等所致之測溫接點之移動。

因此，本揭示之目的在於提供一種具有不易產生因漂移現象所致之測定溫度偏移，不易產生因堆積物對保護管或保護膜表面之附著所致之保護管或保護膜龜裂破壞，進而防止熱電偶之因振動等所致之測溫接點移動之構造的熱電偶構造及其製造方法。 [解決問題之技術手段]

本發明人等經積極探討後，發現藉由使熱電偶之包含接點之正極素線與負極素線除接點以外未彼此接觸而成並列地沿著柱狀玻璃體之長度方向嵌入之構造，可解決上述問題，因而完成本發明。即，本發明之熱電偶構造之特徵係具有經接合正極素線之一端與負極素線之一端之熱電偶，及1個柱狀玻璃體，且包含上述熱電偶之接點之上述正極素線與上述負極素線成為除上述接點以外未彼此接觸而成並列地沿著上述柱狀玻璃體之長度方向嵌入之狀態，且，上述正極素線之另一端側與上述負極素線之另一端側引出至上述柱狀玻璃體之外側。

於本發明之熱電偶構造中，較佳為上述正極素線之另一端側與上述負極素線之另一端側兩者皆自上述柱狀玻璃體之一端面引出。可將由柱狀玻璃體保護之熱電偶之長度設為最大。又，操作變容易。

於本發明之熱電偶構造中，上述柱狀玻璃體較佳為包含非晶質石英玻璃。保護熱電偶免於受外部環境影響之能力較高，電性絕緣功能較高。又，於室溫及高溫之機械可靠性較高。

於本發明之熱電偶構造中，上述熱電偶較佳為包含鉑或鎳合金。藉由設為鉑或鉑合金熱電偶，可於達到1100℃之高溫區域使用。

於本發明之熱電偶構造中，較佳為上述正極素線之側面與上述柱狀玻璃體之玻璃為無間隙地接觸接合，且上述負極素線之側面與上述柱狀玻璃體之玻璃無間隙地接觸接合。完全地防止正極素線與負極素線之接觸，且機械性強度優異。

於本發明之熱電偶構造中，上述柱狀玻璃體之長度較佳為長於上述熱電偶對之被加熱區域。防止熱電偶之素線因加熱而揮發，提高熱電偶之耐久性。

於本發明之熱電偶構造中，上述熱電偶係複數個熱電偶，成為於上述柱狀玻璃體中複數個熱電偶未彼此接觸而成並列地沿著柱狀玻璃體之長度方向嵌入之狀態，且，熱電偶之接點較佳配置為沿著上述柱狀玻璃體之長度方向彼此錯開之狀態。可提供測定點無偏移之多點測溫元件。

本發明之熱電偶構造之製造方法之特徵在於具有：第1步驟，其將經接合正極素線之一端與負極素線之一端之熱電偶之上述正極素線及上述負極素線以玻璃構件將上述正極素線與上述負極素線設為非接觸；第2步驟，其將於第1步驟製作之熱電偶成為插入中空玻璃管之狀態；及第3步驟，其將上述中空玻璃管之端中接近上述熱電偶之接點之端加熱並使其軟化，接著，沿著上述中空玻璃管之長度方向，消除上述中空玻璃管之中空且軟化接著進行冷卻，形成柱狀玻璃體。

於本發明之熱電偶構造之製造方法中，上述中空玻璃管之一端開放，另一端封閉，於第3步驟中，較佳邊將上述中空玻璃管之內部設為減壓狀態，邊軟化接著進行冷卻。可自柱狀玻璃體之內部去除空氣層。

於本發明之熱電偶構造之製造方法中，於第1步驟製作複數個將正極素線與負極素線設為非接觸之熱電偶，於第2步驟中，較佳將以第1步驟製作之複數個熱電偶分別於與其他熱電偶之正極素線與負極素線非接觸之狀態下插入上述中空玻璃管，且，將熱電偶之接點設為彼此錯開之狀態，其後於第3步驟中形成柱狀玻璃體。可提供測定點無偏移之多點測溫元件。 [發明之效果]

根據本揭示，提供一種不易產生因漂移現象所致之測定溫度偏移，不易產生因堆積物對保護管或保護膜表面之附著所致之保護管或保護膜之龜裂破壞，進而無熱電偶因振動等所致之測定點偏移之熱電偶構造及其製造方法。

以下，雖關於本發明顯示實施形態並詳細地說明，但本發明並非解釋為限定於該等記載。只要發揮本發明之效果，實施形態亦可進行各種變化。

參照圖1及圖2，對本實施形態之熱電偶構造進行說明。本實施形態之熱電偶構造100具有經接合正極素線1a之一端與負極素線1b之一端之熱電偶1，及1根柱狀玻璃體2，包含熱電偶之接點1c之正極素線1a與負極素線1b成為除熱電偶之接點1c以外未彼此接觸而成並列地沿著柱狀玻璃體2之長度方向嵌入之狀態，且，正極素線1a之另一端側與負極素線1b之另一端側被引出至柱狀玻璃體2之外側。

熱電偶1較佳為包含鉑或鉑合金。例如，(正極素線1a、負極素線1b)之組合係(PtRh13%、Pt)、(PtRh10%、Pt)、及(PtRh30%、Pt)。

構成柱狀玻璃體2之玻璃，期望可對熱電偶充分保護免於受外氣環境影響之保護功能較高及用以使熱電偶之電動勢穩定之電性絕緣功能較高。具體而言，構成柱狀玻璃體2之玻璃較佳為具有於300℃～1100℃未軟化之電性絕緣性之玻璃。軟化點為300℃以上，較佳為500℃以上，尤佳為700℃以上，軟化點之上限並無特別限制，但例如為1100℃。又，電阻值較佳為1×10¹⁰ ～7.5×10¹⁷ (Ω･m)。滿足此種特性之玻璃受限，例如，可使用非晶質石英玻璃。非晶質石英玻璃保護熱電偶免於受外部環境影響之能力較高，電性絕緣功能較高。又，於室溫及高溫之機械性可靠性較高。非晶質石英玻璃之熱膨脹係數為約4.5×10^-7 /℃～約6.0×10^-7 /℃。此種範圍之熱膨脹係數較專利文獻5記述之發明之被覆用玻璃之熱膨脹係數(約5.0×10^-6 /℃～約40×10^-6 /℃)小一位數左右。

柱狀玻璃體2並非如中空玻璃管般為中空狀之玻璃體，而是如圖2所示，具有於內部不具有沿著長度方向之中空部之構造。另，於製造時有殘留之氣泡之情形。柱狀玻璃體2具有棒狀之形狀，其剖面較佳為圓形、多邊形、橢圓形。又，柱狀玻璃體2為棒狀時，較佳為直線狀，但根據需要，亦可彎曲為弓狀，又，亦可彎曲為如L型般之具有角度。因素材為玻璃，故可適當變形。柱狀玻璃體2較佳為自熱電偶之接點1c沿著棒之長度方向，具有同一直徑或同一剖面積。柱狀玻璃體2亦可設為自熱電偶之接點1c沿著棒之長度方向，漸漸變粗之形態或漸漸變細之形態。柱狀玻璃體2之長度如圖3所示，較佳為較熱電偶1之被加熱區域3長。防止熱電偶之素線因加熱而揮發，提高熱電偶之耐久性。於圖3，於電爐等加熱爐5之內部空間5a中，配置熱電偶構造100之一部分。柱狀玻璃體2具有被加熱區域3與非加熱區域4。被加熱區域3係藉由加熱爐5升溫之區域，非加熱區域4係未藉由加熱爐5而升溫之區域。被加熱區域3於先前之熱電偶構造中，亦可稱為相當於保護管之區域。引出至柱狀玻璃體2外側之正極素線1a之另一端側與電動勢測定器6之端子連接，負極素線1b之另一端亦與電動勢測定器6之端子連接。

如圖1所示，於柱狀玻璃體2嵌入熱電偶1。即，於1個柱狀玻璃體2，包含熱電偶之接點1c之正極素線1a與負極素線1b成為除熱電偶之接點1c以外未彼此接觸而成並列地沿著柱狀玻璃體2之長度方向嵌入之狀態。嵌入柱狀玻璃體2之熱電偶1無可動域。於本實施形態中，不包含正極素線與負極素線於延伸為一直線狀之狀態下嵌入柱狀玻璃體，進而該柱狀玻璃體於接點附近彎折且將正極素線與負極素線設為並列之形態(以後，稱為彎折形態A)。於彎折形態A中，柱狀玻璃體之彎折部分有因應力集中而折彎之虞。與此相對，若如此嵌入本實施形態之熱電偶構造，則於柱狀玻璃體2中熱電偶之接點1c之附近之部位，不會集中應力，與彎折形態A比較，亦可將柱狀玻璃體相對地變粗，於確保強度方面更為有利。｢並列｣並未要求至正極素線1a與負極素線1b平行，而意指除熱電偶之接點1c以外未彼此接觸，且空出寬度並排。

於本實施形態之熱電偶構造100中，如圖2所示，較佳為正極素線1a之側面與柱狀玻璃體2之玻璃無間隙接觸接合，且，負極素線1b之側面與柱狀玻璃體2之玻璃無間隙接觸接合。完全地防止正極素線與負極素線之接觸，且機械性強度優異。正極素線1a之側面與柱狀玻璃體2之玻璃之接觸雖較佳為全面接觸，但包含於本實施形態中具有起因於製造誤差之非接觸部位之形態，例如包含對正極素線1a之長度方向接觸95%以上之形態。關於負極素線1b之側面與柱狀玻璃體2之玻璃之接觸雖較佳為全面接觸，但包含於本實施形態中具有起因於製造誤差之非接觸部位之形態，例如，包含對負極素線1b之長度方向接觸95%以上之形態。

再者於熱電偶1中正極素線1a之另一端側與負極素線1b之另一端側被引出至柱狀玻璃體2之外側。於此處熱電偶1中，正極素線1a之另一端側與負極素線1b之另一端側兩者較佳皆自柱狀玻璃體之一端面2a引出。可將由柱狀玻璃體2保護之熱電偶1之長度設為最大。又，操作變容易。於本實施形態中，作為變化例，亦可將正極素線1a之另一端側與負極素線1b之另一端側之兩者皆自柱狀玻璃體2之側面引出，或亦可將任一者自柱狀玻璃體之一端面2a引出，將另一者自柱狀玻璃體2之側面引出。

接著參照圖4及圖5，說明多點測溫式之熱電偶構造。於本實施形態之熱電偶構造200中，熱電偶11、12係複數個熱電偶，成為於柱狀玻璃體13中複數個熱電偶11、12未彼此接觸而成並列地沿著柱狀玻璃體13之長度方向嵌入之狀態，且，熱電偶11、12之接點11c、12c較佳配置為沿著柱狀玻璃體13之長度方向彼此錯開之狀態。可提供耐久性良好，且測定點無偏移之多點測溫元件。如圖5所示，熱電偶之素線11a、11b、12a、12b未彼此接觸，嵌入柱狀玻璃體13。於本形態中，熱電偶之素線11a、11b、12a、12b之側面與柱狀玻璃體13之玻璃之接觸亦較佳分別為全面接觸，但於本實施形態中包含有起因於製造誤差之非接觸部位之形態，例如，包含對各素線之長邊長度方向接觸95%以上之形態。

於圖4中，雖顯示熱電偶為2個之形態，但亦可為3個以上。於將熱電偶設為3個以上之情形時，熱電偶之接點之間隔亦可設為等間隔，又，亦可適當將間隔設為不同者。

(熱電偶構造之製造方法) 接著對本實施形態之熱電偶構造之製造方法進行說明。圖6係說明圖1所示之熱電偶構造之製造方法之圖。本實施形態之熱電偶構造之製造方法具有以下步驟：(1)經接合正極素線1a之一端與負極素線1b之一端之熱電偶1之正極素線1a及負極素線1b以玻璃構件30將正極素線1a與負極素線1b設為非接觸之第1步驟；(2)將於第1步驟製作之熱電偶插入中空玻璃管31之狀態之第2步驟；及(3)將中空玻璃管31之端中接近熱電偶之接點1c之端加熱並使之軟化，接著，沿著中空玻璃管31之長度方向，消除中空玻璃管31之中空並軟化接著進行冷卻，形成柱狀玻璃體(圖1之符號2)之第3步驟。

(第1步驟) 玻璃構件30只要可使正極素線1a與負極素線1b為非接觸，針對形狀並無特別限制，可示例棒狀之玻璃片、玻璃棉等，於確實地非接觸之點而言較佳為如圖6所示之中空玻璃管。玻璃構件30之玻璃組成亦可為與中空玻璃管31不同之組成，但較佳為相同組成。中空玻璃管31更好由非晶質石英玻璃形成。另，於第1步驟中，｢正極素線與負極素線為非接觸｣意指將正極素線與負極素線之除接點以外設為非接觸。

(第2步驟) 於第1步驟製作之熱電偶為於圖6中負極素線1b通過中空玻璃管即玻璃構件30而防止與正極素線1a接觸之熱電偶1，但亦可使正極素線1a通過而防止與負極素線1b接觸(無圖示)。設為將該熱電偶1插入中空玻璃管31之狀態。

(第3步驟) 藉火焰燃燒器等加熱器32加熱中空玻璃管31之端中接近熱電偶之接點1c之端。藉由加熱將中空玻璃管31及中空玻璃管即玻璃構件30軟化，並融合一體化。且，沿著中空玻璃管31之長度方向，消除中空玻璃管31之中空(內部空間31a)並軟化接著進行冷卻，形成柱狀玻璃體(圖1之符號2)。柱狀玻璃體2係藉由將中空玻璃管31及中空玻璃管即玻璃構件30熔著一體化而形成。

中空玻璃管31較佳為一端開放，另一端封閉，且有底類型之中空管。於本實施形態中，較佳於第3步驟中邊藉由排氣泵等排氣機構40將中空玻璃管31之內部設為減壓狀態，邊軟化接著進行冷卻。可自圖1所示之柱狀玻璃體2之內部去除空氣層。又，藉由玻璃工藝，亦可使中空玻璃管31之內部空間31a縮小。又，亦可藉由軟化之玻璃之表面張力使內部空間31a縮小。

(多點測溫式之熱電偶構造之製造方法) 接著對本實施形態之多點測溫式之熱電偶構造之製造方法進行說明。圖7係說明圖4所示之多點測溫式之熱電偶構造之製造方法之圖。本實施形態之熱電偶構造之製造方法較好係如下：(1)於第1步驟製作複數個將正極素線與負極素線設為非接觸之熱電偶；(2)於第2步驟中，將以第1步驟製作之複數個熱電偶分別於與其他熱電偶之正極素線與負極素線非接觸之狀態下插入上述中空玻璃管，且，將熱電偶之接點設為彼此錯開之狀態；及(3)其後於第3步驟中形成柱狀玻璃體。可提供耐久性良好，且測定點無偏移之多點測溫元件。

(第1步驟) 於第1步驟製作複數個將正極素線與負極素線設為非接觸之熱電偶。於圖7中，關於熱電偶12將一素線插入中空玻璃管即玻璃構件34，關於熱電偶11將正極素線11a與負極素線11b之兩者插入中空玻璃管即玻璃構件33、35。藉由如此，防止正極素線11a、負極素線11b、正極素線12a及負極素線12b彼此接觸。於熱電偶12中亦可將其他素線即正極素線12a插入中空玻璃管即玻璃構件。

(第2步驟) 如圖7所示，於第1步驟製作之複數個熱電偶11、12分別於與其他熱電偶之正極素線及負極素線非接觸之狀態下插入中空玻璃管36，且，熱電偶之接點11c、12c成彼此錯開之狀態。於中空玻璃管36之內部空間36a插入複數個熱電偶11、12時，藉由玻璃構件33、34、35，防止素線彼此相互接觸。

(第3步驟) 其後，於第3步驟中較佳形成柱狀玻璃體。可提供耐久性良好，且測定點無偏移之多點測溫元件。以火焰燃燒器等加熱器32加熱中空玻璃管36中接近熱電偶11之接點11c之端。藉由加熱軟化中空玻璃管36及中空玻璃管即玻璃構件33、34、35，並融合一體化。且，沿著中空玻璃管36之長度方向，消除中空玻璃管36之中空(內部空間36a)並軟化接著進行冷卻，形成柱狀玻璃體(圖4之符號13)。柱狀玻璃體13係藉由將中空玻璃管36及中空玻璃管即玻璃構件33、34、35熔著一體化而形成。

中空玻璃管36較佳一端開放，另一端封閉，且為有底類型之中空管。於本實施形態中，亦較佳於第3步驟中邊藉由排氣機構40將中空玻璃管36之內部設為減壓狀態，邊軟化接著進行冷卻。又，藉由玻璃工藝，亦可使中空玻璃管36之內部空間36a縮小。又，亦可藉由軟化之玻璃之表面張力使內部空間36a縮小。

於圖1及圖4所示之熱電偶構造中，獲得柱狀玻璃體後，亦可藉由火焰燃燒器等之加熱，使柱狀玻璃體軟化，使形狀變形為L型等。

1‧‧‧熱電偶1a‧‧‧正極素線1b‧‧‧負極素線1c‧‧‧熱電偶之接點2‧‧‧柱狀玻璃體2a‧‧‧柱狀玻璃體之一端面2b‧‧‧柱狀玻璃體之前端3‧‧‧熱電偶之被加熱區域4‧‧‧熱電偶之非加熱區域5‧‧‧加熱爐5a‧‧‧加熱爐之內部空間6‧‧‧電動勢測定器11‧‧‧熱電偶11a‧‧‧正極素線11b‧‧‧負極素線11c‧‧‧熱電偶之接點12‧‧‧熱電偶12a‧‧‧正極素線12b‧‧‧負極素線12c‧‧‧熱電偶之接點13‧‧‧柱狀玻璃體13a‧‧‧柱狀玻璃體之一端面13b‧‧‧柱狀玻璃體之前端13c‧‧‧玻璃構件30‧‧‧玻璃構件31‧‧‧中空玻璃管31a‧‧‧中空玻璃管之內部空間32‧‧‧加熱器33‧‧‧玻璃構件34‧‧‧玻璃構件35‧‧‧玻璃構件36‧‧‧中空玻璃管36a‧‧‧中空玻璃管之內部空間40‧‧‧排氣機構100‧‧‧熱電偶構造200‧‧‧熱電偶構造A-A‧‧‧剖面B-B‧‧‧剖面

圖1係本實施形態之熱電偶構造之概略圖。 圖2係A-A剖視圖。 圖3係本實施形態之熱電偶構造於加熱爐使用時之概略圖。 圖4係本實施形態之多點測溫式之熱電偶構造之概略圖。 圖5係B-B剖視圖。 圖6係本實施形態之熱電偶構造之製造方法之說明圖。 圖7係本實施形態之多點測溫式之熱電偶構造之製造方法之說明圖。

1‧‧‧熱電偶

1a‧‧‧正極素線

1b‧‧‧負極素線

1c‧‧‧熱電偶之接點

2‧‧‧柱狀玻璃體

2a‧‧‧柱狀玻璃體之一側之端面

2b‧‧‧柱狀玻璃體之前端

100‧‧‧熱電偶構造

A-A‧‧‧剖面

Claims (10)

1. 一種熱電偶構造，其特徵在於具有：經接合正極素線之一端與負極素線之一端之熱電偶，與1根柱狀玻璃體，其中該柱狀玻璃體係排除該柱狀玻璃體之表面與被測定物接合之型態者，且包含上述熱電偶之接點之上述正極素線與上述負極素線係除上述接點以外未彼此接觸而成並列地沿著上述柱狀玻璃體之長度方向嵌入該柱狀玻璃體內之狀態，且，上述正極素線之另一端側與上述負極素線之另一端側被引出至上述柱狀玻璃體之外側。
2. 如請求項1之熱電偶構造，其中上述正極素線之另一端側與上述負極素線之另一端側兩者皆自上述柱狀玻璃體之一端面引出。
3. 如請求項1或2之熱電偶構造，其中上述柱狀玻璃體由非晶質石英玻璃構成。
4. 如請求項1或2之熱電偶構造，其中上述熱電偶係由鉑或鉑合金構成。
5. 如請求項1或2之熱電偶構造，其中上述正極素線之側面與上述柱狀玻璃體之玻璃係無間隙地接觸， 且，上述負極素線之側面與上述柱狀玻璃體之玻璃無間隙地接觸。
6. 如請求項1或2之熱電偶構造，其中上述柱狀玻璃體之長度比上述熱電偶之被加熱區域長。
7. 如請求項1或2之熱電偶構造，其中上述熱電偶係複數個熱電偶，於上述柱狀玻璃體中複數個熱電偶未彼此接觸而成並列地沿著上述柱狀玻璃體之長度方向嵌入之狀態，且，熱電偶之接點配置為沿著上述柱狀玻璃體之長度方向彼此錯開之狀態。
8. 一種熱電偶構造之製造方法，其特徵在於具有：第1步驟，其將經接合正極素線之一端與負極素線之一端之熱電偶之上述正極素線及上述負極素線以玻璃構件將上述正極素線與上述負極素線設為非接觸；第2步驟，其係使於第1步驟製作之熱電偶成為插入中空玻璃管之狀態；及第3步驟，其將上述中空玻璃管之端中接近上述熱電偶之接點之端加熱並一邊使之軟化一邊使上述中空玻璃管之內部空間縮小且使上述中空玻璃管之外徑縮小，接著，沿著上述中空玻璃管之長度方向，將上述中空玻璃管加熱並一邊使之軟化一邊使上述中空玻璃管之內部空間縮小且使上述中空玻璃管之外徑縮小，接著，進行冷卻，形成柱狀玻璃體。
9. 如請求項8之熱電偶構造之製造方法，其中上述中空玻璃管之一端開放，另一端封閉，於第3步驟中，邊將上述中空玻璃管之內部設為減壓狀態，邊軟化接著進行冷卻。
10. 如請求項8或9之熱電偶構造之製造方法，其中於第1步驟製作複數個將正極素線與負極素線設為非接觸之熱電偶，於第2步驟中，將於第1步驟製作之複數個熱電偶分別於與其他熱電偶之正極素線及負極素線非接觸之狀態下插入上述中空玻璃管，且，將熱電偶之接點設為彼此錯開之狀態，其後於第3步驟中形成柱狀玻璃體。

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